這種三維表面形貌儀已應(yīng)用于雕刻測(cè)量、紋理、拋光或微結(jié)構(gòu)表面狀態(tài),尤其是在制表行業(yè),和激光雕刻領(lǐng)域。
**技術(shù)
彩色共焦
可見光和紅外干涉測(cè)量
激光三角測(cè)量
所有表面均可測(cè)量(粗糙的,透明的,拋光的表面等)
三維表面形貌儀規(guī)格參數(shù)
XYZ行程范圍:100mm x 100mm x 100mm
***大速度:40mm/s
軸向平整度: <1u/100mm
軸向分辨率:0.062um
測(cè)量傳感器:非接觸式共聚焦傳感器
測(cè)量范圍:100um-25mm
Z軸分辨率:可達(dá)3nm
橫向分辨率:0.9um
臺(tái)階高度測(cè)量:0.005%
粗糙度測(cè)量Ra/Sa: 20nm/20nm
***小測(cè)量厚度:4um