真空電動(dòng)位移臺(tái)配備高度真空兼容Sub-D接口連接器,9或15針連接器,連接器是玻璃制成,里面填充的是聚合物,外殼是不銹鋼,適用于高度真空10^-6毫巴和溫度高達(dá)110°C的環(huán)境。
真空電動(dòng)位移臺(tái)Sub-D連接器的規(guī)格:
真空:10^-6毫巴
主體材料:DEP
溫度范圍:- 55°C至110°C
針材質(zhì):鍍金銅合金
真空電動(dòng)位移臺(tái)規(guī)格
行程距離 25 mm
分辨率
全步 1.25µm
1/8步 0.156µm
絲杠螺距 0.25 mm
速度 2.5mm/s
載重能力
水平 5kg
垂直 3.5kg
電機(jī) VSS42
真空兼容電纜 集成電纜2米
連接接口 HDB15(M)
限位開(kāi)關(guān) 2個(gè)機(jī)械開(kāi)關(guān)
開(kāi)關(guān)極性 “推動(dòng)”關(guān)閉
重量 0.85kg