參數(shù)說明
共聚焦三維表面形貌儀
高頻碳硫分析儀廠家生產(chǎn)的共聚焦三維表面形貌儀具有光學形貌上的橫向分辨率,附有5百萬自動分辨率的CCD相機, 空間下樣可調(diào)至0.05um,是表面特征以及形貌的測量的配置。
可 快速垂直掃描的旋轉(zhuǎn)盤共焦技術。
使用高數(shù)值孔徑 (0.95) 以及高倍數(shù)的 (150X) 3D全視野3D鏡頭,用以表征坡度分析 (斜率<干涉測量>: 72o vs 44o) 。
具有光學形貌上的橫向分辨率,附有5百萬自動分辨率的CCD相機, 空間下樣可調(diào)至0.05um,是表面特征以及形貌的測量的配置。
在測量表面粗糙度/表面反射率上無限制(0.1%- )
應用于透明層/薄膜。
兼容亮視野&暗視野; 光學DIC。
長距離遠攝鏡頭是用以測量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。
的穩(wěn)定性。