FAPSTA-8MTL220 高承載直驅(qū)直線平移臺(tái)-400mm/600mm/100kg 光學(xué)表面分析儀-儀表網(wǎng)

這款高承載直驅(qū)直線平移臺(tái)是高精度線性直驅(qū)平移臺(tái)DirectDriveLinearTranslationStage,采用光學(xué)編碼器和3相無(wú)鐵線性無(wú)刷伺服電機(jī)技術(shù),為用戶帶來(lái)零反沖高精度平移運(yùn)動(dòng),具有*的平移精度高,重復(fù)精度高和摩擦低的特點(diǎn)

高承載直驅(qū)直線平移臺(tái)-400mm/600mm/100kg 光學(xué)表面分析儀產(chǎn)品詳情

這款高承載直驅(qū)直線平移臺(tái)是高精度線性直驅(qū)平移臺(tái)Direct Drive Linear Translation Stage,采用光學(xué)編碼器和3相無(wú)鐵線性無(wú)刷伺服電機(jī)技術(shù),為用戶帶來(lái)零反沖高精度平移運(yùn)動(dòng),具有*的平移精度高,重復(fù)精度高和摩擦低的特點(diǎn)。
高承載直驅(qū)直線平移臺(tái)采用線性非接觸式光學(xué)編碼器作為反饋系統(tǒng),使得位置控制高達(dá)亞納米級(jí)分辨率。
高承載直驅(qū)直線平移臺(tái)采用自然老化鋁合金確保了平移臺(tái)高溫穩(wěn)定性和輕巧性,以及優(yōu)良的長(zhǎng)周期運(yùn)動(dòng),導(dǎo)軌系統(tǒng)不會(huì)發(fā)生漂移。
高承載直驅(qū)直線平移臺(tái)可以用于潔凈空間環(huán)境或真空度10^-3Torr的真空環(huán)境,也可根據(jù)用戶要求提供高真空直驅(qū)平移臺(tái)。
高承載直驅(qū)直線平移臺(tái)可以輕松地直接連接到光學(xué)平臺(tái)上,可直接安裝搭建成電動(dòng)XY二維平移臺(tái),無(wú)需使用任何連接板。
高承載直驅(qū)直線平移臺(tái)還可以安裝到花崗巖龍門架或高精度平臺(tái)上實(shí)現(xiàn)高精度平移定位。

圖1：高承載直驅(qū)直線平移臺(tái)實(shí)物圖
高承載直驅(qū)直線平移臺(tái)特點(diǎn)
直接驅(qū)動(dòng)無(wú)反沖backlash系統(tǒng)
+/-0.5um雙向重復(fù)定位精度
高分辨率非接觸式光學(xué)編碼器
高精度線性導(dǎo)向和運(yùn)載系統(tǒng)
超長(zhǎng)使用壽命
方便集成到各種平臺(tái)或光學(xué)機(jī)械系統(tǒng)中
XY二維位移臺(tái)的正交性高達(dá)<=5arcsec
非常適合激光打標(biāo),激光鉆孔,激光劃線,激光雕刻等應(yīng)用
具有灰塵防護(hù)能力
高承載直驅(qū)直線平移臺(tái)規(guī)格

Model	8MTL220-400-LEn1	8MTL220-600-LEn1
Kinematics & Feedback information
Travel Range, mm	400	600
Encoder Type	Optical
Encoder Model	LEN1
Encoder Resolution	Any of the range: 25 nm to 5 µm (on demand)
Encoder Interface	Differential RS422
Internal Multiplier	YES
Multiplication factor ¹⁾	4-200 (on demand)
Encoder Grating Period, µm	20
Reference Mark (Index)	Yes
Absolute Accuracy ²⁾
Before Calibration, µm	±10	±12
After Calibration, µm	±1	±1
Uni-Directional Repeatability, µm	N/A
Bi-Directional Repeatability (peak to peak) ²⁾, µm	±0.5
Bi-Directional Repeatability (RMS) ²⁾, µm	±0.26
Pitch ³⁾, µrad / arcsec	±30 / ±6.20
Yaw ³⁾, µrad / arcsec	±30 / ±6.20
Roll, µrad / arcsec	N/A
Maximum Velocity (with load 4kg) ⁴⁾, mm/s	<2000
Maximum Acceleration (with load 4kg) ⁵⁾, mm/s²	<20000
Limits Switches Type (Safety)	Optical (Optrons)
Limit Switch Polarity (Safety)	Pushed is closed
Limit Switch Voltage, V	5…24
Load, Guiding & Transmission Information
Design Type	Linear Motor Stage
Linear Motor Model	LM4
Linear Motor Design Type	Ironless BLDC motor
Maximum Bus Voltage, V_DC	>300
Load Capacity (Centrally Placed) ⁶⁾
Horizontal, kg	100
Vertical, kg	N/A
Moving Mass ⁷⁾, kg	9.5
Guiding System	Recirculating linear rails and carriages units with caged balls
Material & Environment Conditions
Housing Material	Aluminum Alloy
Housing Coating (Finish)	Black Anodizing
Environment Pressure	Normal Atmosphere
Operating Temperature, °C	20±2
Control, Communication and Cabling
Recommended Controllers ⁸⁾	ACS Products Line or 8SMC5-USB series
Recommended Drivers ⁸⁾	ACS Products Line or 8SMC5-USB series
Recommended Power Supply ⁹⁾	2 phase / 3 phase source
Recommended Communication Interface ¹²⁾	EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP
Cable Length, m	2 (other by request)
Differential Outputs ¹⁰⁾	On request
Accessories Information
Base Plate for Mechanical Interface	Not required
XY Stack	Directly
Z Configuration	Not available (choose from other Standa stages series)
Additional Details
Dimensions of Moving Platform (W x L), mm	225 x 225
Overall Linear Stage Dimensions (W x L x H), mm	780 x 297.5 x 100	980 x 297.5 x 100
Measurement System	Metric
Orthogonality (XY Configuration) ¹¹⁾, µrad / arcsec	24 / 5
Protection Level	From solid particles and spray
RoHS	Compliant
Weight, kg	37	46

1) 默認(rèn)為x4轉(zhuǎn)PPR-脈沖數(shù)/每轉(zhuǎn)，模擬SIN/COS編碼器接口
2)精度和雙向重復(fù)定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer測(cè)量計(jì)算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 電子自相關(guān)儀器測(cè)試,電子自相關(guān)儀11D-ALI-COL分辨率1µrad. 環(huán)境誤差1µrad.
4) 速度由編碼器限制和驅(qū)動(dòng)器CUT-OF頻率以及導(dǎo)向系統(tǒng)限制.
5)加速度由驅(qū)動(dòng)器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)決定.
6)負(fù)載能力由導(dǎo)向系統(tǒng)決定.
7) 運(yùn)動(dòng)質(zhì)量是系統(tǒng)常數(shù)m₀,通常是沒(méi)有負(fù)載時(shí)的慣性。
8) 推薦的控制器和驅(qū)動(dòng)器有助于發(fā)揮電動(dòng)平移臺(tái)的性能.
9) 推薦的電源是根據(jù)用戶的占空比和負(fù)載來(lái)選擇.
10) 差分輸出接口,可提供主動(dòng)或被動(dòng)LCMv2接口.
11) 可組成正交性能更好的XY二維電動(dòng)位移臺(tái)系統(tǒng).
12) 標(biāo)量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通訊接口,矢量控制建議采用EtherCAT接口。
13) 平移臺(tái)包括特殊封蓋,可用于灰塵嚴(yán)重或濕度較大的環(huán)境

關(guān)鍵詞：通訊接口

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