壓電平移臺,納米定位臺,壓電陶瓷控制器|驅動器,機械封裝壓電陶瓷技術文章|技術資料第（12）頁-哈爾濱芯明天科技有限公司

2020
11-02

P73.Z200系列Z向200微米行程壓電物鏡定位器！
P73系列壓電物鏡定位器為大行程壓電物鏡定位器，Z軸直線運動范圍可選200μm、500μm及1mm。P73.Z200是P73系列中200微米行程的版本，它采用柔性鉸鏈設計機構，無摩擦、運動直線性好，且閉環(huán)版本定位精度高。分離式螺紋適配器設計，可適配多種型號的顯微鏡，廣泛應用于大范圍顯微成像、雙光子顯微鏡等領域。特點行程200μm承載能力0.2kg毫秒級響應時間閉環(huán)重復定位精度高聚焦穩(wěn)定性好典型應用三維成像干涉/計量生物科技表面結構分析共焦顯微半導體測試開/閉環(huán)控制電壓與位移曲線注：施加至壓電物鏡
2020
10-24

超高分辨率顯微鏡中的納米定位系統(tǒng)
超高分辨率顯微鏡中的納米定位系統(tǒng)芯明天P15系列XYZ壓電納米定位臺是用于超分辨率顯微鏡應用的多軸定位臺，通過閉環(huán)控制，可以實現(xiàn)亞納米級的高精度運動，在XYZ平面上的行程范圍可達300微米。P15內部采用有限元分析（FEA）優(yōu)化的線切割撓曲鉸鏈結構。FEA使其設計具有盡可能高的剛度，并使線性和角度跳動小化。閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋，與E70系列閉環(huán)控制器配套使用，具有非常高的穩(wěn)定性。臺體中心66×66mm大通孔，非常適合顯微成像、微操作等應用。特點?XYZ三維運動?行程范圍：300μm/軸?
2020
10-24

PZT壓電陶瓷用于光纖光柵傳感器信號解調技術!
光纖光柵傳感器信號解調技術，包括直接法、濾波法、干涉法、色散法等。光譜儀常被用來直接監(jiān)測FBG波長的漂移，但因其體積非常大，不易攜帶，價格昂貴等缺點，因此一般僅用于實驗室使用。下面介紹幾種基于PZT壓電陶瓷的光纖光柵傳感器信號解調方法。基于PZT的可調F-P濾波器光波經隔離、耦合后輸入光纖光柵，被FBG反射的光經耦合器耦合至可調F-P濾波器。當外界物理量，如應力、溫度等，發(fā)生變化時，F(xiàn)BG中心波長也隨之變化。經過混頻、濾波、積分等得到誤差電壓，對于標定好的F-P腔，可根據誤差電壓得到波長變化信息
2020
10-19

XY中空式大行程直線壓電掃描臺
P17系列壓電掃描臺是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發(fā)設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理，內置高可靠性壓電陶瓷，可以實現(xiàn)XY軸187.5μm的掃描范圍，通光孔為60×60mm，在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領域得到了廣泛的應用。特點?XY二維運動，位移可達187.5μm?承載能力1kg?通孔尺寸：60×60mm?分辨率可達5nm?可選配閉環(huán)傳感器典型應用?圖像處理與穩(wěn)定?掃描顯微?干涉/計量?表面檢測?晶圓定位?微操作頻率負載曲線穩(wěn)定性好響應速度快P17系列壓電掃描臺為壓電
2020
10-19

外螺紋壓電促動器FPSt150/7/120M14
M14系列殼體外螺紋壓電促動器，是機械封裝殼體外帶有螺紋的壓電促動器，方便與外部機械結構安裝固定，主要應用于光束偏轉、光路調整、鏡片調節(jié)架或需要通過外螺紋進行安裝的直線、角度控制應用等。為了獲得優(yōu)化的剛度，外螺紋式壓電促動器采用了鎖緊螺母。M14系列促動器外殼體上的螺紋尺寸為M14×1，螺紋長度為20mm，可定制螺紋尺寸。M14系列促動器具有多個型號，長度由19mm至118mm不等。FPSt150/7/120M14外螺紋壓電促動器是M14系列標準品中長的一個，長度為118mm，位移達114μm。
2020
10-09

