這款精密直驅(qū)高速旋轉(zhuǎn)臺(tái)是高精度直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái),采用光學(xué)編碼器實(shí)現(xiàn)高速旋轉(zhuǎn)和高精度旋轉(zhuǎn),直驅(qū)電機(jī)實(shí)現(xiàn)直接驅(qū)動(dòng)為用戶帶來(lái)零反沖高精度平移運(yùn)動(dòng),具有*的高精度和低摩擦的優(yōu)勢(shì)。
精密直驅(qū)高速旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用線性非接觸式光學(xué)編碼器作為反饋系統(tǒng),使得位置控制高達(dá)亞納米級(jí)分辨率。
精密直驅(qū)高速旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用自然老化鋁合金確保了平移臺(tái)高溫穩(wěn)定性和輕巧性,以及優(yōu)良的長(zhǎng)周期運(yùn)動(dòng)。
精密直驅(qū)高速旋轉(zhuǎn)臺(tái)可以用于潔凈空間環(huán)境或真空度10^-3Torr的真空環(huán)境,也可根據(jù)用戶要求提供高真空旋轉(zhuǎn)臺(tái)。
精密直驅(qū)高速旋轉(zhuǎn)臺(tái)可以輕松地直接連接到光學(xué)平臺(tái)上,還可以安裝到花崗巖龍門架或高精度平臺(tái)上實(shí)現(xiàn)高精度旋轉(zhuǎn)定位。
精密直驅(qū)高速旋轉(zhuǎn)臺(tái)特點(diǎn)
直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)轉(zhuǎn)臺(tái)
超高旋轉(zhuǎn)速度9000°/s (1500rpm)
高精度和重復(fù)定位精度
高承載能力
緊湊設(shè)計(jì)
方便集成到各種平臺(tái)或光學(xué)機(jī)械系統(tǒng)中
精密直驅(qū)高速旋轉(zhuǎn)臺(tái)規(guī)格
精密直驅(qū)高速旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用線性非接觸式光學(xué)編碼器作為反饋系統(tǒng),使得位置控制高達(dá)亞納米級(jí)分辨率。
精密直驅(qū)高速旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用自然老化鋁合金確保了平移臺(tái)高溫穩(wěn)定性和輕巧性,以及優(yōu)良的長(zhǎng)周期運(yùn)動(dòng)。
精密直驅(qū)高速旋轉(zhuǎn)臺(tái)可以用于潔凈空間環(huán)境或真空度10^-3Torr的真空環(huán)境,也可根據(jù)用戶要求提供高真空旋轉(zhuǎn)臺(tái)。
精密直驅(qū)高速旋轉(zhuǎn)臺(tái)可以輕松地直接連接到光學(xué)平臺(tái)上,還可以安裝到花崗巖龍門架或高精度平臺(tái)上實(shí)現(xiàn)高精度旋轉(zhuǎn)定位。
精密直驅(qū)高速旋轉(zhuǎn)臺(tái)特點(diǎn)
直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)轉(zhuǎn)臺(tái)
超高旋轉(zhuǎn)速度9000°/s (1500rpm)
高精度和重復(fù)定位精度
高承載能力
緊湊設(shè)計(jì)
方便集成到各種平臺(tái)或光學(xué)機(jī)械系統(tǒng)中
精密直驅(qū)高速旋轉(zhuǎn)臺(tái)規(guī)格
| 旋轉(zhuǎn)角度 | 360度 |
| 編碼器類型 | 光學(xué)編碼器 |
| 編碼器型號(hào) | LEn3 |
| 編碼器分辨率 | 0.0000625度 |
| 編碼器接口 | 差分RS422 |
| 放大系數(shù) | 200 |
| 編碼器光柵周期 | 0.05度 |
| 參考標(biāo)記 (Index) | Yes |
| 精度2) | |
| 標(biāo)定前 | ±218 / ±45.00 µrad/arcsec |
| 標(biāo)定后 | 來(lái)函索取 |
| 單向重復(fù)精度 | N/A |
| 雙項(xiàng)重復(fù)精度（peak-peak)2) | ±7.30 / ±1.50µrad/arcsec |
