NIE-3500(A)全自動離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品概述:該系統(tǒng)為全自動上下載片,并且通過計算機全自動實現(xiàn)工藝控制的緊湊型獨立的立柜式離子束刻蝕系統(tǒng),系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)緊湊、功能強大、自動化程度高、模塊化設(shè)計易于維護、低成本的優(yōu)勢。該系統(tǒng)所配套的所有核心組件均為。
NIE-3500(A)全自動離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品特點:
低成本
帶預(yù)真空鎖,自動上下載片
離子束:高達2KV/10mA
離子電流密度100-360uA/cm2
離子束直徑:4",5",6"
兼容反應(yīng)及非反應(yīng)氣體(Ar, O2, CF4,Cl2)
極限真空5x10-7Torr
260l/s渦輪分子泵,串接500 l/min干泵
14"不銹鋼或鋁質(zhì)腔體
水冷旋轉(zhuǎn)/傾斜樣品臺(NIE-3500)
自動上下載片(NIE-3500)
基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
占地面積30"x30"
產(chǎn)品應(yīng)用:
表面處理
離子銑
表面清洗
帶活性氣體的離子束刻蝕: 光柵刻蝕,以及SiO2,Si和金屬的深槽刻蝕