彩色共焦顯微鏡(STIL)檢測(cè)原理圖
STIL光譜共焦視覺檢測(cè)系統(tǒng)有著雙重作用：
-在所需的放大倍數(shù)下提供樣品表面的高質(zhì)量圖像
-對(duì)圖像進(jìn)行處理，同時(shí)檢測(cè)和分析一些預(yù)定義的特征或紋理
光譜共聚焦檢測(cè)系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)
此技術(shù)結(jié)合線陣相機(jī)，形成了MC2視覺檢測(cè)系統(tǒng)，解決了傳統(tǒng)機(jī)器視覺在表面瑕疵檢測(cè)的難點(diǎn)，具有明顯優(yōu)勢(shì)：
-無需外接光源照明，光譜共焦傳感器的光源即為檢測(cè)所需的同軸光源；
-環(huán)境光線的變化不影響成像效果，適應(yīng)性強(qiáng);
-適應(yīng)所有的物體表面，無論是漫反射表面，鏡面(高光面)或者透明物體表面；
-高達(dá)80KHZ的掃描速度，并可實(shí)現(xiàn)非常低的像素尺寸(最小像素可大0.2*0.2pm2);
-可至2.6mm的高景深，在景深范圍內(nèi)的任何一個(gè)位置都是聚焦，成像更為清晰，無需進(jìn)行Z軸對(duì)焦；
光譜共聚焦相機(jī)外形尺寸
STIL光譜共焦相機(jī)（視覺檢測(cè)系統(tǒng)）技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | unit | MC2 NanoView | MC2 WireView | MC2 Microview | MC2 DeepView | MC2 SuperView | ||||
| 線長 | mm | 1.3 | 1.51 | 1.79 | 4.05 | 12.5 | ||||
| 景深 | μm | 100 | 500 | 500 | 2600 | 2000 | ||||
| 工作距離 | mm | 4.6 | 7.8 | 10.1 | 47.8 | 11.3 | ||||
| 放大率 | 17.3 | 15.6 | 12.9 | 5.6 | 1.8 | |||||
| 數(shù)值孔徑 | 0.7 | 0.75 | 0.5 | 0.35 | 0.32 | |||||
| 樣品斜率 | ° | 40 | 46 | 30 | 20 | 19 | ||||
| 樣品像素大小 | μm | 0.44 | 0.48 | 0.58 | 1.3 | 4.1 | ||||
| 光學(xué)頭:長度 | mm | 424 | 468.1 | 412.8 | 433.1 | 378 | ||||
| 光學(xué)頭:直徑 | mm | 50 | 70 | 50 | 75 | 60 | ||||
| 光學(xué)頭:重量 | g | 5200 | 5800 | 5200 | 7000 | 5600 | ||||
注：以上參數(shù)如有變化，恕不另行通知。
STIL光譜共焦相機(jī)應(yīng)用案例
復(fù)合材料比較
復(fù)合材料比較
字符缺陷的檢測(cè)
玻璃瓶上的生產(chǎn)缺陷
晶圓邊緣的生產(chǎn)缺陷
印刷線路板的生產(chǎn)缺陷
微構(gòu)件的拋光缺陷
零件拋光缺陷檢測(cè)
