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EVG101_勻膠機(jī)_光刻膠涂膠機(jī)

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2022-08-17
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量100
  • 人氣值435
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EVG101_勻膠機(jī)_光刻膠涂膠機(jī)基本功能:研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)中的單晶圓光刻膠加工,含旋涂和噴涂等工藝
EVG101_勻膠機(jī)_光刻膠涂膠機(jī) 產(chǎn)品詳情

  EVG101_勻膠機(jī)_光刻膠涂膠機(jī)基本功能:研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)中的單晶圓光刻膠加工,含旋涂和噴涂等工藝。

一、 簡介

  EVG101_勻膠機(jī)_光刻膠涂膠機(jī)在單室設(shè)計(jì)上可以滿足研發(fā)工作,與EVG的自動化系統(tǒng)*兼容。EVG101支持zui大300 mm的晶圓,可配置為旋涂或噴涂和顯影。使用EVG*的OmniSpray涂層技術(shù),在3D結(jié)構(gòu)晶圓上實(shí)現(xiàn)光刻膠或聚合物的共形層,用于互連技術(shù)。這確保了高粘度光致光刻膠或聚合物的低材料消耗,同時改善了均勻性并防止了擴(kuò)散。

二、EVG101勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù):

  1)晶圓尺寸:高達(dá)300mm(12寸)

  2)支持模式:旋涂/ OmniSpray®/生長

  3)晶圓支撐模式:單臂/雙EE/邊緣/翻動

  4)分配模式:

  - 各種分配泵,可覆蓋高達(dá)52000cP的各種粘度

  - 恒壓分配系統(tǒng)

  - EBR / BSR /預(yù)濕/碗洗/液體灌注

EVG101_勻膠機(jī)_光刻膠涂膠機(jī)噴涂結(jié)果

圖1 噴涂結(jié)果

三、EVG101勻膠機(jī)特征:

  1)晶圓尺寸可達(dá)300 mm

  2)自動旋涂或噴涂或使用手動晶圓裝載/卸載進(jìn)行顯影

  3)利用從研究到生產(chǎn)的快速簡便的過程轉(zhuǎn)換

  4)成熟的模塊化設(shè)計(jì)和標(biāo)準(zhǔn)化軟件

  5)注射器分配系統(tǒng),用于利用小的光刻膠體積,包括高粘度光刻膠

  6)占地面積小,同時保持高水平的個人和過程安全性

  7)多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權(quán)限,不同的用戶界面語言)

  8)選項(xiàng):

  - 采用OmniSpray®涂層技術(shù)均勻涂覆晶圓的高表面形貌

  - 用于后續(xù)鍵合工藝的蠟和環(huán)氧樹脂涂層

  - 旋涂玻璃(SOG)涂層

EVG101_勻膠機(jī)_光刻膠涂膠機(jī)噴涂結(jié)構(gòu)

圖2 噴涂形成的金屬結(jié)構(gòu)


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