超高分辨肖特基場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU8700
隨著快速數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理技術的發(fā)展,電子顯微鏡進入了一個不僅重視數(shù)據(jù)質量,而且注重其采集過程的時代。SU8700作為一款面向新時代的SEM,在日立電鏡貫有的高圖像質量和高穩(wěn)定性的基礎上,增加了包括自動獲取數(shù)據(jù)等高通量的功能。
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- 設備照片包含選配。
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特點
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規(guī)格
特點
超高分辨觀察和分析能力
日立的高亮度肖特基場發(fā)射電子槍可同時支持超高分辨觀察和快速微束分析。在不使用樣品臺減速的情況下,僅用0.1 kV的低加速電壓仍可進行高分辨觀察,適應更多應用場景。同時,可搭配多種新型探測器和其他豐富的選配項,滿足更多的觀測需求。
*的自動化功能*
EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊,如設置放大倍率、移動樣品位置、調節(jié)焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標拖拽,將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經(jīng)過調試和確認后,該程序便可以在每次調用時自動獲得高質量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。
強大的顯示及交互特性
原生支持雙顯示器,提供靈活、高效的操作空間。
6通道同時顯示與保存,實現(xiàn)快速的多信號觀測與采集,帶來更多信息。
單次掃描支持 40,960×30,720 的超高像素*
大視野和高像素成像
左圖是視野約為120 μm,單次掃描采集的大鼠超薄切片樣品高像素圖像。將黃色矩形區(qū)域圖像進行簡單的數(shù)字放大,得到右圖。右圖相當于左圖數(shù)字放大20倍,依然可以清晰確認到神經(jīng)細胞的細胞器等的內部構造
SU8600和SU8700單次掃描像素可達 40,960 x 30,720.*
*選配
規(guī)格
電子光學系統(tǒng) | 二次電子分辨率 | 0.8 nm@15 kV |
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0.9 nm@1 kV | ||
放大倍率 | 20 ~ 2,000,000 x | |
電子槍 | 肖特基場發(fā)射電子源 | |
加速電壓 | 0.1 ~ 30 kV | |
著陸電壓*1,*3 | 0.01 ~ 7 kV | |
束流 | 200 nA | |
探測器 | 標配探測器 | 上探測器(UD) |
下探測器(LD) | ||
選配探測器*3 | 鏡筒內背散射電子探測器(MD) | |
半導體式背散射電子探測器(PD-BSE) | ||
高靈敏低真空探測器(UVD) | ||
掃描透射探測器(STEM) | ||
選配附件*2 | X射線能譜儀(EDS) | |
電子背散射衍射探測器(EBSD) | ||
樣品臺 | 馬達驅動軸 | 5軸馬達驅動 |
移動范圍 | ||
X | 0 ~ 110 mm | |
Y | 0 ~ 110 mm | |
Z | 1.5 ~ 40 mm | |
T | -5 ~ 70° | |
R | 360° | |
樣品室 | 樣品尺寸 | 直徑:150 mm*4 |
低真空模式 | 真空范圍 | 5 ~ 300 Pa |
- *1
- 減速模式下
- *2
- 可配置的探測器
- *3
- 選配項
- *4
- 如果有更大的樣品尺寸需求,請聯(lián)系我們。
關聯(lián)產(chǎn)品分類
- 聚焦離子束系統(tǒng) (FIB/FIB-SEM)
- TEM/SEM樣品前處理裝置