這款Z軸納米物鏡自動聚焦臺是壓電物鏡自動對焦臺,廣泛用于3D共聚焦顯微鏡物鏡納米自動聚焦定位,可以得到各種物體的完整三維激光共聚焦圖像。
Z軸納米物鏡自動聚焦臺適合在Z軸上移動和定位。特別是沿光軸移動透鏡,對應樣品表面或樣品對象觀察聚焦位置變化。這種*的技術還適合3D激光共聚焦顯微鏡自動聚焦。與XY工作臺聯(lián)合在XY平面中使用，這樣*的Z軸納米物鏡自動聚焦臺可以得到各種物體的完整三維激光共聚焦圖像。并且，Z軸納米物鏡自動聚焦臺雖然只可以移動顯微鏡透鏡，但是沒有使用受限。

Z軸納米物鏡自動聚焦臺活動的中心部件掛在柔性彈簧上,由壓電驅(qū)動器驅(qū)動確保了應用的高剛度和高穩(wěn)定性。Z軸納米物鏡自動聚焦臺設計為運動提供了的線性和平整度,與經(jīng)典的采用壓電陶瓷管的掃描儀相比，它的掃描表面是球形。與脆弱的壓電管相比,平行平面納米掃描臺具有高機械強度。
Z軸納米物鏡自動聚焦臺配備了電容位移傳感器，包括在數(shù)字反饋鏈系統(tǒng)內(nèi)，進行數(shù)字閉環(huán)控制。它提供了高精度和線性運動，消除了對壓電陶瓷的蠕變效應。測量電容傳感器的TDC芯片（時間數(shù)字轉(zhuǎn)換器），安裝柱離傳感器最近的位置，發(fā)出電子信號與測量得的電容成正比。這樣可以將外部噪音的影響還可以使用長電纜連接到控制器。
Z軸納米物鏡自動聚焦臺特點
雙電容傳感器反饋技術
低頻噪聲電阻
補償壓電陶瓷的蠕變效應
垂直方向上的位移行程100µM
超高分辨率，為0.1nm
可以負載的樣品重量高達300g
低成本
設計緊湊，重量輕，剛度高
是顯微鏡應用的理想定位裝置
通用性強
具有真空型號
Z軸納米物鏡自動聚焦臺使用通用控制器8NSC-3000 和8NSC-1000，或是NSpec軟件控制 8NTS-Z壓電工作臺。
Z軸納米物鏡自動聚焦臺應用
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
納米定位
計量學應用
生物學研究
電子學應用
微操作等
Z軸納米物鏡自動聚焦臺規(guī)格
運動特性
主動軸 Z軸
Z軸行程 60µm或100µm
分辨率（閉環(huán)） 1nm
分辨率（開環(huán)） 0.1nm
整范圍內(nèi)的角度傾斜 ＜0.01°
掃描速度 10Hz
Z軸電容 15pF
諧振頻率Z軸 0.5KHz
負載能力 300g
工作溫度范圍 -40~80°C
尺寸 108 x 73 x 67.5 mm
材料 鋁