壓電平移臺,納米定位臺,壓電陶瓷控制器|驅(qū)動器,機械封裝壓電陶瓷技術(shù)文章|技術(shù)資料第（13）頁-哈爾濱芯明天科技有限公司

2020
08-24

P18系列壓電掃描臺有哪些參數(shù)
為1-3維直線掃描臺。臺體采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，可以實現(xiàn)X、XY、XYZ大370μm的高速掃描，大通光孔徑為?35mm，多種位移行程及規(guī)格型號可供選擇，適用于大行程多維掃描等應(yīng)用。特性：?大位移370μm?大承載3.5kg?通孔直徑：?35mm1~3維掃描臺P18壓電掃描臺包括X/XY/XYZ三種結(jié)構(gòu)形式，可以滿足1~3維大行程掃描或定位的應(yīng)用需求。典型應(yīng)用?閉環(huán)重復定位精度高?響應(yīng)速度快?圖像處理與穩(wěn)定?掃描顯微?干涉/計量?表面檢測?半導體測量?光學計量大位移、大承載、
2020
08-22

微納操作系統(tǒng)中的微動壓電鉗
作為微納操作系統(tǒng)中的一個末端執(zhí)行機構(gòu)，微動夾鉗主要完成微小尺寸樣品的夾取、搬運、放置與釋放。壓電鉗通過傳動機構(gòu)，將電壓轉(zhuǎn)化為鉗口的位移輸出，通過鉗口閉合實現(xiàn)微操作對象的夾持，張開實現(xiàn)微操作對象的釋放。芯明天研發(fā)生產(chǎn)的微動壓電鉗是由壓電陶瓷疊堆驅(qū)動，采用柔性鉸鏈機械放大結(jié)構(gòu)，具有分辨率高、響應(yīng)速度快、無摩擦等特點。夾持位移可達100微米，是微納操作系統(tǒng)中*的執(zhí)行器件。特點?夾持位移達100μm?亞毫秒級響應(yīng)時間?諧振頻率達1.5kHz技術(shù)參數(shù)型號：XD002-D2運動自由度：X行程范圍（0~120
2020
08-22

P84系列壓電千分尺介紹及其應(yīng)用于擠壓/厚度檢測！
P84系列壓電千分尺是宏動手動調(diào)節(jié)千分尺與電動調(diào)節(jié)壓電驅(qū)動機構(gòu)相結(jié)合的運動平臺。它的宏動手調(diào)范圍為13mm，壓電驅(qū)動調(diào)節(jié)范圍為100μm。精調(diào)精度可達4nm。特點?X向運動，1~3維運動可選?手調(diào)千分尺行程13mm，分辨率達10µm?壓電精調(diào)行程100µm，分辨率達4nm?壓電調(diào)節(jié)可選配傳感器技術(shù)參數(shù)型號：P84.X100S運動自由度：X行程范圍（粗調(diào)+精調(diào)）：13mm+100μm殼體材料：鋼、鋁粗調(diào)行程范圍：13mm粗調(diào)分辨率：10μm粗調(diào)驅(qū)動方式：螺紋副（分厘卡）粗調(diào)靈敏度：粗調(diào)讀數(shù)：10微
2020
08-17

光纖拉伸解決方案
PZT壓電陶瓷疊堆-光纖拉伸（微米范圍/飛秒）/光延時芯明天PZT壓電陶瓷（也稱為PZT移相器）的尺寸非常小巧，可小至2mm以下，在一定電壓驅(qū)動下，可產(chǎn)生幾微米、幾十微米甚至幾百微米的形變位移。可將光纖固定于PZT壓電陶瓷上，隨PZT的伸長形變而拉伸光纖，可進行皮秒級的光延時調(diào)節(jié)。該方式不受光纖類型的限制，均可拉伸；并且，PZT壓電陶瓷的形變速度非常之快，且精準。PZT壓電陶瓷的緊湊外形使其適合各種系統(tǒng)應(yīng)用，例如可變光延遲、光纖干涉測量、超快速動力學和激光。特點適于光程長度的調(diào)制高調(diào)制速度高調(diào)制
2020
08-17

