品牌:PICOSUN
產地:芬蘭
型號:PICOSUN™ ALD P-300 Advanced
Picosun™ 300mm生產線上的產品是300mm以下晶圓的自動化、高產量的工業(yè)ALD加工設備。包括PICOSUN™ P系列Pro和Advanced ALD設備。該工具可以獨立工作,也可以集成到PICOPLATFORM™300真空集群系統(tǒng)以達到更高的產量和自動化水平。為了節(jié)約昂貴的設施空間,所有PICOSUN™的ALD系統(tǒng)有著緊湊、高效的設計。集成的專業(yè)機柜,裝載著前驅體和電子元件,保證了快速簡便的維護和最短的停機時間。PICOSUN™ P系列工具保證了產能以及成本的情況下得到優(yōu)秀的ALD工藝質量,并履行嚴格的現(xiàn)代半導體產業(yè)的生產力和安全要求。
工藝咨詢和開發(fā),產能提升,維護保養(yǎng)流程和系統(tǒng)及工藝的故障排除,我們客戶化定制的PICOSUPPORT™綜合解決方案24小時快速響應,隨時待命。在購買之前,我們的演示服務保證了設備可以99%滿足客戶的產線需求。