AMAT 半導(dǎo)體檢測設(shè)備 SEMVision G2-儀表網(wǎng)

公司介紹主營產(chǎn)品

公司主營實(shí)驗(yàn)室分析檢測儀器設(shè)備，以實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機(jī)械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領(lǐng)域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設(shè)計(jì)院，美國安捷倫、美國熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個***重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室從實(shí)驗(yàn)室布局設(shè)計(jì)出圖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開發(fā)建立、后期運(yùn)營管理，形成完整的專業(yè)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)體系，達(dá)到一站式服務(wù)，為眾多行業(yè)客戶提供更為完善的整體解決方案。
公司主營產(chǎn)品分為四大類，光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測。
能量色散X熒光光譜儀（EDX）、波長色散X熒光光譜儀（WDX）、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES）、原子吸收分光光度計(jì)(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀（Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS)、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（LC-MS)、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）、水質(zhì)在線分析儀（WAOL）；

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產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

SEMVisionG2的檢測組裝和處理使微小和淺缺陷的高質(zhì)量地形圖像成為可能

AMAT 半導(dǎo)體檢測設(shè)備 SEMVision G2 產(chǎn)品詳情

SEMVision G2 的檢測組裝和處理使微小和淺缺陷的高質(zhì)量地形圖像成為可能。高動態(tài)范圍檢測、背散射電子收集和能量過濾可實(shí)現(xiàn)高縱橫比成像。

AMAT 半導(dǎo)體檢測設(shè)備 SEMVision G2

基本信息：

型號：AMAT SEMVision G2 +

描述：缺陷審查系統(tǒng)

晶圓尺寸：300mm

序列號：多個系統(tǒng)可用

保修：按原樣或按客戶規(guī)格翻新

參數(shù)規(guī)格：

1 KeV 時的分辨率：3 nm

焦點(diǎn)圖/焦點(diǎn)偏移：90% 的缺陷，Delta Z < 3 μms

自動缺陷偏移/XY 圖：95% 的缺陷 Delta X < 1.5 μm 和 Delta Y < 1.5 μm

EDX 分辨率：4nm

晶圓產(chǎn)量：12 晶圓 / 小時

缺陷吞吐量：>1000 個缺陷/小時

正面清潔度：0.013 PWP / cm2 > 0.2 μm 處的尺寸

基本配置：

帶 ULPA 過濾器的 FFU

掃描電鏡柱 G2

EDX 柱

45 度立柱傾斜

包括晶圓旋轉(zhuǎn)選項(xiàng)

載物臺晶圓支架 3 PIN

對準(zhǔn)器光學(xué)顯微鏡 X5、X20、X100

晶圓處理：

裝載機(jī)：帶 RFID 的 AMAT ADO

晶圓尺寸：300mm

ETU 300mm

國際電聯(lián) 300 毫米

軟件信息：

軟件版本（WS、IP/ODC SW、MEC、WHC）：v5.1.500 WorkStation SGI FULE

軟件版本（EDX）：VTG_5.0.107

系統(tǒng)性能：

Pal (On the OTW, cassette / Slot 1: Delta X= 500 μm; Delta Y= 500 μm

ITU Repeatability: Delta X and Delta Y < 20 μm

Stage accuracy: Delta X and Delta Y < 1.5 μm

MTR: Delta X= 50; Delta Y= 30 μm

其他設(shè)施信息：

額定負(fù)載電流：8 A

滿載電流：10A

中斷電流：10,000 安培 IC

電源電壓：1-120 VAC，1-Ph，3 線 208 V，3-Ph，5 線，50/60 Hz

關(guān)鍵詞：過濾器光學(xué)顯微鏡 RFID

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時間
艾德克斯ITECH 微功耗量測以及材料研究精密源表 IT2805 200V1.5A20W	面議	深圳市	深圳市賽儀歐電子有限公司	2025-03-04	在線詢價(jià)
自動測量圖像尺寸設(shè)備	￥560000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2024-08-11	在線詢價(jià)
羅卓尼克USB接口水活性快速測量探頭	面議	無錫市	無錫徽科特測控技術(shù)有限公司	2024-07-09	在線詢價(jià)
激光功率測量系統(tǒng) LPMS	面議		上海倍藍(lán)光電科技有限公司	2024-04-23	在線詢價(jià)
水分活度測量儀廠商	面議	常州市	常州金壇泰納儀器廠	2024-08-29	在線詢價(jià)
防爆油箱油位測量裝置	面議	無錫市	無錫市興洲儀器儀表有限公司	2025-02-11	在線詢價(jià)

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