這種三維表面形貌儀已應用于雕刻測量、紋理、拋光或微結構表面狀態(tài),尤其是在制表行業(yè),和激光雕刻領域。
**技術
彩色共焦
可見光和紅外干涉測量
激光三角測量
所有表面均可測量(粗糙的,透明的,拋光的表面等)
三維表面形貌儀規(guī)格參數(shù)
XYZ行程范圍:100mm x 100mm x 100mm
***大速度:40mm/s
軸向平整度: <1u/100mm
軸向分辨率:0.062um
測量傳感器:非接觸式共聚焦傳感器
測量范圍:100um-25mm
Z軸分辨率:可達3nm
橫向分辨率:0.9um
臺階高度測量:0.005%
粗糙度測量Ra/Sa: 20nm/20nm
***小測量厚度:4um