垂直位移臺臺面中心有M6安裝孔和5個M3安裝孔,方便與174系列位移臺和184系列位移臺搭建成多軸位移臺系統(tǒng)。
垂直位移臺的一側(cè)有游標刻度,升降范圍是5mm,另一側(cè)有鎖定機械,確保垂直位移臺鎖定到需要的高度位置。
垂直位移臺上有安裝M3通孔,方便把該為位移臺安裝到其它臺面上,如滾珠軸承平移臺7T184-13,使用其底部中心的M6孔則可把該垂直位移臺安裝多光學(xué)支撐桿3MP上。
圖1:垂直位移臺實物圖
垂直位移臺特點
鋁質(zhì)球軸承技術(shù)
可鎖定高度位置
精度高
升降范圍5mm
可以與174和184系列位移臺搭建成復(fù)雜多軸位移臺系統(tǒng)
具有對應(yīng)的電動控制的電動垂直升降臺
垂直位移臺規(guī)格
升降范圍 5mm
靈敏度 1µm
跟蹤精度 1µm
讀數(shù)精度 5µm
絲杠螺距 0.25mm
導(dǎo)引機構(gòu) 球軸承
負載能力 3kg
重量 0.15kg
主體材質(zhì) 鋁
成品處理 黑色陽極氧化
圖2:垂直位移臺需要使用光學(xué)底板3UBP-03安裝到平面如光學(xué)平臺上