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  • IQ Aligner 自動(dòng)掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

IQ Aligner 自動(dòng)掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2022-08-17
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量100
  • 人氣值435
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??岱美有限公司成立于1989年,是數(shù)據(jù)存儲(chǔ),半導(dǎo)體,光學(xué),光伏和航空航天行業(yè)制造商和創(chuàng)新研發(fā)機(jī)構(gòu)的*設(shè)備分銷(xiāo)商。??在21世紀(jì)初期,岱美已從我們?cè)谥袊?guó)香港的總部擴(kuò)展到亞洲,以滿(mǎn)足客戶(hù)的多樣化需求。在當(dāng)今化的市場(chǎng)中,我們的客戶(hù)包括連接?xùn)|南亞各國(guó)的綜合供應(yīng)鏈,我們的專(zhuān)業(yè)人員隨時(shí)準(zhǔn)備與他們會(huì)面。??我們的總部設(shè)在中國(guó)香港,在中國(guó)大陸地區(qū)(北京和上海,以及廣東東莞)擁有強(qiáng)大的業(yè)務(wù)。我們還在馬來(lái)西亞,新加坡,中國(guó)臺(tái)灣地區(qū),菲律賓和泰國(guó)等東南亞國(guó) 家和地區(qū)設(shè)有分支機(jī)構(gòu)。岱美擁有訓(xùn)練有素的工程師,能夠?yàn)楦鞯貐^(qū)用戶(hù)提供快捷、可靠的技術(shù)支持和維修服務(wù);為確保他們的專(zhuān)業(yè)知識(shí)得以更新及并適應(yīng)新的要求,岱美定期委派工程師前往海外接受專(zhuān)項(xiàng)技術(shù)訓(xùn)練,務(wù)求為顧客提供更高質(zhì)素的售后服務(wù)及技術(shù)支持。我們的分支機(jī)構(gòu)都已建立數(shù)十年,我們的許多客戶(hù)對(duì)我們與他們建立的長(zhǎng)達(dá)數(shù)十年的合作關(guān)系感到滿(mǎn)意。??我們的目標(biāo)是建立持久的關(guān)系,滿(mǎn)足東南亞企業(yè)快速增長(zhǎng)的需求。對(duì)于我們的客戶(hù),我們不僅提供設(shè)備,還提供建議和技術(shù)指導(dǎo),以及時(shí)了解我們不斷發(fā)展的行業(yè)的發(fā)展。對(duì)于我們的供應(yīng)商,我們提供了深入的銷(xiāo)售網(wǎng)絡(luò)和數(shù)十年的東南亞復(fù)雜商業(yè)環(huán)境導(dǎo)航經(jīng)驗(yàn)。我們將本地客戶(hù)與來(lái)自歐洲,美國(guó),日本和韓國(guó)的*設(shè)備與技術(shù)連接起來(lái)。岱美合作客戶(hù)??岱美在中國(guó)大陸地區(qū)主要銷(xiāo)售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:??晶圓鍵合機(jī)、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)、硅片清洗機(jī)、超薄晶圓處理設(shè)備、光學(xué)三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測(cè)、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、薄膜厚度檢測(cè)儀、主動(dòng)及被動(dòng)式防震臺(tái)系統(tǒng)、應(yīng)力檢測(cè)儀、電容式位移傳感器等。??如有需要,請(qǐng)聯(lián)系我們,了解我們?nèi)绾伍_(kāi)始與您之間的合作,實(shí)現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機(jī)構(gòu)長(zhǎng)期發(fā)展的目標(biāo)。注:在大陸地區(qū)注冊(cè)的公司名稱(chēng)為:岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司,并有東莞分公司和北京辦事處。
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主要用途:用于自動(dòng)非接觸近距離掩模對(duì)準(zhǔn)光刻,進(jìn)行了處理和優(yōu)化,用于晶圓片的尺寸高達(dá)200毫米
IQ Aligner 自動(dòng)掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