三維壓電掃描臺用于顯微鏡探針校準
顯微鏡中的探針校準通常需要一個中心通孔（用于光線通過）。P15系列三維壓電掃描臺具有66×66mm的自由中心孔，非常適合透射光等此類相關(guān)應(yīng)用。運動行程為300μm/軸，具有較高的直線度，平臺內(nèi)部采用有限元分析（FEA）優(yōu)化的線切割撓曲鉸鏈結(jié)構(gòu)，使其具有更高的剛度和直線度。可選擇集成的閉環(huán)反饋傳感器保證納米精度的長期高精度樣品調(diào)整。P15系列壓電掃描臺還可以輕松與其他機械定位系統(tǒng)結(jié)合使用。它們適合從光學研究到OEM系統(tǒng)的各種應(yīng)用。特點?XYZ三維直線運動?通孔尺寸66×66mm?設(shè)計緊湊?固態(tài)鉸鏈
2020
08-10

適于光纖對接調(diào)整的六自由度壓電納米定位臺
什么是六自由度壓電納米定位臺？六自由度壓電納米定位臺可產(chǎn)生X、Y、Z三軸直線運動以及θx、θy、θz三軸偏轉(zhuǎn)/旋轉(zhuǎn)角度運動的壓電平臺。運動如下圖所示。（注：θx運動即為以X軸為中心軸的旋轉(zhuǎn)運動。）六自由度壓電定位臺應(yīng)用舉例-光纖對接調(diào)整光纖裸纖一般分為三層，中心高折射率真玻璃芯、中間為低折射率真硅玻璃包層、外層為加強用的樹脂涂層。入射到光纖端面的光并不能全部被光纖所傳輸，只有在某個角度范圍內(nèi)的入射光才會被傳輸。這個角度被稱為數(shù)值孔徑，越大對光纖的傳輸越有利。光纖中傳輸光的中心部分和中間部分的直徑
2020
08-10

高精度壓電旋轉(zhuǎn)臺用于電子器件無損檢測
現(xiàn)如今，半導體器件、印刷電路板等電子器件在很多領(lǐng)域都得到廣泛應(yīng)用，這些電子器件的性能直接影響整個系統(tǒng)的性能，它們的可靠性起到了很重要的作用。隨著電路板上元器件密度的日益增大，器件間的連接點只有微米級，常規(guī)的檢測手段受到了極大的限制，因為需要精度更高的測試方法。光學微掃描顯微成像系統(tǒng)以其檢測速度快、精度高等特點受到廣泛關(guān)注。其原理是在系統(tǒng)中加入高精度壓電旋轉(zhuǎn)平臺，使顯微熱圖像在四個依次相差90°的傾斜角條件下采集采樣圖像，形成微掃描模式，顯微成像處理系統(tǒng)通過與獲取微掃描圖像相同的方式交叉融合形成采
2020
08-03

E63.C 系列壓電陶瓷控制器
工業(yè)式E63.C1K為小體積單通道開環(huán)低動態(tài)壓電陶瓷控制器，USB上位機軟件控制及供電。產(chǎn)品體積僅優(yōu)盤大小，便于集成電路板控制器，是開環(huán)小體積壓電控制器的不錯選擇。特點：?輸出電壓：0~150V?單通道開環(huán)控制?USB上位機軟件控制?工業(yè)應(yīng)用驅(qū)動原理:負載階躍時間：應(yīng)用展示：使用E63.C1K驅(qū)動封裝式壓電陶瓷，體積小巧，易于集成，非常適合干涉儀等應(yīng)用。技術(shù)參數(shù)：尺寸圖：小體積壓電控制器的特點是產(chǎn)品體積小巧，適用于小空間及多路閉環(huán)控制需求，適用于壓電促動器、壓電偏轉(zhuǎn)鏡、壓電平移臺等壓電產(chǎn)品的控制
2020
08-03

