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差分驅(qū)動(dòng)壓電納米定位臺(tái)P16系列升級(jí)版

來(lái)源:哈爾濱芯明天科技有限公司   2020年09月15日 18:44  

P16系列壓電平臺(tái)是以小體積、大位移而聞名,它的外形尺寸僅60×60×20mm,位移行程可選50μm或100μm,非常小的體積及較低的高度提供了較大的位移。

P16系列XY二維運(yùn)動(dòng)壓電平臺(tái),它的中心具有φ20mm的中心通孔,非常適用于光學(xué)應(yīng)用。

近期,芯明天公司對(duì)P16系列進(jìn)行了升級(jí),對(duì)結(jié)構(gòu)和外觀進(jìn)行了改善,使之更加一體化,同時(shí),可靠性也大幅提高。

安裝接口

需帶載的負(fù)載可通過(guò)移動(dòng)面上間距25mm的4個(gè)M3螺紋孔或間距16mm的4個(gè)M2螺紋孔進(jìn)行固定,機(jī)械接口,安裝便捷。

驅(qū)動(dòng)原理

P16系列壓電平臺(tái)是一款特別的運(yùn)動(dòng)平臺(tái),它采用差分式驅(qū)動(dòng)控制,雖然是二維運(yùn)動(dòng),但它需要一臺(tái)具有恒壓的三通道壓電控制器驅(qū)動(dòng),這是因?yàn)樗鼉?nèi)部每軸的運(yùn)動(dòng)都采用兩組壓電陶瓷差分式驅(qū)動(dòng),如下圖所示。

使用說(shuō)明/位移曲線

由于差分驅(qū)動(dòng),P16壓電平臺(tái)的開(kāi)/閉環(huán)位移曲線與非差分驅(qū)動(dòng)式壓電平臺(tái)的會(huì)略顯不同。以150V驅(qū)動(dòng)電壓為例,X軸方向的閉環(huán)位移與控制電壓的關(guān)系如下圖所示,Y軸方向的位移&電壓曲線與X軸相同。

閉環(huán)位移曲線

,在控制電壓為75V時(shí),移動(dòng)平面的位置會(huì)回到施加電壓前的初始位置。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào):P16.XY100S/K

運(yùn)動(dòng)自由度:X Y

標(biāo)稱行程范圍:80或±40μm/@120V

行程范圍:100或±50μm/@150V

傳感器類(lèi)型:SGS

通孔尺寸:φ20mm

/開(kāi)環(huán)分辨率:10/5nm

閉環(huán)線性度:0.4%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.1%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng):<25μrad

/拉力:30N

運(yùn)動(dòng)方向剛度:0.5N/μm

空載諧振頻率:400Hz

/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間:10/1.6ms

閉環(huán)空載工作頻率:100Hz@10%行程

閉環(huán)空載工作頻率:10Hz@行程

承載能力:1.5kg

靜電容量:3.6μF/

材質(zhì):鋼、鋁

重量:220g

注:P16.XY50S/K的位移范圍50μm或±25μm。

典型應(yīng)用

• 顯微成像 • 表面檢測(cè) • 干涉 / 計(jì)量 • 精密定位 • 光學(xué) • 微操作

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