SEMVision G2 的檢測組裝和處理使微小和淺缺陷的高質(zhì)量地形圖像成為可能。高動(dòng)態(tài)范圍檢測、背散射電子收集和能量過濾可實(shí)現(xiàn)高縱橫比成像。
基本信息:
型號(hào):AMAT SEMVision G2 +
描述:缺陷審查系統(tǒng)
晶圓尺寸:300mm
序列號(hào):多個(gè)系統(tǒng)可用
保修:按原樣或按客戶規(guī)格翻新
參數(shù)規(guī)格:
1 KeV 時(shí)的分辨率:3 nm
焦點(diǎn)圖/焦點(diǎn)偏移:90% 的缺陷,Delta Z < 3 μms
自動(dòng)缺陷偏移/XY 圖:95% 的缺陷 Delta X < 1.5 μm 和 Delta Y < 1.5 μm
EDX 分辨率:4nm
晶圓產(chǎn)量:12 晶圓 / 小時(shí)
缺陷吞吐量:>1000 個(gè)缺陷/小時(shí)
正面清潔度:0.013 PWP / cm2 > 0.2 μm 處的尺寸
基本配置:
帶 ULPA 過濾器的 FFU
掃描電鏡柱 G2
EDX 柱
45 度立柱傾斜
包括晶圓旋轉(zhuǎn)選項(xiàng)
載物臺(tái)晶圓支架 3 PIN
對(duì)準(zhǔn)器光學(xué)顯微鏡 X5、X20、X100
晶圓處理:
裝載機(jī):帶 RFID 的 AMAT ADO
晶圓尺寸:300mm
ETU 300mm
國際電聯(lián) 300 毫米
軟件信息:
軟件版本(WS、IP/ODC SW、MEC、WHC):v5.1.500 WorkStation SGI FULE
軟件版本(EDX):VTG_5.0.107
系統(tǒng)性能:
Pal (On the OTW, cassette / Slot 1: Delta X= 500 μm; Delta Y= 500 μm
ITU Repeatability: Delta X and Delta Y < 20 μm
Stage accuracy: Delta X and Delta Y < 1.5 μm
MTR: Delta X= 50; Delta Y= 30 μm
其他設(shè)施信息:
額定負(fù)載電流:8 A
滿載電流:10A
中斷電流:10,000 安培 IC
電源電壓:1-120 VAC,1-Ph,3 線 208 V,3-Ph,5 線,50/60 Hz