控制器技術(shù)規(guī)格
| 測量頻率 | 2000HZ |
| 波長范圍 | 400-900nm |
| 光譜分辨率 | 0.63nm/pixel |
| 光源 | |
| 信號輸出 | 網(wǎng)口/RS232 |
| 外部觸發(fā)I/O | 1input(TTL)/1 output(TTL) |
| 光纖線 | E2000(標準或鎧甲） |
| 相對濕度 | 5%-80% HR無冷凝 |
| 工作溫度 | 5-50℃ |
| 外觀尺寸 | 376mm*363mm*114mm |
| 重量 | 6KG |
| 測量模式： 距離/厚度 | 1、光譜共焦測量 2、光譜干涉測量 |
測量頭技術(shù)參數(shù)
| 型號 | CL0 | CL1 | CL2 | CL3 | CL4 | CL5 | CL6 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 量程（μm） | 100 | 150 | 400 | 1400 | 4000 | 12000 | 24000 | ||||||||
| 工作距離（mm） | 2.69 | 3.35 | 10.8 | 12.0 | 16.2 | 25.9 | 21.5 | ||||||||
| 可測傾角（°） | 42 | 42.5 | 28 | 25 | 21 | 14 | 8.5 | ||||||||
| 放大器型號 | MG210 | MG140 | MG210 | MG140 | MG210 | MG140 | MG70 | MG140 | MG70 | MG35 | MG20 | MG35 | MG20 | MG35 | MG20 |
| 光斑尺寸（μm） | 1.8 | 2.2 | 1.9 | 2.8 | 2.3 | 3.4 | 6.9 | 4 | 8 | 8 | 14 | 14 | 24.5 | 16 | 28 |
| 橫向分辨率（μm） | 0.9 | 1.1 | 0.8 | 1.4 | 1.2 | 1.7 | 3.5 | 3.5 | 4 | 4 | 7.0 | 7.0 | 12.3 | 13 | 14 |
| 光量收集率 | 0.5 | 1.7 | 3.3 | 10 | 2.8 | 7.9 | 41 | 10 | 57 | 25 | 91 | 33 | 100 | 9.8 | 43 |
| 位移測量 | |||||||||||||||
| 不平均（nm） | 5.0 | 6.0 | 7.0 | 8.0 | 17 | 20 | 25 | 50 | 60 | 110 | 135 | 370 | 425 | 700 | 800 |
| 10次平均（nm） | 1.7 | 2.0 | 2.3 | 2.7 | 5.7 | 6.7 | 8.3 | 17 | 20 | 37 | 45 | 123 | 142 | 233 | 277 |
| 精度（nm） | 16 | 14 | 25 | 20 | 55 | 45 | 40 | 120 | 100 | 250 | 200 | 750 | 550 | 1600 | 1200 |
| 最小可測粗糙度Ra(nm) |
12 |
30 |
90 |
170 |
600 |
1100 | |||||||||
| 厚度 | |||||||||||||||
| 最小可測厚度（μm） | 5 | 5 | 7.5 | 9 | 14 | 14 | 22 | 38 | 40 | 110 | 120 | 350 | 550 | 590 | 725 |
| 可測厚度（μm） | 100 | 100 | 175 | 175 | 510 | 510 | 510 | 2000 | 2000 | 5700 | 5700 | 16500 | 16500 | 34000 | 34000 |
| 長度（mm） | 263.6 | 229 | 253.1 | 217.1 | 243.3 | 208.9 | 176.1 | 205.9 | 176.1 | 145.5 | 131.7 | 145.5 | 131.7 | 167.6 | 151.8 |
| 直徑（mm） | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 | 27 |
| 重量（g） | 227 | 192 | 268 | 195 | 248 | 190 | 189 | 215 | 214 | 155 | 140 | 175 | 160 | 195 | 180 |
(1)表中給出的數(shù)值是典型值，CL0，CL2，CL3，CL4有±3%的偏差；CL1，CL5，CL6有±6%的偏差,；
(2)可測傾角是指針對鏡面反射表面時的極限角度值。漫反射表面的可測傾角可達87。：
(3)在量程中間位置時的光斑尺寸，靠量程近端光斑更小，靠量程遠端光斑更大，從中心分別到近端遠端差異10%左右；
(4)光度收集率是指由不同的測頭測量同一樣品收集的能量，是相對單位量，此表中的數(shù)值為典型值。測量高度反射的樣品時，選擇低光度收集率的型號，為了避免飽和，測量擴散或低反射的樣品時，選擇具有高光度收集率型號，以避免一個非常低的信號與噪聲比例；
(5)軸向分辨率RMS是對靜止樣品測得的噪聲電平。在量程的中心，以的速率進行測量，內(nèi)部的平均分別設(shè)定為1-10。此參數(shù)為校準后立即測量，并對應(yīng)交付每個傳感器的校準證書；
(6)精度是由1nm精度的編碼器做比較校準，由所述傳感器測量距離時，在整個測量范圍內(nèi)的誤差。使用以下設(shè)置：自動適應(yīng)LED模式，的速度，傾角為0。，內(nèi)部平均=測量值/10。此參數(shù)為校準后立即測量，并每個傳感器的校準證書交付；
(7)最小可測量的Ra的精度取決于樣品的恃性，表中所給的值是典型的；
(8)在的速度下，測量范圍的中心，測量的典型值，不加平均。折射率=1.5個樣本（測量空氣間隙應(yīng)除以1 5的厚度時）；
注：以上參數(shù)如有變化，恕不另行通知。
光纖線規(guī)格（可選配以下）
| 型號 | 長度 | 內(nèi)徑 | 外徑 | 外殼 | 連接器類型 |
| E50-3 | 3m | 50/125μm | 3mm | 標準 | E2000 |
| E50-5 | 5m | 50/125μm | 3mm | 標準 | E2000 |
| E50-10 | 10m | 50/125μm | 3mm | 標準 | E2000 |
| E50-3-M | 3m | 50/125μm | 3mm | 金屬外殼 | E2000 |
| E50-5-M | 5m | 50/125μm | 3mm | 金屬外殼 | E2000 |
| E50-10M | 10m | 50/125μm | 3mm | 金屬外殼 | E2000 |
| E50-20-M | 20m | 50/125μm | 3mm | 金屬外殼 | E2000 |
標準型光纖線 鎧甲護套型光纖線
多層測量軟件
STIL-DUO傳感器采用多層測量軟件，可以直接測量多層透明物體厚度（可達10層）
測量3層樣品厚度
測量5層樣品厚度