芯明天Z向掃描臺配套數(shù)字式控制器用于顯微計量
芯明天致力于納米級精密定位與運動產品的研發(fā)、生產與銷售，已經發(fā)布了多種用于顯微計量學的掃描控制系統(tǒng)解決方案，包含高精密快速掃描的壓電納米定位臺及小體積數(shù)字式伺服控制器。P78.Z100壓電顯微樣品臺P78系列壓電顯微樣品臺可以帶動樣品以亞納米級分辨率進行高速掃描與定位，是顯微計量學和高分辨率顯微鏡應用的重要功能。配置閉環(huán)傳感器，對位移實現(xiàn)實時監(jiān)測并反饋給閉環(huán)壓電控制器，實現(xiàn)納米級精密控制及超高線性度和穩(wěn)定性。無摩擦柔性鉸鏈導向機構確保實現(xiàn)快速響應、高剛度及毫秒級響應時間，緊湊的外形結構易于集成到
2020
10-09

XD303系列大負載壓電偏轉鏡系統(tǒng)，承載達500g!
XD303系列壓電偏轉鏡采用鋼材料殼體，具有高剛性，是專為大承載應用而設計，承載能力達500g，適于帶載大型鏡片做快速偏轉運動。特性?θx、θy二維偏轉?承載能力達500g?高諧振頻率?響應速度快驅動原理壓電偏轉鏡（兩軸運動）是基于平行運動學設計，具有共面軸及移動面。四個執(zhí)行機構（壓電促動器）以90°角平分放置，成對的差分控制分布。兩對差分驅動壓電促動器在較大溫度范圍內提供可實現(xiàn)的角度穩(wěn)定性。它的偏擺運動是由兩對壓電促動器以推拉模式來實現(xiàn)，采用橋式連接電路控制。技術參數(shù)型號：XD303.T1S運
2020
09-27

基于二維壓電透射式微掃描器的紅外超分辨率成像|壓電掃描臺
在各類成像應用中，一般都需要高分辨率的圖像。例如在國防、醫(yī)療、科研、軍事等各領域中，高分辨率的圖像更有助于監(jiān)控、診斷、研究、偵查等。然而，在各種場合，圖像分辨率往往不能滿足應用的要求。因此，為了在目前的探測器上實現(xiàn)高分辨率的成像，超分辨率技術得以出現(xiàn)和發(fā)展。超分辨率技術一般分三類，一種是主要考慮多幀亞像素級位移，對模糊因子考慮較少；另一種是對成像中模糊因子進行估計，例如通過多通道盲反卷積；還有一類是兩者的相結合。超分辨率技術在紅外成像領域應用非常廣泛，一般通過微掃描技術，獲取多幀亞像素位移圖像，
2020
09-27

顯微光學成像中的大行程機構放大式壓電促動器
顯微光學成像是指透過樣品或從樣品反射回來的可見光，通過一個或多個透鏡后，能夠得到微小樣品的放大圖像的技術，其中大行程、高精度機構放大式壓電促動器可帶動樣品做Z向超精密運動，可使觀測精度達到納米級。機構放大式壓電促動器是一種通過機械放大結構將預載的低壓壓電陶瓷疊堆產生的位移進行放大并垂直輸出的促動器。機械放大結構為橢圓形機械殼體，它的材料一般為鋼，它對壓電疊堆陶瓷除了提供優(yōu)化預緊力外，也對疊堆陶瓷起到保護作用，使其免于承受拉力，拉力對壓電疊堆陶瓷會產生不可逆甚至致命的損壞。橢圓機械放大結構也為用戶
2020
09-19

1000μm行程壓電物鏡定位器，用于物鏡定位調焦！
P73.Z1000壓電物鏡定位器是用于Z向物鏡定位調焦使用，直線行程可達1000μm；采用PZT壓電式驅動，具有快速響應、高分辨率的特點。P73.Z1000壓電物鏡定位器非常適于數(shù)字共焦顯微應用，利用生物光學顯微技術，通過壓電物鏡定位器與載物臺間的相對步進微位移，對樣品進行快速分層掃描，再通過計算機進行處理，獲取高清晰的樣品顯微圖像，再通過三維組合、重構，實現(xiàn)快速高分辨率的樣品層析與三維展示。電壓與位移曲線注：實際施加至P73.Z1000壓電物鏡定位器的電壓約為控制電壓的12倍。技術參數(shù)型號：P
2020
09-19

