這款單軸壓電致動器Piezo Actuator是為壓電掃描定位設(shè)計的壓電促動器,廣泛用于掃描探針顯微鏡壓電掃描和原子力顯微鏡壓電致動和微納操作,適合在開放和閉環(huán)系統(tǒng)中的光學(xué)壓電驅(qū)動和掃描探針壓電驅(qū)動應(yīng)用。
單軸壓電致動器的中心部件具有可移動性,掛在柔性彈簧上,由壓電致動器驅(qū)動,確保了較高剛性和高穩(wěn)定性。相比于經(jīng)典的壓電陶瓷管的壓電掃描臺(球形掃描面),單軸壓電致動器具有更好的位移線性和平整度,并具有更高機械強度。
單軸壓電致動器Piezo Actuator配備了電容位移傳感器,包括于數(shù)字反饋鏈系統(tǒng)內(nèi),用于數(shù)字閉環(huán)控制,它保證了高精度和線性位移,消除了壓電陶瓷固有的蠕變效應(yīng)。其中,電容測量采用TDC時間數(shù)字轉(zhuǎn)換器,測量電子電路距離傳感器更近,這種設(shè)計具有更低噪音和更高速度的位移控制。
這款單軸壓電致動器可使用通用控制器8NSC-3000 和8NSC-1000或是NSpec軟件。

單軸壓電致動器特點
雙電容傳感器反饋技術(shù)
行程高達120微米
超高分辨率0.1nm
超薄且緊湊設(shè)計
較高的剛性
弱化了壓電陶瓷的蠕變效應(yīng)
超低噪音阻抗
非常適合各種原子力顯微鏡和掃描探針顯微鏡
具有真空版本的真空壓電致動器
單軸壓電致動器應(yīng)用
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
納米定位
計量學(xué)應(yīng)用
生物學(xué)研究
微電子學(xué)應(yīng)用
微操作
單軸壓電致動器規(guī)格
主動軸 Z軸
Z軸行程 120µm
閉環(huán)分辨率 1nm
開環(huán)分辨率 0.1nm
整范圍內(nèi)的角度傾斜＜0.01度
掃描速度 10Hz
電容值 20pF
Z軸諧振頻率 3KHz
負載承重 100g
工作溫度 -40~80°C
尺寸 30 x 30 x 22mm
材料 鋁