三維表面形貌儀 采用了上等光學(xué)系統(tǒng),可通過(guò)非破壞觀察法生產(chǎn)高畫質(zhì)的圖像并進(jìn)行**的3D測(cè)量,可以滿足不同樣品的觀測(cè)需求
NanoFocus2000三維表面測(cè)量?jī)x光學(xué)輪廓儀/三維表面形貌儀/三維表面輪廓儀(納米級(jí))是用于表面結(jié)構(gòu)測(cè)量和表面形貌分析的一款檢測(cè)設(shè)備
采用垂直掃描白光干涉和移相干涉技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面粗糙度、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征的納米級(jí)三維精密測(cè)量。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝、航空航天、太陽(yáng)能電池工藝、材料表面工程、MEMS、超精密加工等領(lǐng)域。
三維表面測(cè)量?jī)x/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級(jí)) 產(chǎn)品特點(diǎn)：
測(cè)量精度重復(fù)性達(dá)到世界較高水平
關(guān)鍵硬件采用美國(guó)、德國(guó)、日本等
配備進(jìn)口第三方校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)件
高性價(jià)比微觀形貌測(cè)量設(shè)備
迅捷、高效的上等售后服務(wù)
覆蓋范圍廣
兼容多種測(cè)量和觀察需求
保護(hù)性
非接觸式光學(xué)干涉測(cè)量
可操作性
“一鍵式”操作更簡(jiǎn)單、高效
智能化
特殊形狀智能計(jì)算特征參數(shù)
個(gè)性化
定制化測(cè)試報(bào)告
NanoFocus2000三維表面微觀形貌檢測(cè)儀主要由精密載物臺(tái)、照明系統(tǒng)、光學(xué)干涉成像系統(tǒng)、實(shí)現(xiàn)移相運(yùn)動(dòng)的微位移系統(tǒng)、圖像采集系統(tǒng)及圖像數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等組成。整個(gè)檢測(cè)儀放置在氣浮抗振平臺(tái)上。載物臺(tái)用于安放被測(cè)件，同時(shí)通過(guò)傾斜和XY二維平移調(diào)整使被測(cè)面**定位于感興趣的區(qū)域；光源及照明系統(tǒng)提供給被測(cè)面均勻又充分的反射式照明；干涉成像系統(tǒng)采用Mirau干涉物鏡結(jié)構(gòu)獲取被測(cè)表面干涉圖像；采用壓電陶瓷傳感器（PZT）實(shí)現(xiàn)微位移控制；通過(guò)CCD與自主開發(fā)的軟件系統(tǒng)采集并處理干涉圖像，獲得被測(cè)面的相位信息進(jìn)而得到表面輪廓。
應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體工藝、MEMS器件表征、精密機(jī)械加工、LED、太陽(yáng)能、生物醫(yī)學(xué)等。
三維表面測(cè)量?jī)x/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級(jí)) 主要指標(biāo)：
? CCD分辨率：像素1280x960
? 測(cè)試模式：PSI + VSI 檢測(cè)模式
? 縱向分辨率：＜0.1nm
? RMS重復(fù)性：＜0.01nm，1σ
? 臺(tái)階測(cè)量：準(zhǔn)確度≤0.75％
? 臺(tái)階高重復(fù)性≤0.1％，1σ
? 高清晰無(wú)限遠(yuǎn)成像系統(tǒng)，白光高效LED,光譜濾光
? Nikon干涉物鏡配置2.5x，5x，10x，20x，50x
? 200mm手動(dòng)樣品臺(tái) （XY高精度）+ 傾斜±6°
三維表面測(cè)量?jī)x/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級(jí)) 分析及控制軟件：
? 三維分析處理迅速，結(jié)果實(shí)時(shí)更新
? 縮放、定位、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像顯示
? 自主設(shè)定測(cè)量閾值，三維處理自動(dòng)標(biāo)注
? 測(cè)量模式可根據(jù)需求自由切換
? 可創(chuàng)建簡(jiǎn)單工作流程，簡(jiǎn)化重復(fù)工作
? 三維圖像支持高清打印
? 可進(jìn)行軟件在線升級(jí)和遠(yuǎn)程支持服務(wù)
