D600 高精度探針式輪廓儀/臺(tái)階儀-儀表網(wǎng)

公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

諾賽德自動(dòng)化設(shè)備（蘇州）有限公司專注于進(jìn)口品牌測(cè)量?jī)x器銷售和服務(wù)的公司，自創(chuàng)辦以來(lái)，一直致力于與行業(yè)內(nèi)享有盛名的品牌合作，為客戶提供全面的進(jìn)口品質(zhì)測(cè)量解決方案。諾賽德自動(dòng)化設(shè)備（蘇州）有限公司已形成以日立掃描電鏡、日立原子力顯微鏡、美國(guó)ZYGO白光干涉儀、美國(guó)KLA膜厚臺(tái)階儀、?？怂箍涤跋駜x等為代表的進(jìn)口實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)。作為實(shí)驗(yàn)室解決方案與精密測(cè)量的專業(yè)服務(wù)商，諾賽德自動(dòng)化設(shè)備（蘇州）有限公司提供售前診斷、產(chǎn)品銷售及售后技術(shù)支持，目前服務(wù)的客戶500多家，主要涵蓋半導(dǎo)體元器件、材料、電子、院校、汽車、模具、機(jī)械、航天航空、、塑膠行業(yè)。諾賽德自動(dòng)化設(shè)備（蘇州）有限公司匯聚世界測(cè)量品牌，集聚一批優(yōu)秀的管理銷售人員，諾賽德自動(dòng)化設(shè)備（蘇州）有限公司把世界各品牌的儀器帶到中國(guó)來(lái)，為推動(dòng)中國(guó)科技的發(fā)展架起橋梁。進(jìn)口品質(zhì)測(cè)量解決方案作為實(shí)驗(yàn)室解決方案與精密測(cè)量的專業(yè)服務(wù)商，諾賽德自動(dòng)化設(shè)備（蘇州）有限公司提供售前診斷、產(chǎn)品銷售及售后技術(shù)支持，目前服務(wù)的客戶500多家，主要涵蓋半導(dǎo)體元器件、材料、電子、院校、汽車、模具、機(jī)械、航天航空、、塑膠等行業(yè)。產(chǎn)品結(jié)構(gòu)專業(yè)化覆蓋性廣的經(jīng)營(yíng)網(wǎng)絡(luò)和專業(yè)化的營(yíng)銷團(tuán)隊(duì)，以開放的態(tài)度與國(guó)內(nèi)外廠家進(jìn)行合作，以日立掃描電鏡、日立原子力顯微鏡、美國(guó)ZYGO白光干涉儀、美國(guó)KLA膜厚臺(tái)階儀、?？怂箍涤跋駜x等為代表的進(jìn)口實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

產(chǎn)品介紹 KLA的探針式臺(tái)階儀Alpha-Step D-600，可測(cè)量納米級(jí)至1200um臺(tái)階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺(tái)階高度重復(fù)性以及亞埃級(jí)的分辨率。

D600 高精度探針式輪廓儀/臺(tái)階儀產(chǎn)品詳情

KLA的探針式臺(tái)階儀Alpha-Step D-600，可測(cè)量納米級(jí)至1200um臺(tái)階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺(tái)階高度重復(fù)性以及亞埃級(jí)的分辨率。

二、功能

設(shè)備特點(diǎn)

臺(tái)階高度：幾納米至1200μm

低觸力：0.03至15mg

視頻：500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像頭

梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真

圓弧校正：消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

緊湊尺寸：小占地面積的臺(tái)式探針式輪廓儀

軟件：用戶友好的軟件界面

主要應(yīng)用

臺(tái)階高度：2D臺(tái)階高度和3D臺(tái)階高度

紋理：2D粗糙度和波紋度

形式：2D翹曲和形狀

應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力

應(yīng)用領(lǐng)域

大學(xué)，研究實(shí)驗(yàn)室和研究所

半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體

SIMS：二次離子質(zhì)譜

LED：發(fā)光二極管

太陽(yáng)能

MEMS：微電子機(jī)械系統(tǒng)

汽車

醫(yī)療設(shè)備

三、應(yīng)用

臺(tái)階高度

Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測(cè)量從幾個(gè)納米到1200μm的2D和3D臺(tái)階高度。這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。Alpha-Step 系列具有低觸力功能，可以測(cè)量如光刻膠的軟性材料。

紋理：粗糙度和波紋度

Alpha-Step D-600測(cè)量2D和3D紋理，量化樣品的粗糙度和波紋度。軟件過(guò)濾功能將測(cè)量值分離為粗糙度和波紋度的部分，并計(jì)算諸如均方根（RMS）粗糙度之類的參數(shù)。

外形：翹曲和形狀

Alpha-Step D-600可以測(cè)量表面的2D形狀或翹曲。這包括對(duì)晶圓翹曲的測(cè)量，例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中，多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類翹曲產(chǎn)生的原因。 Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。

應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力

Alpha-Step D-600能夠測(cè)量在生產(chǎn)包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置精確測(cè)量樣品翹曲。然后通過(guò)應(yīng)用Stoney方程，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來(lái)計(jì)算應(yīng)力。

關(guān)鍵詞：臺(tái)階儀輪廓儀二次離子質(zhì)譜發(fā)光二極管

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
國(guó)產(chǎn)高精度臺(tái)階儀	￥600000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2025-01-15	在線詢價(jià)
中圖儀器國(guó)產(chǎn)臺(tái)階儀	￥600000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2025-01-07	在線詢價(jià)
納米級(jí)臺(tái)階高度儀	￥600000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2024-12-31	在線詢價(jià)
探針接觸式臺(tái)階儀	￥600000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2024-12-19	在線詢價(jià)
涂層臺(tái)階膜厚儀	￥600000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2024-12-11	在線詢價(jià)
納米級(jí)精度臺(tái)階儀	￥600000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2024-12-05	在線詢價(jià)

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