P35 系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡
P35系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是專為大角度偏轉(zhuǎn)應(yīng)用而設(shè)計，可使得光束偏轉(zhuǎn)范圍達86mrad（約4.9度，17700秒），非常適合高精度大行程角度的快速偏轉(zhuǎn)應(yīng)用。特點：θx、θy偏轉(zhuǎn)偏轉(zhuǎn)角度可達43mrad/軸分辨率可達1μrad空載諧振頻率達1.5kHz技術(shù)參數(shù)：尺寸圖：壓電偏轉(zhuǎn)鏡采用壓電陶瓷驅(qū)動器直接驅(qū)動，多用于圖象處理/穩(wěn)定、激光掃描、通信、光線偏轉(zhuǎn)、光束偏轉(zhuǎn)/穩(wěn)定等系統(tǒng)。哈爾濱芯明天科技有限公司提供的壓電陶瓷偏轉(zhuǎn)鏡具有體積小、位移分辨率高、頻響高、無噪聲、不發(fā)熱等特點。且已經(jīng)過多家科研院所測試，驗證
2020
07-27

極低溫、強磁場二維掃描壓電納米定位平臺！
近年來，在環(huán)境下研究納米尺度下的物理學與材料學已成為學術(shù)研究的熱點。在極低溫、強磁場下，依據(jù)原子力、磁力等可從物質(zhì)結(jié)構(gòu)、物理特性、溫度、磁場、電學、光學、微波等多個物理維度實現(xiàn)對樣品性能的表征。它的應(yīng)用非常廣泛，例如研究超導材料、二維材料、拓撲絕緣體等。XD103系列壓電納米定位臺是專為極低溫、強磁場環(huán)境而研發(fā)設(shè)計，采用低溫壓電驅(qū)動，外殼采用輕型材料。XD103為XY二維掃描運動，它的體積小巧，尺寸僅33×33×15mm，中心具有10×10mm通孔。所有組件均采用低溫強磁兼容版本，以保證其在低溫
2020
07-27

壓電陶瓷致動器的直線運動應(yīng)用
壓電陶瓷致動器做為相關(guān)應(yīng)用技術(shù)時，通常要求運動幾納米或更高的分辨率，亞毫米或微米級行程范圍的應(yīng)用在線性運動中并不少見。為了說明這一點，下面是一些行業(yè)和應(yīng)用的例子，在這些行業(yè)和應(yīng)用中，壓電陶瓷致動器通常是優(yōu)秀解決方案。微升和納升分配當需要分配微升或納升體積時，它需要精確的運動來控制分配，由壓電陶瓷致動器促動隔膜泵或閥門是一種常見的解決方案。通過給壓電陶瓷施加電壓，改變其位移的大小和速率，從而達到微升或納升分配的目的。壓電致動器的位移決定分配體積，致動器的工作頻率控制流量，壓電陶瓷致動器具有分辨率高
2020
07-20

配有電容位移測量驗證的壓電控制器
配有電容位移測量驗證的壓電控制器，如此之叫法，是因其本質(zhì)為壓電控制器，但與通常壓電控制器不同的是，它額外配有電容式位移測量模塊，該模塊可用于測量微運動型產(chǎn)品的位移量，測量范圍一般為0~200μm。該壓電控制器的功能及使用方法如下。功能1：可用于驗證閉環(huán)壓電納米定位系統(tǒng)的位移量閉環(huán)壓電納米定位系統(tǒng)是可進行位移閉環(huán)伺服控制的壓電納米運動定位系統(tǒng)，它可對壓電促動器的運動位移量進行實時的反饋及控制，在這種系統(tǒng)中，配備的壓電控制器為閉環(huán)壓電控制器，它由功率放大模塊、閉環(huán)伺服模塊、供電模塊組成，可選配上位機
2020
07-20

