CS4800 提供高質(zhì)量的 SEM 成像、改進的測量精度以及快速、自動化的操作，旨在提高現(xiàn)有生產(chǎn)線的生產(chǎn)力和運營效率，并提高客戶的過程控制能力。此外，CS4800 可以配置為處理兩種不同的晶圓尺寸，客戶可以將其切換到新的晶圓傳輸系統(tǒng)。日立分析儀器計劃擴大對碳化硅 (SiC) 和氮化鎵 (GaN) 等各種晶圓材料的支持，以滿足客戶對新型半導(dǎo)體或電子設(shè)備的多樣化需求。
隨著 CS4800 的開發(fā)，日立分析儀器將為廣泛的 4、6 和 8 英寸晶圓廠提供可持續(xù)的 CD 測量解決方案，并將支持物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用、可穿戴設(shè)備和下一代的新興技術(shù)設(shè)備功率器件。
主要特點：
- 工具占用空間和 GUI *4旨在輕松更換現(xiàn)有工具。
- 提供經(jīng)過驗證的高精度測量和的計量應(yīng)用。
- 自動光軸對準(zhǔn)將減少操作員錯誤。
- 具有強大模式匹配的高吞吐量、自動化配方測量操作。
- 提供多種晶圓尺寸選項。
主要參數(shù)：
| 測量精度 | 1 nm (3σ)（使用日立標(biāo)準(zhǔn)晶圓） |
|---|---|
| 晶圓尺寸 | 直徑 100、150 和 200 毫米 |
| 自動裝載機 | 2個端口 |
| 設(shè)備尺寸（主體）以毫米為單位 | 1180(W) × 2500(D) × 1990(H)mm |