高精度封裝式壓電促動器用于細胞穿透
生物醫(yī)學中，細胞的尺寸一般只有幾個微米大小，甚至更小，在研究細胞結構或病理實驗中，需要將探針準確的送入細胞內部，這就需要高精度的致動傳送裝置作為技術支持。芯明天高精度封裝式壓電促動器利用壓電陶瓷作為驅動源，可帶動探針做納米級運動，將探針準確的送入細胞內部，又不損傷細胞結構，已被廣泛應用于生物科技及生命科學等領域中。封裝式壓電陶瓷促動器非常適于集成到定制型運動設備，提供納米級分辨率，行程可達260微米，微秒級響應時間，且外部由柱形不銹鋼外殼保護。較高的內部機械預載力可適用于高負載、高動態(tài)應用。特性
2020
09-15

如何選擇合適自己的壓電納米定位臺
壓電納米定位產品具有納米級分辨率及定位精度，集成到各種相關儀器及機械設備中，從而實現(xiàn)高精度納米級定位與運動。了解壓電納米定位臺的基本工作原理及性能，來選擇適合您應用的壓電納米定位臺吧。什么是壓電納米定位臺？壓電納米定位臺是以壓電陶瓷作為驅動源，結合柔性鉸鏈機構實現(xiàn)X/Z/XY/XZ/XYZ軸精密運動的壓電平臺。運動范圍大可達375μm，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，配置高精度傳感器，可以實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有*的可靠性，壓電納米定位臺在精密定位領域中發(fā)揮著至關重要的作用。壓電納
2020
09-15

差分驅動壓電納米定位臺P16系列升級版
P16系列壓電平臺是以小體積、大位移而聞名，它的外形尺寸僅60×60×20mm，位移行程可選50μm或100μm，非常小的體積及較低的高度提供了較大的位移。P16系列XY二維運動壓電平臺，它的中心具有φ20mm的中心通孔，非常適用于光學應用。近期，芯明天公司對P16系列進行了升級，對結構和外觀進行了改善，使之更加一體化，同時，可靠性也大幅提高。安裝接口需帶載的負載可通過移動面上間距25mm的4個M3螺紋孔或間距16mm的4個M2螺紋孔進行固定，機械接口，安裝便捷。驅動原理P16系列壓電平臺是一款
2020
09-10

圖像穩(wěn)定中的大行程壓電偏轉鏡
在航天、近空間、航空、地面和海洋平臺等成像過程中，由于平臺振動和擾動等各種影響因素都會使相機光軸偏移，使目標與焦面相對運動，在焦面上產生像移，從而會造成成像模糊問題。例如，在地面天文觀測中，由于大氣湍流和望遠鏡的抖動等原因也會造成望遠鏡焦平面圖像的隨機抖動，極大地降低了望遠鏡的空間分辨率。利用芯明天壓電快速偏轉補償鏡，對實時采集的圖象與參考圖象間的相對位移量進行補償、實時修正，可在確定的曝光時間內得到高分辨率的圖像。P35系列壓電偏轉鏡是專為大行程偏轉補償應用而設計，可使得光束偏轉范圍達86mr
2020
09-10

封裝壓電陶瓷倒置使用！PSt150/10/100 VS15!
封裝壓電陶瓷倒置使用！PSt150/10/100VS15!在通常情況下，封裝式壓電陶瓷默認為正立使用，即移動端在上方，帶載后進行垂直方向的升降運動控制調節(jié)。但在特殊情況下，封裝壓電陶瓷也可以橫向或倒置使用，但在這兩種情況下，必須提前告知，在生產時我們會進行特殊的裝配。如上圖所示，以PSt150/10/100VS15封裝壓電陶瓷為例，它的標準參數(shù)中的推力為2300N，拉力為250N，如下所列。技術參數(shù)型號：PSt150/10/100VS15標稱行程：95μm剛度：20N/μm推/拉力：2300/2
2020
09-07

