這款XY納米位移掃描臺(tái)是平行平面的二維納米掃描位移臺(tái)和納米地位臺(tái),非常適合用作共聚焦顯微鏡納米位掃描定位和掃描探針顯微鏡位移定位,也可用于納米傳感器獲取納米位移位置尺度數(shù)據(jù)的應(yīng)用。
XY納米位移掃描臺(tái)采用單片金屬體鋁合金制成,對(duì)應(yīng)壓電陶瓷激勵(lì)器和驅(qū)動(dòng)部分采用了EDM導(dǎo)線腐蝕和其它精密加工方法構(gòu)建,與傳統(tǒng)的壓電陶瓷管的納米掃描臺(tái)（掃描面位于球面）相比,這種設(shè)計(jì)使得納米掃描臺(tái)具有良好的直線度和平面度。
這款XY納米位移掃描臺(tái)的所有軸都配備了電容位移傳感器,包括在數(shù)字反饋鏈內(nèi)。它提供了高精度和線性運(yùn)動(dòng),消除了壓電陶瓷漂移(蠕變)的影響。XY納米位移掃描臺(tái)測(cè)量部分采用TDC（時(shí)間數(shù)字轉(zhuǎn)換器),安裝在離傳感器最近的位置,從而可以立刻發(fā)出與測(cè)量電容成正比的數(shù)字信號(hào),限度地減少了外部電磁噪聲的影響,方便用于使用較長電線連接掃描臺(tái)和控制器。
這款平面平行XY納米位移掃描臺(tái)使用通用的控制器8NSC-3061和軟件NSpec控制8NTS-01XY納米位移臺(tái)。
實(shí)際上,XY納米位移掃描臺(tái)8NTS-01XY還可以與SPM控制器8NSC-3061和通用軟件NSpec組成完整的納米掃描臺(tái)及其數(shù)據(jù)采集和可視化系統(tǒng),成為所有掃描顯微鏡的“核心”部分,幫助用戶“自制”掃描顯微鏡系統(tǒng)。還可以用于自制物理信號(hào)納米傳感器獲取信號(hào)在納米尺度的分布。
XY納米位移掃描臺(tái)控制器8NSC-3061可控制SPM掃描探針顯微鏡或共聚焦顯微鏡,配套的控制器可從納米掃描臺(tái)傳感器和外部設(shè)備采集數(shù)據(jù)，將控制電壓應(yīng)用到掃描臺(tái)壓電激勵(lì)器上,通過計(jì)算機(jī)還可以可視化和進(jìn)一步處理,控制信號(hào)由計(jì)算器傳輸?shù)娇刂破?方便控制調(diào)整所有系統(tǒng)參數(shù)。
XY納米位移掃描臺(tái)控制器8NSC-3061是閉環(huán)反饋系統(tǒng),基于高質(zhì)量的20位TDC（時(shí)間數(shù)字轉(zhuǎn)換器）來測(cè)量電容位移傳感器。任何可用的系統(tǒng)信號(hào)據(jù)，將控制電壓應(yīng)用到掃描臺(tái)壓電激勵(lì)器上,通過計(jì)算機(jī)還可以可視化和進(jìn)一步處理,控制信號(hào)由計(jì)算器傳輸?shù)娇刂破?方便控制調(diào)整所有系統(tǒng)參數(shù)。
XY納米位移掃描臺(tái)控制器8NSC-3061(SPM控制器)具有2通道鎖相放大器來提供共振SPM技術(shù),例如非接觸SPM掃描模式。鎖相放大器中包括基于數(shù)字頻率合成器的高穩(wěn)定電壓發(fā)生器,采用可編程邏輯PLIS電路實(shí)現(xiàn)高速數(shù)據(jù)處理,可以在1.5MHz帶寬時(shí)進(jìn)行高質(zhì)量鎖定。
平面平行納米掃描臺(tái)控制器8NSC-3061配置了12個(gè)通道的麥芽通道步進(jìn)電機(jī)控制掃描臺(tái)和掃描頭,并可選配微調(diào)功能。
XY納米位移掃描臺(tái)控制器有外部模擬輸入和輸出接口用于連接外部設(shè)備,方便同步輸入輸出,通過USB接口連接到PC工作站。
納米掃描臺(tái)配備了通用軟件Nspec,具有廣泛處理數(shù)據(jù)能力,不僅支持現(xiàn)代SPM技術(shù),還可以在不同的操作系統(tǒng)下運(yùn)行。
XY納米位移掃描臺(tái)規(guī)格
XY掃描范圍 100x100µm
最小掃描步進(jìn) 0.1nm
整范圍內(nèi)的角度傾斜 <0.001°
掃描速度 10Hz（行/秒）
樣品載重 100g
XY諧振頻率 1kHz
