真空電控位移臺(tái)是為真空環(huán)境設(shè)計(jì)的真空電控位移平臺(tái)和電控真空位移臺(tái),廣泛用于真空環(huán)境的電控位移定位操作應(yīng)用。
真空電控位移臺(tái)采用真空兼容步進(jìn)電機(jī)。使用M6螺釘,可搭建成 二維XY真空電控位移臺(tái)系統(tǒng)。采用角架2AB175V，還可搭建XZ二維垂直位移臺(tái)系統(tǒng)和XYZ三維真空電控位移臺(tái)系統(tǒng)，還可以采用光學(xué)底板3UBP175V直接安裝到光學(xué)平臺(tái)上。
真空電控位移臺(tái)配套高度真空兼容Sub-D接口連接器,具有9或15針連接器。連接器是玻璃制成，里面填充的是聚合物，外殼是不銹鋼，適用于真空度高達(dá)10^-6毫巴和溫度高達(dá)110°C的環(huán)境。

真空電控位移臺(tái)特點(diǎn)
窄型型材設(shè)計(jì)節(jié)省安裝空間
超級(jí)緊湊設(shè)計(jì)方便安裝使用
分辨率高達(dá) 0.31µm (1/8步模式)
導(dǎo)軌精度高
絲桿螺距是0.5mm
可以搭建成XYZ三維真空電控位移臺(tái)系統(tǒng)

XYZ三維真空電控位移臺(tái)系統(tǒng)裝置
高度真空Sub-D連接器的規(guī)格：
真空：10^-6毫巴
主體材料：DEP
溫度范圍：- 55°C至110°C
針材質(zhì)：鍍金銅合金
提供其他大小的連接器和真空密封裝置。

真空電控位移臺(tái)產(chǎn)品規(guī)格
絲杠螺距 0.5mm
全步進(jìn)分辨率 2.5µm
速度 5mm/s
載重量
水平 8kg
立式 3kg
真空度 10^-6Torr
電機(jī)連接器 DB9（M）
步進(jìn)電機(jī) VSS42
裝配成多維位移臺(tái)的配件
X-Y 直接
Z 2AB175V
平面 3BP175V
速動(dòng)限位開(kāi)關(guān) 雙端開(kāi)關(guān)
類型 推動(dòng)“關(guān)閉”