三維表面形貌儀 采用了上等光學系統(tǒng),可通過非破壞觀察法生產(chǎn)高畫質(zhì)的圖像并進行**的3D測量,可以滿足不同樣品的觀測需求

NanoFocus2000三維表面測量儀光學輪廓儀/三維表面形貌儀/三維表面輪廓儀(納米級)是用于表面結(jié)構(gòu)測量和表面形貌分析的一款檢測設備

采用垂直掃描白光干涉和移相干涉技術(shù)，實現(xiàn)對樣品表面粗糙度、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征的納米級三維精密測量。廣泛應用于半導體工藝、航空航天、太陽能電池工藝、材料表面工程、MEMS、超精密加工等領(lǐng)域。

三維表面測量儀/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級) 產(chǎn)品特點：

測量精度重復性達到世界較高水平

關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等

配備進口第三方校準標準件

高性價比微觀形貌測量設備

迅捷、高效的上等售后服務

覆蓋范圍廣

兼容多種測量和觀察需求

保護性

非接觸式光學干涉測量

可操作性

“一鍵式”操作更簡單、高效

智能化

特殊形狀智能計算特征參數(shù)

個性化

定制化測試報告

NanoFocus2000三維表面微觀形貌檢測儀主要由精密載物臺、照明系統(tǒng)、光學干涉成像系統(tǒng)、實現(xiàn)移相運動的微位移系統(tǒng)、圖像采集系統(tǒng)及圖像數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等組成。整個檢測儀放置在氣浮抗振平臺上。載物臺用于安放被測件，同時通過傾斜和XY二維平移調(diào)整使被測面**定位于感興趣的區(qū)域；光源及照明系統(tǒng)提供給被測面均勻又充分的反射式照明；干涉成像系統(tǒng)采用Mirau干涉物鏡結(jié)構(gòu)獲取被測表面干涉圖像；采用壓電陶瓷傳感器（PZT）實現(xiàn)微位移控制；通過CCD與自主開發(fā)的軟件系統(tǒng)采集并處理干涉圖像，獲得被測面的相位信息進而得到表面輪廓。

應用領(lǐng)域：半導體工藝、MEMS器件表征、精密機械加工、LED、太陽能、生物醫(yī)學等。

三維表面測量儀/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級) 主要指標：

? CCD分辨率：像素1280x960

? 測試模式：PSI + VSI 檢測模式

? 縱向分辨率：＜0.1nm

? RMS重復性：＜0.01nm，1σ

? 臺階測量：準確度≤0.75％

? 臺階高重復性≤0.1％，1σ

? 高清晰無限遠成像系統(tǒng)，白光高效LED,光譜濾光

? Nikon干涉物鏡配置2.5x，5x，10x，20x，50x

? 200mm手動樣品臺 （XY高精度）+ 傾斜±6°

三維表面測量儀/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級) 分析及控制軟件：

? 三維分析處理迅速，結(jié)果實時更新

? 縮放、定位、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像顯示

? 自主設定測量閾值，三維處理自動標注

? 測量模式可根據(jù)需求自由切換

? 可創(chuàng)建簡單工作流程，簡化重復工作

? 三維圖像支持高清打印

? 可進行軟件在線升級和遠程支持服務