非線性殘余 ≤0.03%
傳感器類型 電容傳感器
內(nèi)置TDC時(shí)間數(shù)字轉(zhuǎn)換器: 24位
XY納米位移掃描臺(tái)采用單片金屬體鋁合金制成,對(duì)應(yīng)壓電陶瓷激勵(lì)器和驅(qū)動(dòng)部分采用了EDM導(dǎo)線腐蝕和其它精密加工方法構(gòu)建,與傳統(tǒng)的壓電陶瓷管的納米掃描臺(tái)（掃描面位于球面）相比,這種設(shè)計(jì)使得納米掃描臺(tái)具有良好的直線度和平面度。
這款XY納米位移掃描臺(tái)的所有軸都配備了電容位移傳感器,包括在數(shù)字反饋鏈內(nèi)。它提供了高精度和線性運(yùn)動(dòng),消除了壓電陶瓷漂移(蠕變)的影響。XY納米位移掃描臺(tái)測(cè)量部分采用TDC（時(shí)間數(shù)字轉(zhuǎn)換器),安裝在離傳感器最近的位置,從而可以立刻發(fā)出與測(cè)量電容成正比的數(shù)字信號(hào),限度地減少了外部電磁噪聲的影響,方便用于使用較長電線連接掃描臺(tái)和控制器。
這款平面平行XY納米位移掃描臺(tái)使用通用的控制器8NSC-3061和軟件NSpec控制8NTS-01XY納米位移臺(tái)。
實(shí)際上,XY納米位移掃描臺(tái)8NTS-01XY還可以與SPM控制器8NSC-3061和通用軟件NSpec組成完整的納米掃描臺(tái)及其數(shù)據(jù)采集和可視化系統(tǒng),成為所有掃描顯微鏡的“核心”部分,幫助用戶“自制”掃描顯微鏡系統(tǒng)。還可以用于自制物理信號(hào)納米傳感器獲取信號(hào)在納米尺度的分布。
XY納米位移掃描臺(tái)控制器8NSC-3061可控制SPM掃描探針顯微鏡或共聚焦顯微鏡,配套的控制器可從納米掃描臺(tái)傳感器和外部設(shè)備采集數(shù)據(jù)，將控制電壓應(yīng)用到掃描臺(tái)壓電激勵(lì)器上,通過計(jì)算機(jī)還可以可視化和進(jìn)一步處理,控制信號(hào)由計(jì)算器傳輸?shù)娇刂破?方便控制調(diào)整所有系統(tǒng)參數(shù)。
XY納米位移掃描臺(tái)控制器8NSC-3061是閉環(huán)反饋系統(tǒng),基于高質(zhì)量的20位TDC（時(shí)間數(shù)字轉(zhuǎn)換器）來測(cè)量電容位移傳感器。任何可用的系統(tǒng)信號(hào)據(jù)，將控制電壓應(yīng)用到掃描臺(tái)壓電激勵(lì)器上,通過計(jì)算機(jī)還可以可視化和進(jìn)一步處理,控制信號(hào)由計(jì)算器傳輸?shù)娇刂破?方便控制調(diào)整所有系統(tǒng)參數(shù)。
XY納米位移掃描臺(tái)控制器8NSC-3061(SPM控制器)具有2通道鎖相放大器來提供共振SPM技術(shù),例如非接觸SPM掃描模式。鎖相放大器中包括基于數(shù)字頻率合成器的高穩(wěn)定電壓發(fā)生器,采用可編程邏輯PLIS電路實(shí)現(xiàn)高速數(shù)據(jù)處理,可以在1.5MHz帶寬時(shí)進(jìn)行高質(zhì)量鎖定。
平面平行納米掃描臺(tái)控制器8NSC-3061配置了12個(gè)通道的麥芽通道步進(jìn)電機(jī)控制掃描臺(tái)和掃描頭,并可選配微調(diào)功能。
XY納米位移掃描臺(tái)控制器有外部模擬輸入和輸出接口用于連接外部設(shè)備,方便同步輸入輸出,通過USB接口連接到PC工作站。
納米掃描臺(tái)配備了通用軟件Nspec,具有廣泛處理數(shù)據(jù)能力,不僅支持現(xiàn)代SPM技術(shù),還可以在不同的操作系統(tǒng)下運(yùn)行。
XY納米位移掃描臺(tái)規(guī)格
XY掃描范圍 100x100µm
最小掃描步進(jìn) 0.1nm
整范圍內(nèi)的角度傾斜 <0.001°
掃描速度 10Hz（行/秒）
樣品載重 100g
XY諧振頻率 1kHz
非線性殘余 ≤0.03%
傳感器類型 電容傳感器
內(nèi)置TDC時(shí)間數(shù)字轉(zhuǎn)換器: 24位