壓電物鏡定位器的顯微鏡領(lǐng)域應(yīng)用
新的超分辨率技術(shù)，例如受激發(fā)射損耗顯微鏡，光激活定位顯微鏡和隨機光學重建顯微鏡，已將分辨率從100–200nm降至更低。納米級分辨率的壓電物鏡定位器非常適合這些應(yīng)用。顯微鏡和樣品架的對準要求精確，快速的移動。基于高分辨率壓電陶瓷驅(qū)動的壓電物鏡定位器可以提供*的超精密技術(shù)支持。P72系列壓電物鏡定位器是專門為顯微鏡應(yīng)用而設(shè)計，采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構(gòu)設(shè)計，無摩擦且具有*的分辨率，補償量較小，具有超高聚焦穩(wěn)定性，非常適合樣品調(diào)整，光束對準和光束跟蹤等應(yīng)用。特點Z軸運動100μm行程2.5nm分
2020
07-16

壓電偏轉(zhuǎn)鏡的畫圖“操作”包看包會！
壓電偏轉(zhuǎn)鏡的偏轉(zhuǎn)精度高，可達納弧度量級；響應(yīng)速度快，可達毫秒量級；體積小巧，易集成；性能不受磁、輻射等影響；可在超低溫下使用，且可表現(xiàn)優(yōu)良的產(chǎn)品性能等。壓電偏轉(zhuǎn)鏡的負載一般為反射鏡片，反射鏡片即可反射光，如果入射光的入射角度不變，通過壓電偏轉(zhuǎn)鏡的偏轉(zhuǎn)運動，就可以改變反射光的方向，并且壓電偏轉(zhuǎn)鏡的響應(yīng)速度可達毫秒，可快速改變反射光的方向。因壓電偏轉(zhuǎn)鏡的納弧度級偏轉(zhuǎn)精度，因此壓電偏轉(zhuǎn)鏡也非常適于遠距離的光路方向調(diào)節(jié)與對準。如何讓壓電偏轉(zhuǎn)鏡反射光的光斑“畫圖”呢？首先要了解壓電偏轉(zhuǎn)鏡的偏轉(zhuǎn)角度與壓電控
2020
07-11

P22系列一維θx壓電偏轉(zhuǎn)鏡
P22系列一維θx壓電偏轉(zhuǎn)鏡P22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是一維θx軸偏轉(zhuǎn)的壓電偏轉(zhuǎn)鏡/快反鏡，柔性鉸鏈導向設(shè)計具有零摩擦及零靜態(tài)阻力、優(yōu)異的導向精度，提供亞微弧度的分辨率和優(yōu)異的定位穩(wěn)定性。光束偏轉(zhuǎn)范圍可達6mrad,具有極快的響應(yīng)速度（毫秒至微秒級），非常適于動態(tài)操作（例如跟蹤、掃描、漂移及振動消除等）及光學和樣品的靜態(tài)定位。特點?一維θx軸偏轉(zhuǎn)?偏轉(zhuǎn)角度達3mrad?亞毫秒響應(yīng)時間?閉環(huán)定位精度高應(yīng)用?圖像處理與穩(wěn)定?激光掃描?隔行掃描、抖動?光學濾波器/開關(guān)?光束偏轉(zhuǎn)?樣品檢測運動方式P22系列壓
2020
07-11

芯明天E51系列多通道高精度壓電控制器
E51是為多通道驅(qū)動應(yīng)用而設(shè)計的多種型號、多通道可選的閉環(huán)壓電控制器，用于驅(qū)動壓電傾斜、偏擺、差分驅(qū)動等系統(tǒng)?？刂破鞑捎眠\算放大電路保證了高壓大電流輸出，供電部分采用開關(guān)電源技術(shù)?？煽康碾娐穬?yōu)化及抗干擾設(shè)計，保證了高頻率響應(yīng)速度。應(yīng)用領(lǐng)域包括精密校準和自動化、半導體技術(shù)、光子學、生物納米技術(shù)、計量學、顯微鏡學、微操作等。E51.B3SE51.B3S為三通道閉環(huán)控制器，產(chǎn)品體積小巧,僅為110×36×60mm，模擬輸入控制，連接控制方式簡單，優(yōu)化傳感伺服模塊提高了PI調(diào)節(jié)與控制的精準度與穩(wěn)定性。可
2020
07-08

