精密直驅(qū)高速旋轉(zhuǎn)臺采用線性非接觸式光學編碼器作為反饋系統(tǒng),使得位置控制高達亞納米級分辨率。
精密直驅(qū)高速旋轉(zhuǎn)臺采用自然老化鋁合金確保了平移臺高溫穩(wěn)定性和輕巧性,以及優(yōu)良的長周期運動。
精密直驅(qū)高速旋轉(zhuǎn)臺可以用于潔凈空間環(huán)境或真空度10^-3Torr的真空環(huán)境,也可根據(jù)用戶要求提供高真空旋轉(zhuǎn)臺。
精密直驅(qū)高速旋轉(zhuǎn)臺可以輕松地直接連接到光學平臺上,還可以安裝到花崗巖龍門架或高精度平臺上實現(xiàn)高精度旋轉(zhuǎn)定位。
精密直驅(qū)高速旋轉(zhuǎn)臺特點
直接驅(qū)動電機轉(zhuǎn)臺
超高旋轉(zhuǎn)速度9000°/s (1500rpm)
高精度和重復定位精度
高承載能力
緊湊設(shè)計
方便集成到各種平臺或光學機械系統(tǒng)中
精密直驅(qū)高速旋轉(zhuǎn)臺規(guī)格
旋轉(zhuǎn)角度 | 360度 |
編碼器類型 | 光學編碼器 |
編碼器型號 | LEn3 |
編碼器分辨率 | 0.0000625度 |
編碼器接口 | 差分RS422 |
放大系數(shù) | 200 |
編碼器光柵周期 | 0.05度 |
參考標記 (Index) | Yes |
精度2) | |
標定前 | ±218 / ±45.00 µrad/arcsec |
標定后 | 來函索取 |
單向重復精度 | N/A |
雙項重復精度(peak-peak)2) | ±7.30 / ±1.50µrad/arcsec |
雙項重復精度(RMS) 2) | ±2.90 / ±0.60µrad/arcsec |
偏心率Eccentricity 3) | ±5.00µm |
搖擺Wobble 3) | ±19.40 / ±4.00 µrad / arcsec |
速度 (無負載) 4) | <9000/1500 deg/s/RPM |
加速度 (無負載) 4) | 1080000/180deg/s2 / kRPM/s |
扭矩(連續(xù))5), Nm | 5.4Nm |
限位開關(guān) (Safety) | 無 |
負載和導向信息 | |
類型 | 扭矩電機,直驅(qū)型旋轉(zhuǎn)臺 |
電機型號 | TM 105.34N |
電機設(shè)計類型 | 力矩或扭矩電機 |
Bus Voltage | >300VDC |
負載 (中心放置) 6) | |
水平 | 40kg |
豎直 | 20kg |
運動質(zhì)量 7) | 來函索取 |
導向系統(tǒng) | 交叉滾珠軸承 |
材料和外殼信息 | |
外部材料 | 鋁合金 |
外殼處理 | 黑色陽極氧化 |
環(huán)境壓力 | 標準大氣壓 |
工作溫度 | 20±2°C |
控制器 | |
推薦控制器 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series |
推薦驅(qū)動器 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series |
推薦電源 9) | 2相或3相電 |
推薦通訊接口 12) | EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP |
線纜長度 | 2m |
差分輸出 10) | On request |
配件 | |
底板 | 不需要 |
Ox或Oy二維旋轉(zhuǎn)定位搭建 | 需要角安裝架 |
外形尺寸 | |
旋轉(zhuǎn)臺部分尺寸 | Ø90mm |
中間通孔 | Ø15mm |
整體尺寸W x L x H | 151 x 122 x 62mm |
公制或英制 | 公制 / 英制均可提供 |
RoHS | 滿足 |
重量 | 2.6kg |
1) 默認為x4轉(zhuǎn)PPR-脈沖數(shù)/每轉(zhuǎn),模擬SIN/COS編碼器接口
2)精度和雙向重復定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer測量計算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 電子自相關(guān)儀器測試,電子自相關(guān)儀11D-ALI-COL分辨率1µrad. 環(huán)境誤差1µrad.
4) 速度由編碼器限制和驅(qū)動器CUT-OF頻率以及導向系統(tǒng)限制.
5)加速度由驅(qū)動器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)決定.
6)負載能力由導向系統(tǒng)決定.
7) 運動質(zhì)量是系統(tǒng)常數(shù)m0,通常是沒有負載時的慣性。
8) 推薦的控制器和驅(qū)動器有助于發(fā)揮電動平移臺的性能.
9) 推薦的電源是根據(jù)用戶的占空比和負載來選擇.
10) 差分輸出接口,可提供主動或被動LCMv2接口.
11) 標量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通訊接口,矢量控制建議采用EtherCAT接口。