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美國(guó)Rtec公司的WLI非接觸式光學(xué)輪廓儀測(cè)量系統(tǒng)沿著縱軸捕獲一系列位置的光強(qiáng)數(shù)據(jù)。通過(guò)白光干涉圖的形狀，干涉圖的局部相位或者是二者的結(jié)合來(lái)確定表面位置。本公司還有激光共焦，白光共焦，拉曼光譜儀等，可以把這些設(shè)備自由組合在一起，以實(shí)現(xiàn)客戶的不同需求
WLI有如下特點(diǎn)
快速直觀的操作
較高的計(jì)算程序，精確的高測(cè)量速度和簡(jiǎn)便的操作軟件，使用戶能夠快速的分析和創(chuàng)建報(bào)告
多個(gè)物鏡
該WLI-1000 帶有6物鏡轉(zhuǎn)輪，包括多個(gè)物鏡：長(zhǎng)焦，短焦，不同數(shù)值孔徑，投射鏡頭等
電子器件
*的控制器，低機(jī)械噪聲，自校準(zhǔn)系統(tǒng)，可選波長(zhǎng)，64位并行處理器，標(biāo)準(zhǔn)分辨率達(dá)到1920*1920
硬件
WLI-1000能夠被固定到全自動(dòng)化的平臺(tái)，高強(qiáng)度LED10年保修，高級(jí)精加工零部件，低能耗，遠(yuǎn)程訪問(wèn)，內(nèi)置相機(jī)側(cè)視圖，有效照明等。
軟件
三維虛擬軟件
影像分析
多種標(biāo)準(zhǔn)，粗糙，平面，波浪以及其他表面參數(shù)
微粒（粒子）和細(xì)孔分析
力曲線分析
附帶傅里葉分析
過(guò)濾
用戶界面報(bào)告的創(chuàng)建和編輯
影像編輯特征-光，顏色等
尺寸，表面積，體積，承載比分析
紋理計(jì)算，分類，其他紋理分析
光譜和分形分析
*的統(tǒng)計(jì)分析
能夠輸出原始數(shù)據(jù)，影像，全部報(bào)告
數(shù)個(gè)可用的附加功能
參數(shù)：
內(nèi)校準(zhǔn)
4百萬(wàn)像素
可選波長(zhǎng)
高強(qiáng)度長(zhǎng)壽命LED
1920*1920成像
64位*處理器
低機(jī)械噪聲
并行處理
6物鏡轉(zhuǎn)輪
技術(shù)規(guī)格
| Vertical Resolution 垂直分辨率 | 0.1nm 0.1nm |
| Turret 轉(zhuǎn)輪 | upto 6 objective turret （manual or automatic） 6鏡頭轉(zhuǎn)輪（自動(dòng)或手動(dòng)） |
| Scan Range 掃描范圍 | Up to 150mm x 150mm zui高達(dá)150mmx150mm |
| Sample thickness 試樣厚度 | upto 100mm zui高達(dá)100mm |
| FOV 視場(chǎng) | upto 10mm zui高達(dá)10mm |
| Objectives 物鏡 | 10x,50x 10倍，50倍 |
| Z focussing range Z軸方向聚焦范圍 | nm to 10mm 0.1nm到10mm |
| Scanning area 掃描區(qū)域 | 150x150mm 150x150mm |
| Tilt 傾斜角 | +/- 7 degree +/-7度 |
| Rotation （theta） 平臺(tái)旋轉(zhuǎn)范圍 | 360 Degree 360度 |
| Pixel 像素 | Standard 1024 x 1024 標(biāo)準(zhǔn)1024x1024 |
