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正規(guī)代理hitachi日立聚焦離子束系統(tǒng)
正規(guī)代理hitachi日立聚焦離子束系統(tǒng)
MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統(tǒng):新型電子光學(xué)系統(tǒng),可達(dá)到世界高水準(zhǔn)的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率,使得高品質(zhì)TEM樣品制備成為可能
可用于截面加工觀察,高品質(zhì)TEM樣品制備,電路修復(fù),Vector Scan加工,微納米級(jí)微細(xì)圖形及磨具加工,利用沉積功能制作3維構(gòu)造等眾多樣品加工應(yīng)用。
通過(guò)提高極低加速電壓(0.5kV~)加工及低加速電壓二次電子圖像分辨率,實(shí)現(xiàn)制備損傷率更低的TEM樣品
*的操作性能和多種多樣的加工模式
- 截面制備程序加工
- TEM/STEM樣品程序加工
- 自動(dòng)連續(xù)加工
- TEM樣品自動(dòng)連續(xù)精加工軟件
- 位圖加工
- Vector Scan加工
- 制備納米精度三維結(jié)構(gòu)樣品 其他
項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
---|---|
樣品尺寸 | 50mm×50mm×12mm(t)以下 |
樣品臺(tái) | 5軸電動(dòng)機(jī)械優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái) |
加速電壓 | 1~30kV?。?.5kV~ 選配) (0.5~1.0kV : 步長(zhǎng)0.1kV) (1.0~2.0kV : 步長(zhǎng)0.2kV) |
二次電子分辨率 | 4nm@30kV |
大探針電流 | 90nA |
大探針電流密度 | 50A/cm2 |