KLA無圖案晶圓缺陷檢測系統(tǒng)Surfscan SP2-儀表網(wǎng)

公司介紹主營產(chǎn)品

公司主營實(shí)驗(yàn)室分析檢測儀器設(shè)備，以實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機(jī)械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領(lǐng)域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設(shè)計(jì)院，美國安捷倫、美國熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個***重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室從實(shí)驗(yàn)室布局設(shè)計(jì)出圖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開發(fā)建立、后期運(yùn)營管理，形成完整的專業(yè)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)體系，達(dá)到一站式服務(wù)，為眾多行業(yè)客戶提供更為完善的整體解決方案。
公司主營產(chǎn)品分為四大類，光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測。
能量色散X熒光光譜儀（EDX）、波長色散X熒光光譜儀（WDX）、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES）、原子吸收分光光度計(jì)(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀（Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS)、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（LC-MS)、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）、水質(zhì)在線分析儀（WAOL）；

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產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

Surfscan®SP2和SP2XP系統(tǒng)是KLA革命性的SurfscanSP1平臺的第二代產(chǎn)品，用于無圖案晶圓檢測

KLA無圖案晶圓缺陷檢測系統(tǒng)Surfscan SP2 產(chǎn)品詳情

Surfscan® SP2和SP2XP系統(tǒng)是KLA革命性的Surfscan SP1平臺的第二代產(chǎn)品，用于無圖案晶圓檢測。Surfscan SP2采用了開創(chuàng)性的紫外線（UV）激光技術(shù)、新的暗場光學(xué)技術(shù)和*的算法，能夠發(fā)現(xiàn)小至37nm的缺陷，在相同的靈敏度下，其產(chǎn)量比上一代系統(tǒng)快2倍。SP2專為射頻、汽車、SiC、GaN、LED等新興技術(shù)和高達(dá)≥4xnm設(shè)計(jì)規(guī)則的成熟工藝節(jié)點(diǎn)而設(shè)計(jì)，在整個半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)中，為襯底、IC、設(shè)備和材料制造商提供其所需的工藝和設(shè)備的認(rèn)證與監(jiān)測。

KLA無圖案晶圓缺陷檢測系統(tǒng)Surfscan SP2

Surfscan系列無圖案檢測儀旨在實(shí)時(shí)捕獲裸晶圓、光滑和粗糙薄膜和堆疊、光阻和光刻堆疊上的關(guān)鍵缺陷，并對其進(jìn)行分類。通過及早發(fā)現(xiàn)和識別這些關(guān)鍵缺陷及表面質(zhì)量問題，Surfscan系統(tǒng)能夠更快地識別工藝和設(shè)備問題，從而加速量產(chǎn)投產(chǎn)、提高良率并增進(jìn)盈利。SP2 Pro系列設(shè)備既能滿足研發(fā)探索應(yīng)用，也同樣適用于在一個完整的制造環(huán)境中為關(guān)鍵設(shè)備監(jiān)測提供檢測點(diǎn)，所有這些都可以由這一個系統(tǒng)完成。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

? 直入射和斜入射光學(xué)照明模式為捕獲各種不同的缺陷和表征晶圓質(zhì)量提供了一系列不同的方法

? 多種光束尺寸/產(chǎn)量/靈敏度模式可針對每個應(yīng)用進(jìn)行優(yōu)化并提供其所需的性能

? 對硅襯底設(shè)備進(jìn)行認(rèn)證和工藝監(jiān)控，可為200mm/300mm晶圓格式提供>37nm的靈敏度

? 高靈敏度模式擴(kuò)展了研發(fā)應(yīng)用的能力

? SURFimage™數(shù)據(jù)通道能夠識別如完整晶圓圖像中的表面微粗糙度局部變化之類的空間擴(kuò)展的表面異常

? 重新啟動產(chǎn)品制造以提高可維護(hù)性和供應(yīng)的可預(yù)測性

? 采用標(biāo)準(zhǔn)晶圓傳送系統(tǒng)并可實(shí)現(xiàn)靈活配置

關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn)

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
艾德克斯ITECH 微功耗量測以及材料研究精密源表 IT2805 200V1.5A20W	面議	深圳市	深圳市賽儀歐電子有限公司	2025-03-04	在線詢價(jià)
自動測量圖像尺寸設(shè)備	￥560000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2024-08-11	在線詢價(jià)
羅卓尼克USB接口水活性快速測量探頭	面議	無錫市	無錫徽科特測控技術(shù)有限公司	2024-07-09	在線詢價(jià)
激光功率測量系統(tǒng) LPMS	面議		上海倍藍(lán)光電科技有限公司	2024-04-23	在線詢價(jià)
水分活度測量儀廠商	面議	常州市	常州金壇泰納儀器廠	2024-08-29	在線詢價(jià)
防爆油箱油位測量裝置	面議	無錫市	無錫市興洲儀器儀表有限公司	2025-02-11	在線詢價(jià)

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