這款二維線性XY平移臺(tái)是采用光學(xué)編碼器的電控高精度直驅(qū)平移臺(tái),提供零反沖高精度平移運(yùn)動(dòng),非常適合用作二維載物臺(tái)等重復(fù)性掃描定位平移應(yīng)用。
二維線性XY平移臺(tái)采用線性非接觸式光學(xué)編碼器作為反饋系統(tǒng),使得位置控制高達(dá)亞納米級(jí)分辨率。
二維線性XY平移臺(tái)采用自然老化鋁合金確保了平移臺(tái)高溫穩(wěn)定性和輕巧性,以及優(yōu)良的長(zhǎng)周期運(yùn)動(dòng),導(dǎo)軌系統(tǒng)不會(huì)發(fā)生漂移。
二維線性XY平移臺(tái)可以用于潔凈空間環(huán)境或真空度10^-3Torr的真空環(huán)境,也可根據(jù)用戶要求提供高真空直驅(qū)平移臺(tái)。
二維線性XY平移臺(tái)可以輕松地直接連接到光學(xué)平臺(tái)上,可直接安裝搭建成電動(dòng)XY二維平移臺(tái),無(wú)需使用任何連接板,也可按要求提供垂直Z軸平移臺(tái)。
二維線性XY平移臺(tái)還可以安裝到花崗巖龍門(mén)架或高精度平臺(tái)上實(shí)現(xiàn)高精度平移定位。

二維線性XY平移臺(tái)特點(diǎn)
超低剖面超薄設(shè)計(jì)
分辨率高達(dá)1nm
直接驅(qū)動(dòng)無(wú)返程系統(tǒng)
高分辨率非接觸式光學(xué)編碼器
高精度線性導(dǎo)向和運(yùn)載系統(tǒng)
速度高達(dá)1200mm/s
超長(zhǎng)使用壽命
方便集成到各種平臺(tái)或光學(xué)機(jī)械系統(tǒng)中
二維線性XY平移臺(tái)規(guī)格參數(shù)

型號(hào)	8MTLF250XY-2L-2U-4LEn1	8MTLF250XY-1L-2U-3LEn1	8MTLF250XY-2L-1U-3LEn1	8MTLF250XY-1L-1U-2LEn1
運(yùn)動(dòng)學(xué)部分參數(shù)
行程范圍	250 x 250mm
編碼器類型	光學(xué)編碼器
編碼器型號(hào)	LEN1
編碼器分辨率
編碼器接口	差分接口RS422
內(nèi)部放大器	YES
放大系數(shù) 1)	4-200 (按要求提供)
編碼器光柵周期	20µm
參考標(biāo)記	Yes
精度 2)
校準(zhǔn)前,	±5µm	±6µm
校準(zhǔn)后, µm	±1.5µm	±2µm
	N/A
雙向重復(fù)定位精度(peak-peak)2)	±0.25µm	±0.5µm
雙向重復(fù)定位精度(RMS) 2)	±0.15µm	±0.30µm
Pitch 3)	±30 / ±6.20 µrad / arcsec
Yaw 3)	±30 / ±6.20 µrad / arcsec
Roll	N/A
速度(負(fù)載4kg) 4)	<1500mm/s
加速度(負(fù)載4kg) 5)	<20000mm/s2
限位開(kāi)關(guān)類型(Safety)	Hall Sensors
限位開(kāi)關(guān)極性(Safety)	Pushed is closed
限位開(kāi)關(guān)電壓	5…24V
負(fù)載和導(dǎo)向部分參數(shù)
位移臺(tái)類型	Real Gantry (MIMO)	Planar-Gantry Hybrid		Planar
線性電機(jī)型號(hào)	LM5
線性電機(jī)類型	Ironless BLDC motor
Bus Voltage	>300VDC
電機(jī)數(shù)量	4	3		2
負(fù)載 (中心位置加載) 6)
水平負(fù)載	30kg
豎直負(fù)載	N/A
運(yùn)動(dòng)質(zhì)量 7),
X (底部), kg	39.1kg	37.8kg	34.4kg	33.9kg
Y (上部), kg	7.5kg	7.1kg	7.5kg	7.1kg
導(dǎo)向系統(tǒng)	Recirculating linear rails and carriages units with caged balls
Material & Environment Conditions
Housing Material	Aluminum Alloy
Housing Coating (Finish)	Black Anodizing
Environment Pressure	Normal Atmosphere
Operating Temperature, °C	20±2
Control, Communication and Cabling
Recommended Controllers 8)	ACS Products Line or 8SMC5-USB series
Recommended Drivers 8)	ACS Products Line or 8SMC5-USB series
Recommended Power Supply 9)	2 phase / 3 phase source
Recommended Communication Interface 12)	EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP
Cable Length, m	2 (other by request)
Differential Outputs 10)	On request
Accessories Information
Base Plate for Mechanical Interface	Granite is recomended
Z Configuration	Not available (choose from other Standa stages series)
Additional Details
Dimensions of Moving Platform (W x L), mm	430 x 430
Overall Linear Stage Dimensions (W x L x H), mm	746 x 746 x 106
Measurement System	Metric/Imperial
Orthogonality11), µrad / arcsec	24 / 5
Protection Level	Request support
RoHS	Compliant
Weight, kg	~68

1) 默認(rèn)為x4轉(zhuǎn)PPR-脈沖數(shù)/每轉(zhuǎn)，模擬SIN/COS編碼器接口
2)精度和雙向重復(fù)定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer測(cè)量計(jì)算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 電子自相關(guān)儀器測(cè)試,電子自相關(guān)儀11D-ALI-COL分辨率1µrad. 環(huán)境誤差1µrad.
4) 速度由編碼器限制和驅(qū)動(dòng)器CUT-OF頻率以及導(dǎo)向系統(tǒng)限制.
5)加速度由驅(qū)動(dòng)器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)決定.
6)負(fù)載能力由導(dǎo)向系統(tǒng)決定.
7) 運(yùn)動(dòng)質(zhì)量是系統(tǒng)常數(shù)m₀,通常是沒(méi)有負(fù)載時(shí)的慣性。
8) 推薦的控制器和驅(qū)動(dòng)器有助于發(fā)揮電動(dòng)平移臺(tái)的性能.
9) 推薦的電源是根據(jù)用戶的占空比和負(fù)載來(lái)選擇.
10) 差分輸出接口,可提供主動(dòng)或被動(dòng)LCMv2接口.
11) 可組成正交性能更好的XY二維電動(dòng)位移臺(tái)系統(tǒng).
12) 標(biāo)量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通訊接口,矢量控制建議采用EtherCAT接口。
13) 平移臺(tái)包括特殊封蓋,可用于灰塵嚴(yán)重或濕度較大的環(huán)境。