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NIE-3000離子束清洗系統(tǒng)

參考價訂貨量

1000000

≥1臺

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌其他品牌
  • 所在地國外
  • 更新時間2023-03-22
  • 廠商性質生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限3
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量40
  • 人氣值668
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那諾-馬斯特中國有限公司成立于2015年4月,是服務大中華區(qū)(包含中國大陸,香港,中國臺灣和澳門)的客戶,同時我們在中國大陸設有專門的服務辦公室,提供銷售和售后技術服務。


那諾-馬斯特中國的主要產(chǎn)品包括薄膜沉積設備、薄膜生長設備、干法刻蝕設備、兆聲濕法清洗設備及太空模擬測試設備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國,該公司是法國那諾-馬斯*限公司于1992年在美國所創(chuàng)立的全資子公司,是一家國際前列的缺陷檢測和高速鍍層測量的計量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國并正式更名。


自2001年Nano-Master開始設計開發(fā)薄膜應用方面的設備,正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應用領域涵蓋了半導體、MEMS、光電子學、納米技術和光伏等。我們的設備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應濺、共濺 、組合濺),熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā),離子束刻蝕和反應離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時間內Nano-Master已經(jīng)發(fā)展成為國際薄膜設備的供應商,已售出的幾百套設備分布于20多個不同國家的大學、研發(fā)中心和國家重點實驗室。

我們聘用技術熟練并具有良好教育背景的設計和制造工程師、應用工程師、服務工程師、技術支持人員,使得公司擁有專業(yè)的服務團隊。作為薄膜工藝的設備提供商,我們的目標是提供高品質的服務并始終維持超高水平的集成度。






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產(chǎn)地進口 加工定制
NIE-3000離子束清洗系統(tǒng):是一款手動放片/取片,但工藝過程為全自動計算機控制的臺式離子束刻蝕系統(tǒng),可以用于表面清洗、表面處理、離子銑等。
NIE-3000離子束清洗系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

NIE-3000離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品概述:該系統(tǒng)為手動放片取片,但通過計算機全自動實現(xiàn)工藝控制的臺式離子束刻蝕系統(tǒng),系統(tǒng)具有結構緊湊、功能強大、自動化程度高、模塊化設計易于維護、低成本的優(yōu)勢。


NIE-3000離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品特點:

  • 低成本

  • 離子束:高達2KV/10mA

  • 離子電流密度100-360uA/cm2

  • 離子束直徑:4",5",6"

  • 兼容反應及非反應氣體(Ar, O2, CF4,Cl2)

  • 極限真空5x10-7Torr

  • 260l/s渦輪分子泵,串接500 l/min干泵

  • 14"不銹鋼或鋁質腔體

  • 水冷旋轉/傾斜樣品臺(NIE-3500)

  • 自動上下載片(NIE-3500)

  • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制

  • 占地面積30"x30"


產(chǎn)品應用:

  • 表面處理

  • 離子銑

  • 表面清洗

  • 帶活性氣體的離子束刻蝕:  光柵刻蝕,以及SiO2,Si和金屬的深槽刻蝕




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