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特性
• θx、θy 二維偏轉(zhuǎn) • 承載能力達500g • 高諧振頻率 • 響應(yīng)速度快
驅(qū)動原理
壓電偏轉(zhuǎn)鏡(兩軸運動)是基于平行運動學(xué)設(shè)計,具有共面軸及移動面。四個執(zhí)行機構(gòu)(壓電促動器)以90°角平分放置,成對的差分控制分布。兩對差分驅(qū)動壓電促動器在較大溫度范圍內(nèi)提供可實現(xiàn)的角度穩(wěn)定性。它的偏擺運動是由兩對壓電促動器以推拉模式來實現(xiàn),采用橋式連接電路控制。
技術(shù)參數(shù)
型號:XD303.T1S
運動自由度:θx θy
標稱偏轉(zhuǎn)角度:0.8mrad@120V
偏轉(zhuǎn)角度:1mrad@150V
傳感器類型:SGS
分辨率:0.1μrad
線性度:0.5 %F.S.
重復(fù)度:0.2 %F.S.
空載諧振頻率:2800Hz
帶載500g諧振頻率:600Hz
階躍時間:5ms
靜電容量:14.5μF
材質(zhì):鋼
重量:2000g
注:以上參數(shù)是采用E00/E01 系列壓電控制器測得。驅(qū)動電壓可在-20V~150V;對于高可靠的長期使用,建議驅(qū)動電壓在0~120V。
推薦壓電控制器-E70系列
芯明天E70系列壓電控制器具有大電流、小體積的特點,驅(qū)動XD303系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡,可滿足快速響應(yīng)、高控制精度的要求。
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