科研級(jí)SEM電鏡規(guī)格參數(shù)
光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)
分辨率:3nm@20KV/30KV
放大倍率:10x~300,000x (數(shù)字變焦2X, 4X,8X)
加速電壓:0.6kv~30kv
電子槍類(lèi)型:鎢絲
圖像移動(dòng):250um (XY), 360度旋轉(zhuǎn)
電子槍準(zhǔn)直: 4級(jí)電磁類(lèi)型 (可自動(dòng)或者手動(dòng)準(zhǔn)直)
探測(cè)器類(lèi)型: SE探測(cè)器
自動(dòng)功能:自動(dòng)電子槍準(zhǔn)直,自動(dòng)聚焦,自動(dòng)對(duì)比度亮度,發(fā)射電流等
顯示: 640x480(area 模式), 960x640, 1024x768, 2048x 1536(檢查模式), 圖片模式(2048x1536~8192x6144)
圖像分析:Multi-Focusing/ Image Tiling/ 3D-View/Enhancement/ Color Transformation/ Filters/ Histogram, Point Measurement, Various Image Filter, AOI(Area-ofInterest) & etc.
位移臺(tái)參數(shù)
XYZ位移范圍:40,40,40mm
tilt傾斜:0-60度
旋轉(zhuǎn):360度
類(lèi)型:手動(dòng)5軸位移臺(tái) (可選3軸電動(dòng)位移臺(tái))
選配真空系統(tǒng)
高真空模式:10^-5 Torr
可選配器件:EDS, BSE, TSEM, 3D reconstruction S/W等