壓電陶瓷的使用原則究竟是怎樣的？
壓電陶瓷可將電能轉(zhuǎn)換成位移或出力的功能性材料且越來越廣泛的被精密定位、半導體加工、顯微成像等各個領(lǐng)域所應(yīng)用。由于其壓電特性、機電耦合系數(shù)高等特點，在科研、工業(yè)、國防等精密定位控制領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用，其中壓電陶瓷動態(tài)操作應(yīng)用占比較大，比如減震抑震、精密加工、精密檢測等等。壓電陶瓷的幾大特性：大出力；高機械負載能力；高剛度；高動態(tài)性；真空環(huán)境兼容；高分辨率。壓電陶瓷的幾大使用原則：1.請確定壓電陶瓷會給您的應(yīng)用帶來其他方案所不能比擬的優(yōu)勢。如果用壓電陶瓷只是為了因為成本原因，那么方案的可行性值得推敲
2020
07-06

P77.D9壓電式移相器
P77系列壓電移相器是專為光學檢測移相應(yīng)用而設(shè)計，行程范圍可達50µm，負載能力可高達10kg。P77.D9為P77系列中的一款，它的中心通孔為φ140mm，移相行程可達32μm，分辨率達0.5nm，適用于各種光學鏡片、鏡頭等測量的臥式激光干涉儀，臥式承載達5kg。芯明天壓電移相器以定制設(shè)計為主，依據(jù)客戶的設(shè)備應(yīng)用，量身定制。特點?行程范圍：0~16/32μm?通孔直徑：Φ140mm?臥式承載：5kg?可定制應(yīng)用?顯微成像?表面檢測?移相/干涉/計量?精密定位?移相器?光學捕獲10V步進電壓與位
2020
07-06

壓電納米定位系統(tǒng)的特點及應(yīng)用領(lǐng)域
芯明天專注于壓電納米運動與控制系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品主要包括壓電陶瓷促動器、壓電納米定位臺、快速刀具伺服系統(tǒng)、壓電物鏡定位器、壓電偏擺臺/偏轉(zhuǎn)鏡、壓電控制器等，廣泛應(yīng)用于半導體技術(shù)、通信與集成光學、生物醫(yī)療、精密加工、納米定位、航空航天等領(lǐng)域。特點高分辨率壓電陶瓷是高精度致動器，通過控制電壓的微小變化產(chǎn)生很小的位移，可達到亞納米級。壓電陶瓷大出力壓電陶瓷促動器可以產(chǎn)生50000N的力，芯明天提供的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)可以承受高達幾噸的負載。封裝式壓電陶瓷促動器快速響應(yīng)、抗干擾壓電納米定位臺由容性負載驅(qū)
2020
06-28

超精密加工中的FTS快速刀具伺服系統(tǒng)
精密、超精密加工技術(shù)在我國的應(yīng)用已不再局限于航空航天或其他應(yīng)用等少數(shù)部門，它已擴展到日常生活與應(yīng)用中的許多領(lǐng)域，應(yīng)用規(guī)模也有很大的增長。超精密加工是實現(xiàn)納米加工的有效方式，其中壓電快速刀具伺服系統(tǒng)是超精密加工中的核心器件，快速刀具定位臺帶動車刀或其他刀具微納米級進給，在工件表面進行加工。此外也可加工各種回轉(zhuǎn)表面，如內(nèi)圓柱面、內(nèi)外圓錐面，螺紋、溝槽、端面和成型面等。芯明天快速刀具定位臺是為超精密加工而研發(fā)設(shè)計的，利用自身所具有的高響應(yīng)頻率、高剛度、高精度等特性，驅(qū)動刀具在運動方向快速實現(xiàn)滿行程11

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