超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列
現(xiàn)有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。
"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍*1,可以獲得高穩(wěn)定的束流。
通過優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng),Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。
此外,為充分發(fā)揮超高分辨的能力,放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能,通過此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號的檢測原理,幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能。
- *1
- Regulus8240/8230/8220
特點
規(guī)格
特點
- 沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2
- 采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV) - 采用污染小、高真空樣品倉
- 運用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度*2
極低著陸電壓下高分辨觀察
樣品:金顆粒
著陸電壓:10 V
超高分辨觀察
樣品:Pt催化劑
加速電壓:30 kV
低加速電壓下高分辨EDX分析
樣品:Sn球
著陸電壓:1.5 kV
- *2
- Regulus8240/8230/8220
規(guī)格
項目 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
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二次電子分辨率 | 0.7 nm (加速電壓15 kV) 0.8 nm (著陸電壓1 kV)*3 | 0.6 nm(加速電壓 15 kV) 0.7 nm(著陸電壓 1 kV)*3 | |||||
著陸電壓 | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV | |||||
放大倍率 | 20~1,000,000倍*4 | 20~2,000,000倍*4 | |||||
樣品臺 | 樣品臺控制 | 3軸馬達臺(可選5軸馬達臺) | 5軸馬達驅(qū)動 | ||||
移動范圍 | X | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~110 mm | ||
Y | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~80 mm | |||
R | 360° | ||||||
T | -5~70° | ||||||
Z | 1.5~30 mm | 1.5~40 mm | |||||
再現(xiàn)性 | - | - | - | ±0.5 µm以下含±0.5 µm |
- *3
- 減速模式下觀察
- *4
- 以127 mm × 95 mm底片為基準的倍率
關(guān)聯(lián)產(chǎn)品分類
- 聚焦離子束系統(tǒng) (FIB/FIB-SEM)
- TEM/SEM樣品前處理裝置