主要用途:用于自動(dòng)非接觸近距離掩模對(duì)準(zhǔn)光刻,進(jìn)行了處理和優(yōu)化,用于晶圓片的尺寸高達(dá)200毫米。

1. IQ Aligner 簡(jiǎn)介

IQ Aligner 自動(dòng)掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)是具有高度自動(dòng)化程度的非接觸式接近光刻平臺(tái),可滿(mǎn)足將生產(chǎn)線中的掩模污染降至蕞低并提高掩模壽命和產(chǎn)品良率的需求。除了多種對(duì)準(zhǔn)功能外,該系統(tǒng)還通過(guò)專(zhuān)門(mén)配置進(jìn)行了大量的的安裝和現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證,可自動(dòng)支撐和處理翹曲或變薄的晶圓。標(biāo)準(zhǔn)的頂面或底面對(duì)準(zhǔn)與集成的IR對(duì)準(zhǔn)功能之間的混合匹配操作進(jìn)一步拓寬了應(yīng)用領(lǐng)域,尤其是在與工程或粘合(鍵合)基板對(duì)準(zhǔn)時(shí)。該系統(tǒng)還通過(guò)快 速響應(yīng)的溫度控 制工具集支持晶圓片對(duì)準(zhǔn)跳動(dòng)控 制。

2. IQ Aligner 性能特征

  • 晶圓/基板尺寸從碎片到200 mm / 8''寸
  • 用于外部晶圓楔形測(cè)量,實(shí)現(xiàn)了非接觸式接近模式
  • 增強(qiáng)的振動(dòng)隔離
  • 各種對(duì)準(zhǔn)功能,提高了過(guò)程靈活性
  • 跳動(dòng)控 制對(duì)準(zhǔn)功能
  • 多種晶圓尺寸的易碎,薄或翹曲的晶圓處理
  • 高地貌粗糙晶圓加工經(jīng)驗(yàn)
  • 手動(dòng)基板裝載能力
  • 遠(yuǎn)程技術(shù)支持和SECS / GEM兼容性
  • 附加功能:
  • 紅外對(duì)準(zhǔn)–透射和/或反射


IQ Aligner 掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

3. 技術(shù)數(shù)據(jù)

1)楔形補(bǔ)償:全自動(dòng)-軟件控 制;非接觸式

2)*的對(duì)準(zhǔn)功能:自動(dòng)對(duì)準(zhǔn);大間隙對(duì)準(zhǔn);跳動(dòng)控 制對(duì)準(zhǔn);動(dòng)態(tài)對(duì)準(zhǔn)

3)工業(yè)自動(dòng)化功能:盒式磁帶/ SMIF /FOUP / SECS / GEM /薄,彎曲,翹曲,邊緣晶圓處理

4)晶圓直徑(基板尺寸):高達(dá)200毫米

5)對(duì)準(zhǔn)方式:

  • 上側(cè)對(duì)準(zhǔn):≤±0.5 µm
  • 底側(cè)對(duì)準(zhǔn):≤±1,0 µm
  • 紅外校準(zhǔn):≤±2,0 µm /具體取決于基材

6)曝光設(shè)定:真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式

7)曝光選項(xiàng):間隔曝光/整片曝光

8)系統(tǒng)控 制:

  • 操作系統(tǒng):Windows
  • 文件共享和備份解決方案/無(wú)限制的配方和參數(shù)
  • 多語(yǔ)言用戶(hù)GUI和支持:CN,DE,F(xiàn)R,IT,JP,KR
  • 實(shí)時(shí)遠(yuǎn)程訪問(wèn),診斷和故障排除

9)產(chǎn)能:

  • 全自動(dòng):批印刷量:每小時(shí)85片
  • *自動(dòng)化:吞吐量對(duì)準(zhǔn):每小時(shí)80個(gè)晶圓
關(guān)鍵詞:標(biāo)準(zhǔn)
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