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芯明天致力于納米級精密定位與運動產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售，已經(jīng)發(fā)布了多種用于顯微計量學(xué)的掃描控制系統(tǒng)解決方案，包含高精密快速掃描的壓電納米定位臺及小體積數(shù)字式伺服控制器。

P78.Z100壓電顯微樣品臺

P78系列壓電顯微樣品臺可以帶動樣品以亞納米級分辨率進行高速掃描與定位，是顯微計量學(xué)和高分辨率顯微鏡應(yīng)用的重要功能。配置閉環(huán)傳感器，對位移實現(xiàn)實時監(jiān)測并反饋給閉環(huán)壓電控制器，實現(xiàn)納米級精密控制及超高線性度和穩(wěn)定性。無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)確保實現(xiàn)快速響應(yīng)、高剛度及毫秒級響應(yīng)時間，緊湊的外形結(jié)構(gòu)易于集成到顯微儀器設(shè)備中。

特性

· 一維Z軸運動

· 運動行程100μm

· 閉環(huán)SGS傳感器

· 分辨率可達4nm

· 通孔尺寸120×70mm

· 空載階躍時間5ms

· 空載諧頻200Hz

· 承載能力1kg

· 外形尺寸：154×136×25mm

E53.D數(shù)字式伺服控制器

與傳統(tǒng)的控制器相比，數(shù)字式伺服壓電控制器具有更高的線性度，操作簡單以及易于控制的優(yōu)點。E53系列控制器，體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，且提供了快速響應(yīng)的實時修正，通過優(yōu)化傳感伺服模塊從而提高了PI調(diào)節(jié)與控制的精準度與穩(wěn)定性，可靠的抗干擾設(shè)計保證了控制器的高頻響應(yīng)速度，從而實現(xiàn)納米定位臺精確、穩(wěn)定的運動。

特性

· 一通道 閉環(huán)控制

· 0~120/150V輸出

· 平均電流60mA

· 放大器帶寬10kHZ

· 通信接口：USB/RS-422/RS-232

· 重量：350g

· 外形尺寸：148×27.5×80mm