壓電角位臺SGO-60.5采用壓電驅(qū)動技術(shù)實現(xiàn)納米壓電角定位,旋轉(zhuǎn)中心為60.5 mm,負載為5N(500g),尺寸為50x50x17mm^3,勝任任何需要高穩(wěn)定性和高角度精度的應(yīng)用。
壓電角位臺SGO-60.5采用高精度交叉滾子軸承,具有*的角度精度和運動分辨率,結(jié)構(gòu)緊湊,堅固耐用,非常適合微定位或納米定位應(yīng)用。
壓電角位臺SGO-60.5具有良好的拓展和堆疊能力,可以與其它納米壓電位移臺搭建成復雜壓電定位系統(tǒng),與其它半徑相同的角位臺聯(lián)合可以搭建具有共同旋轉(zhuǎn)中心的歐拉角位臺系統(tǒng)。
壓電角位臺SGO-60.5配備精確控制器,可以與集成定位傳感器一起使用,用于高真空和超高真空環(huán)境。
壓電角位臺SGO-60.5規(guī)格參數(shù)
-S閉環(huán)：壓電角位臺SGO-60.5采用高精度交叉滾子軸承,具有*的角度精度和運動分辨率,結(jié)構(gòu)緊湊,堅固耐用,非常適合微定位或納米定位應(yīng)用。
壓電角位臺SGO-60.5具有良好的拓展和堆疊能力,可以與其它納米壓電位移臺搭建成復雜壓電定位系統(tǒng),與其它半徑相同的角位臺聯(lián)合可以搭建具有共同旋轉(zhuǎn)中心的歐拉角位臺系統(tǒng)。
壓電角位臺SGO-60.5配備精確控制器,可以與集成定位傳感器一起使用,用于高真空和超高真空環(huán)境。
壓電角位臺SGO-60.5規(guī)格參數(shù)
行程：±5°
步進：0.7–7μrad
掃描范圍：10.5μrad
掃描分辨率：0.01μrad
速度：4°/s
頻率：18.5 kHz
阻尼力Mb:20 N cm
垂直載荷Fn:5N
橫向扭矩Mr:1.2 N m
尺寸：50 x 50 x 17 mm^3
旋轉(zhuǎn)中心：60.5 mm
重量：≈140g
傳感器分辨率：0.03 µrad
-L閉環(huán)
傳感器分辨率：0.12 µrad
閉環(huán)分辨率：1.5urad(H)CU, 0.12urad MCS
壓電角位臺SGO-60.5可選項目
壓電角位臺SGO-60.5應(yīng)用案例鋼底座（-ST）
延長壽命（-Z）
-高真空（10^-6mBar），超高真空UHV/-UHVT（10^-11mBar）
我們采用壓電角位臺SGO-60.5搭建了5D微操縱器,采用SLC-17納米線性定位器搭建XYZ三位納米定位臺系統(tǒng),再用2套壓電角位臺SGO-60.5用于納米旋轉(zhuǎn)定位，Z軸方向的線性定位器加載了恒力彈簧以勝任持久性大負載。這套5D微操縱器可用于高真空和超高真空環(huán)境,廣泛用于微納操作,納米操縱,SEM定位等應(yīng)用。
