Neocera Pioneer 系列 PLD 系統(tǒng)— 基于經(jīng)驗(yàn)的創(chuàng)新設(shè)計(jì)
Neocera 利用PLD 開(kāi)展了深入廣泛的研究,建立了獲得薄膜質(zhì)量的臨界參數(shù),特別適用于沉積復(fù)雜氧化物薄膜。
這些思考已經(jīng)應(yīng)用于Pioneer 系統(tǒng)的設(shè)計(jì)之中。
? 很多復(fù)雜氧化物薄膜在相對(duì)高的氧壓 gt;100 Torr)下冷卻可獲得更高的質(zhì)量。所有Pioneer 系統(tǒng)都具備此功能(壓力范圍可從額定初始?jí)簭?qiáng)到大氣壓)。這也有益于納米粒子的生成。
? Pioneer PLD 系統(tǒng)的激光束入射角為45°,保持了激光密度在靶材上的均勻性,同時(shí)避免使用復(fù)雜而昂貴的光學(xué)部件。更大的入射角能夠拉長(zhǎng)靶材上的激光斑點(diǎn),導(dǎo)致密度均勻性的損失。
? 為了避免使用昂貴的與氧氣兼容的真空泵,消除油的回流對(duì)薄膜質(zhì)量的影響,所有Pioneer 系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置都采用無(wú)油泵系統(tǒng)。
? 我們的研究表明靶和基片的距離是獲得薄膜質(zhì)量的關(guān)鍵參數(shù)。Pioneer 系統(tǒng)可以控制靶材和基片的距離,以達(dá)到的沉積條件。