四點(diǎn)彎-半導(dǎo)體薄膜結(jié)合力檢測系統(tǒng)
1.產(chǎn)品簡介
四點(diǎn)彎-半導(dǎo)體薄膜結(jié)合力檢測系統(tǒng)V8.2是*的四點(diǎn)彎測試系統(tǒng)，來自于史坦福大學(xué)，半導(dǎo)體專業(yè)生產(chǎn)線應(yīng)用，經(jīng)歷超過8年的開發(fā)和優(yōu)化來提高測試能力、穩(wěn)定性和產(chǎn)量。系統(tǒng)和軟件的控制通過大量的修正來提高測試能力、控制和數(shù)據(jù)分析。可以滿足微電子設(shè)備、工具和材料公司的測試需求。超過90臺(tái)系統(tǒng)銷往4大洲的11個(gè)國家，在公司和研究所里得到了廣泛的應(yīng)用。
是一款高精度的測試系統(tǒng)。它是全電腦控制和數(shù)據(jù)分析，特別是使用四點(diǎn)彎技術(shù)，應(yīng)用于薄膜的粘附和結(jié)合測試。該系統(tǒng)是建立在一個(gè)機(jī)械的堅(jiān)硬框架上,提高檢測的穩(wěn)定性和產(chǎn)量。它包括了一個(gè)超高精度的線性驅(qū)動(dòng)器，提供50毫米范圍內(nèi)直線運(yùn)動(dòng)和亞微米級(jí)分辨率，結(jié)構(gòu)緊湊。該系統(tǒng)能夠測試壓縮（4點(diǎn)彎曲配置）和拉伸（DCB配置）。
該系統(tǒng)和軟件控制也是專為全自動(dòng)的裂紋速度測試而設(shè)計(jì)的。整個(gè)系統(tǒng)可以在-20攝℃到80℃，濕度在0 - 85%環(huán)境室的范圍內(nèi)操作，這使得在*的環(huán)境控制下進(jìn)行機(jī)械測試。使用四點(diǎn)彎或DCB試樣可以很容易在水性環(huán)境下測試裂紋速度，溶液容器是選配的。也可以應(yīng)用于其他制定的測試。
2.產(chǎn)品規(guī)格
試驗(yàn)部分：標(biāo)配四點(diǎn)彎（壓縮）和雙懸臂彎曲（DCB-拉伸）。其他制定試驗(yàn)用戶可以改進(jìn)夾具。
試驗(yàn)樣品尺寸：18mm-80mm長。沒有寬度限制，常規(guī)樣品寬度2mm-12mm寬。沒有厚度限制，常規(guī)厚度1mm-2mm。
測試系統(tǒng)尺寸：測試框架： 長400mm，寬170mm，高56mm。
電子控制器：長200mm，寬200mm，高180mm。
PC電腦配置平板顯示器。
整套系統(tǒng)能安裝到小型桌子或試驗(yàn)臺(tái)上。也可以安裝在小型試驗(yàn)推車，便捷使用。
電源供應(yīng)：110V或220V。
軟件控制：控制軟件可以用于測試四點(diǎn)彎樣品或DCB樣品。可以測試壓縮和拉伸試驗(yàn)。電腦屏幕上可以顯示臨街載荷和其他圖表特征。軟件包括所有數(shù)據(jù)可以根據(jù)卸載柔量分析出脫粘長度測量值。在潮濕或水性環(huán)境下的破裂速度測量可以使用自動(dòng)破裂增長率分析的次臨界剝離實(shí)驗(yàn)評(píng)估出來。
這是一款用于附著力實(shí)驗(yàn)的高精密軟件系統(tǒng)。
電腦：系統(tǒng)包括可聯(lián)網(wǎng)絡(luò)的PC電腦，配置平板顯示器并運(yùn)行Windows7系統(tǒng)。電腦配有高速USB借口，用于數(shù)據(jù)傳輸和直流電機(jī)控制單元。數(shù)據(jù)采集和控制系統(tǒng)包含16位分辨率的模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換器。
電子控制：測力傳感器系統(tǒng)電子調(diào)節(jié)。精度為滿量程的0.15%。
測力傳感器：測力傳感器是特殊制造的，密封環(huán)境的，具有溫度補(bǔ)償?shù)?，還有非常高的加載精度。
zui大載荷222.4 N.
非線性度< ±0.05 %FS.
磁滯< ±0.03 %FS
補(bǔ)償溫度 -15 to 65oC
直流電機(jī)作動(dòng)器：該系統(tǒng)的zui重要的硬件組件是超高分辨率的直線作動(dòng)器，能夠提供50mm的直線移動(dòng)，同時(shí)具有亞微米分辨率，安裝在一個(gè)緊湊的包裝里。它包括預(yù)加載極低摩擦力，耐用滾珠絲桿，用兩相步進(jìn)電機(jī)或閉環(huán)回路直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)，集成了高分辨率的編碼器（2048counts/rev.）。作動(dòng)器有相當(dāng)?shù)偷撵o態(tài)阻力和摩擦力結(jié)構(gòu)，可以提供移動(dòng)速度以50nm的幅度增長，zui高速度可達(dá)3mm/s。
與傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)測微計(jì)驅(qū)動(dòng)器，此作動(dòng)器的無回轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)有了更過的優(yōu)勢：
l 消除扭矩感應(yīng)位移誤差。
l 消除正弦移動(dòng)誤差。
l 消除接觸點(diǎn)的摩擦。
l 消除尖叫的晃動(dòng)。
行程：50mm
設(shè)計(jì)分辨率：0.016μm
zui小移動(dòng)增加：0.05μm
單向重復(fù)性：0.1μm
雙向重復(fù)性：1μm
zui大速率：3mm/sec
zui大推拉力：200N
zui大橫向力：100N
編碼器分辨率：2048 counts/rev.
電機(jī)分辨率：20000 steps/rev.
www.spibj.com
