這款三維中空壓電掃描臺是為壓電掃描定位設計的XYZ中空壓電掃描平臺和三維中空壓電定位臺,廣泛用于掃描探針顯微鏡壓電掃描,原子力顯微鏡壓電掃描和微納操作,非常在開放和閉環(huán)系統(tǒng)中的光學元件壓電掃描定位和掃描探針壓電掃描應用。
三維中空壓電掃描臺活動的中心部件掛在柔性彈簧上，由壓電驅動器驅動，確保了應用的高剛度和高穩(wěn)定性。三維中空壓電掃描臺的設計為運動提供了的線性和平整度，與經典的采用壓電陶瓷管的壓電掃描臺相比具有更高機械強度。
三維中空壓電掃描臺配備了電容位移傳感器，包括在數字反饋鏈系統(tǒng)內，進行數字閉環(huán)控制。它提供了高精度和線性運動，消除了對壓電陶瓷的蠕變效應。測量電容傳感器的TDC芯片（時間數字轉換器），安裝柱離傳感器最近的位置，發(fā)出電子信號與測量得的電容成正比。這樣可以將外部噪音的影響還可以使用長電纜連接到控制器。

三維中空壓電掃描臺特點
雙電容傳感器反饋技術
低頻噪聲電阻
補償壓電陶瓷的蠕變效應
水平方向上掃描位移行程200µM
垂直方向位移行程20µM
超高分辨率，為0.1nm
中空孔徑高達45mm
低成本
設計緊湊，重量輕，剛度高
是顯微鏡應用的理想中空壓電掃描臺
通用性強
具有真空壓電掃描臺型號
三維中空壓電掃描臺應用
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
納米定位
計量學應用
生物學研究
電子學應用
微操作等。
三維中空壓電掃描臺產品規(guī)格
運動特性
主動軸 XYZ
XY運動范圍 200 x 200µm
Z軸運動距離 20µm
分辨率（閉環(huán)） 1nm
分辨率（開環(huán)） 0.1nm
整范圍內的角度傾斜 ＜0.01°
掃描速度 10Hz
控制性能
XY軸電容量 10pF
Z軸電容量 10pF
機械性能
中空通孔直徑 45mm
諧振頻率Z軸 3KHz
諧振頻率XY軸 1KHz
負載能力 100g
操作溫度范圍 - 40~80°C
尺寸 100x100x35mm
材料 鋁