P-7 Stylus Profiler
產(chǎn)品描述
P-7支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量，其掃描可達(dá)150mm而無需圖像拼接。
P-7建立在市場的P-17臺式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎(chǔ)之上。 它保持了P-17技術(shù)的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量，其掃描可達(dá)150mm而無需圖像拼接。
主要功能
臺階高度：幾納米至1000μm
微力恒力控制：0.03至50mg
樣品全直徑掃描，無需圖像拼接
視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機
圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
軟件：簡單易用的軟件界面
生產(chǎn)能力：通過測序，模式識別和SECS / GEM實現(xiàn)全自動化
主要應(yīng)用
臺階高度：2D和3D臺階高度
紋理：2D和3D粗糙度和波紋度
形狀：2D和3D翹曲和形狀
應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力
缺陷復(fù)檢：2D和3D缺陷表面形貌
工業(yè)應(yīng)用
大學(xué)、研究實驗室和研究所
半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體
LED：發(fā)光二極管
太陽能
MEMS：微機電系統(tǒng)
數(shù)據(jù)存儲
汽車
醫(yī)療設(shè)備
主要技術(shù)參數(shù)
重復(fù)性:≤4A (0.10%)
垂直分辨率: 0.01A
水平分辨率(X): 0.025 um
水平分辨率(Y): 0.5 um
采樣率: 5~2000 Hz
垂直線性度:
士0.5%>2000A.
10As 2000 A
針壓范圍: 0. 03~50 mg
測量長度: 150 mm
(無需拼接)
掃描速度:2 um/s - 25 mm/s
