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特征尺寸測量用掃描電鏡CD-SEM S-8840

參考價
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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-05-26
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量441
  • 人氣值8009
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公司主營實驗室分析檢測儀器設(shè)備,以實驗室整體建設(shè)為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領(lǐng)域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設(shè)計院,美國安捷倫、美國熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個***重點實驗室從實驗室布局設(shè)計出圖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開發(fā)建立、后期運營管理,形成完整的專業(yè)實驗室建設(shè)體系,達到一站式服務(wù),為眾多行業(yè)客戶提供更為完善的整體解決方案。
公司主營產(chǎn)品分為四大類,光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測。
能量色散X熒光光譜儀(EDX)、波長色散X熒光光譜儀(WDX)、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES)、原子吸收分光光度計(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀(Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(GC-MS)、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(LC-MS)、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)、水質(zhì)在線分析儀(WAOL);
 

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特征尺寸測量用掃描電子顯微鏡CD-SEMS-8840,適用于6英寸和8英寸晶圓的線寬測試
特征尺寸測量用掃描電鏡CD-SEM S-8840 產(chǎn)品詳情

特征尺寸測量用掃描電子顯微鏡CD-SEM S-8840,適用于6英寸和8英寸晶圓的線寬測試。


設(shè)備配置

晶片尺寸:6、8 英寸(直徑:150mm 200mm
晶片厚度:0.4mm~1mm 兼容
硅片單元尺寸:0.2~2inch
卡匣:25 /批次
電子槍 Electron Gun
真空腔室 Vacuum Chember
真空泵 Vacuum Pump
透鏡系統(tǒng) Lens System
X-Y 工作臺(X-Y Workplate)
承片臺 8 (Pick-up platform 8 inches )
硅片傳輸系統(tǒng) 8 ( wafer transmission system 8 inches)
硅片自動對準系統(tǒng) wafer Auto alignment system
操作界面, 主控過程人機操作界面 ( Operating Interface, Man-machine Operating Interface of Main Control Process )
計算機系統(tǒng),整機主控計算機和系統(tǒng)控制應(yīng)用程序(Computer System, Main Control Computer and System Control Application Program )

監(jiān)視器, 圖形和控制界面顯示( Monitor, Graphics and Control Interface Display)

設(shè)備性能

圖像分辨率:5nm2
CD 量測范圍:0.1 ~ 10um
CD 重復(fù)性: 3σ≤5 nm or ≤±1 %
倍率: x 1000 ~ 150000 (SEM 圖像)x 110 (光學(xué)顯微鏡圖像)
焦深:≥1.0mm at 80000xmagnification

高縱橫比接觸孔圖像≥12

CD-SEM S-8840

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產(chǎn)品名稱參考價地區(qū)公司名稱更新時間 
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