三維壓電偏擺臺用于晶圓表面檢測
半導體工業(yè)對于晶圓表面缺陷檢測的要求，一般是要求高效準確，能夠捕捉有效缺陷，實現(xiàn)實時檢測。將晶圓放于精密光學平臺上，選擇合適的入射光照射于晶圓表面，晶圓隨光學平臺及旋轉托盤而運動，完成表面的掃描。再通過CCD等收集反射光，得到晶圓表面圖像，傳到計算機，從而檢測晶圓表面的缺陷。芯明天高精度P51壓電偏轉/掃描臺可以實現(xiàn)θx，θy方向偏轉及Z向升降，因其分辨率高、重復定位精度高、響應速度快等特點非常適于晶圓檢測，即可用于調節(jié)光路，又可調節(jié)晶圓樣品的觀測視角，大大提高了晶圓檢測的精度。P51系列壓電偏
2020
09-07

RM100系列360度旋轉壓電馬達重磅上線！
RM100系列360度旋轉壓電馬達重磅上線！RM100系列壓電馬達是由壓電陶瓷驅動的壓電步進直驅馬達，利用特殊機械結構設計，將壓電陶瓷產生的直線微位移轉換為機械平面的宏觀角度旋轉運動。RM100系列旋轉壓電馬達可產生360度旋轉運動，具有超高的旋轉分辨率，它的體積小巧，結構緊湊，非常適于集成，具有高性價比?？纱钆銭53.C小體積壓電控制器配合使用，可利用上位機軟件操作，更便捷特點雙向360度旋轉高精密直線壓電電機高分辨率光柵尺精加工鋁合金基板高精度滾珠導軌副技術參數(shù)型號：RM100旋轉行程：36
2020
09-02

致動/傳感應用中的壓電纖維片
壓電纖維片是壓電纖維復合材料，是薄片型的執(zhí)行器和傳感器，內部是由壓電纖維棒組成，有橫向伸長、收縮、以及45°斜邊伸長三種形變模式。通過將壓電纖維片與金屬薄片粘接貼合的方式帶動金屬片發(fā)生彎曲、扭轉等形變。MFC可以作為薄的、表面適形的片材應用（通常粘合）到各種類型的結構，或嵌入復合結構中。如果施加電壓，它會將被粘貼的材料彎曲或扭曲，抵消振動或產生振動。如果不施加電壓，它可以作為非常靈敏的形變傳感器使用，感應變形、噪音和振動。MFC也是從振動中獲取能量的裝置。MFCP1模式MFCP1型（d33效果）
2020
09-02

N35系列壓電偏轉鏡
N35系列壓電偏轉鏡，是一款定制型壓電精瞄鏡，與其他壓電偏轉鏡不同的是，它具有方形的外形結構。該結構使其更易于安裝固定。特點?θx、θy二維偏轉?大角度偏轉達50mrad?閉環(huán)分辨率達2μrad?可選配閉環(huán)傳感器結構簡介N35壓電偏轉鏡（兩軸運動）是基于平行運動學設計，具有共面軸及移動面。四個執(zhí)行機構（PZT壓電陶瓷驅動器）以90°角平分放置，成對的差分控制分布。兩對差分驅動壓電促動器在較大溫度范圍內提供可實現(xiàn)的角度穩(wěn)定性。它的偏擺運動是由兩對壓電促動器以推拉模式來實現(xiàn)，采用橋式連接電路控制。高
2020
08-24

P18.XY300壓電掃描臺典型應用領域
圖像處理與穩(wěn)定?掃描顯微?干涉/計量?表面檢測?半導體測量?光學計量應用實例-納米光刻在納米光刻實驗中需要對鏡片進行高速微納米級的精密移動，從而優(yōu)化鏡片讀取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩(wěn)定性等優(yōu)點應用于納米光刻實驗。特性?大位移370μm?大承載3.5kg?通孔直徑：?35mm?閉環(huán)重復定位精度高?響應速度快1~3維掃描臺P18系列壓電掃描臺包括X/XY/XYZ三種結構形式，可以滿足1~3維大行程掃描或定位的應用需求。大位移、大承載、高剛度、高頻響P18系列壓電掃描臺內

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