| 雙項(xiàng)重復(fù)精度(RMS) 2) | ±2.90 / ±0.60µrad/arcsec |
| 偏心率Eccentricity 3) | ±5.00µm |
| 搖擺Wobble 3) | ±19.40 / ±4.00 µrad / arcsec |
| 速度 (無(wú)負(fù)載) 4) | <9000/1500 deg/s/RPM |
| 加速度 (無(wú)負(fù)載) 4) | 1080000/180deg/s2 / kRPM/s |
| 扭矩(連續(xù))5), Nm | 5.4Nm |
| 限位開(kāi)關(guān) (Safety) | 無(wú) |
| 負(fù)載和導(dǎo)向信息 | |
| 類型 | 扭矩電機(jī),直驅(qū)型旋轉(zhuǎn)臺(tái) |
| 電機(jī)型號(hào) | TM 105.34N |
| 電機(jī)設(shè)計(jì)類型 | 力矩或扭矩電機(jī) |
| Bus Voltage | >300VDC |
| 負(fù)載 (中心放置) 6) | |
| 水平 | 40kg |
| 豎直 | 20kg |
| 運(yùn)動(dòng)質(zhì)量 7) | 來(lái)函索取 |
| 導(dǎo)向系統(tǒng) | 交叉滾珠軸承 |
| 材料和外殼信息 | |
| 外部材料 | 鋁合金 |
| 外殼處理 | 黑色陽(yáng)極氧化 |
| 環(huán)境壓力 | 標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 |
| 工作溫度 | 20±2°C |
| 控制器 | |
| 推薦控制器 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series |
| 推薦驅(qū)動(dòng)器 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series |
| 推薦電源 9) | 2相或3相電 |
| 推薦通訊接口 12) | EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP |
| 線纜長(zhǎng)度 | 2m |
| 差分輸出 10) | On request |
| 配件 | |
| 底板 | 不需要 |
| Ox或Oy二維旋轉(zhuǎn)定位搭建 | 需要角安裝架 |
| 外形尺寸 | |
| 旋轉(zhuǎn)臺(tái)部分尺寸 | Ø90mm |
| 中間通孔 | Ø15mm |
| 整體尺寸W x L x H | 151 x 122 x 62mm |
| 公制或英制 | 公制 / 英制均可提供 |
| RoHS | 滿足 |
| 重量 | 2.6kg |
1) 默認(rèn)為x4轉(zhuǎn)PPR-脈沖數(shù)/每轉(zhuǎn)，模擬SIN/COS編碼器接口
2)精度和雙向重復(fù)定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer測(cè)量計(jì)算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-COL 電子自相關(guān)儀器測(cè)試,電子自相關(guān)儀11D-ALI-COL分辨率1µrad. 環(huán)境誤差1µrad.
4) 速度由編碼器限制和驅(qū)動(dòng)器CUT-OF頻率以及導(dǎo)向系統(tǒng)限制.
5)加速度由驅(qū)動(dòng)器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)決定.
6)負(fù)載能力由導(dǎo)向系統(tǒng)決定.
7) 運(yùn)動(dòng)質(zhì)量是系統(tǒng)常數(shù)m0,通常是沒(méi)有負(fù)載時(shí)的慣性。
8) 推薦的控制器和驅(qū)動(dòng)器有助于發(fā)揮電動(dòng)平移臺(tái)的性能.
9) 推薦的電源是根據(jù)用戶的占空比和負(fù)載來(lái)選擇.
10) 差分輸出接口,可提供主動(dòng)或被動(dòng)LCMv2接口.
11) 標(biāo)量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通訊接口,矢量控制建議采用EtherCAT接口。
