CS4800 提供高質(zhì)量的 SEM 成像、改進(jìn)的測(cè)量精度以及快速、自動(dòng)化的操作，旨在提高現(xiàn)有生產(chǎn)線的生產(chǎn)力和運(yùn)營(yíng)效率，并提高客戶的過(guò)程控制能力。此外，CS4800 可以配置為處理兩種不同的晶圓尺寸，客戶可以將其切換到新的晶圓傳輸系統(tǒng)。日立分析儀器計(jì)劃擴(kuò)大對(duì)碳化硅 (SiC) 和氮化鎵 (GaN) 等各種晶圓材料的支持，以滿足客戶對(duì)新型半導(dǎo)體或電子設(shè)備的多樣化需求。
隨著 CS4800 的開(kāi)發(fā)，日立分析儀器將為廣泛的 4、6 和 8 英寸晶圓廠提供可持續(xù)的 CD 測(cè)量解決方案，并將支持物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用、可穿戴設(shè)備和下一代的新興技術(shù)設(shè)備功率器件。
主要特點(diǎn)：
- 工具占用空間和 GUI *4旨在輕松更換現(xiàn)有工具。
- 提供經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的高精度測(cè)量和的計(jì)量應(yīng)用。
- 自動(dòng)光軸對(duì)準(zhǔn)將減少操作員錯(cuò)誤。
- 具有強(qiáng)大模式匹配的高吞吐量、自動(dòng)化配方測(cè)量操作。
- 提供多種晶圓尺寸選項(xiàng)。
主要參數(shù)：
| 測(cè)量精度 | 1 nm (3σ)（使用日立標(biāo)準(zhǔn)晶圓） |
|---|---|
| 晶圓尺寸 | 直徑 100、150 和 200 毫米 |
| 自動(dòng)裝載機(jī) | 2個(gè)端口 |
| 設(shè)備尺寸（主體）以毫米為單位 | 1180(W) × 2500(D) × 1990(H)mm |
