這款二維XY定位平臺(tái)METROSTAGE是美國(guó)Nutec高精度電動(dòng)XY定位臺(tái),采用了XY雙軸定位臺(tái)設(shè)計(jì),可以設(shè)計(jì)成實(shí)心表面,也可設(shè)計(jì)成開放的中空框架結(jié)構(gòu),同時(shí)滿足超凈工作間和真空環(huán)境的使用要求。
這款二維XY定位平臺(tái)METROSTAGE采用特殊的3層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，保證了最小的形變和的精度，剛度和穩(wěn)定性也得到了，從而保證了二維XY定位平臺(tái)的支撐和完整性. 無(wú)空回（backlash-free)的預(yù)裝引導(dǎo)系統(tǒng)保證了二維XY定位平臺(tái)實(shí)現(xiàn)平穩(wěn),低摩擦,高精度地定位,*長(zhǎng)期使用。
二維XY定位平臺(tái)應(yīng)用
具有廣泛的應(yīng)用,可用于計(jì)量和制造領(lǐng)域,半導(dǎo)體封裝,測(cè)試和制造領(lǐng)域,視頻檢測(cè),微細(xì)加工,激光加工,高速加工,激光和檢測(cè)等領(lǐng)域。也有許多用戶把這套XY定位平臺(tái)用于顯微鏡上,替代精度不足的傳統(tǒng)顯微鏡載物臺(tái)。
二維XY定位平臺(tái)主要特色
超薄設(shè)計(jì),3層結(jié)構(gòu)；
直線伺服或滾軸絲桿驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)
集成的非接觸式位置編碼器
分辨率高達(dá)1納米
內(nèi)部預(yù)加載的輥導(dǎo)向系統(tǒng)
可集成伺服控制功能
二維XY定位平臺(tái)配置
行程范圍100x100mm到300x300mm
位移臺(tái)高度可達(dá)60mm
開放框架或固體頂部
適合超凈間使用
真空兼容，適合真空環(huán)境使用
非磁性
二維XY定位平臺(tái)中空版本
二維XY定位平臺(tái)參數(shù)：
行程范圍：100x100mm, 150x150mm, 200x200mm, 300x300mm
驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)；步進(jìn)電機(jī),伺服電機(jī)，直線伺服電機(jī)，陶瓷伺服電機(jī)
加速度：由負(fù)載決定
速度：直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)：500mm/s,滾珠螺桿：250mm/s，滾柱絲杠驅(qū)動(dòng):40mm/s
負(fù)載：15kg
TTL分辨率：50nm
重復(fù)精度：≤1µm
構(gòu)造：鋁合金主體，灰色硬質(zhì)涂層
這款二維XY定位平臺(tái)METROSTAGE采用特殊的3層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，保證了最小的形變和的精度，剛度和穩(wěn)定性也得到了，從而保證了二維XY定位平臺(tái)的支撐和完整性. 無(wú)空回（backlash-free)的預(yù)裝引導(dǎo)系統(tǒng)保證了二維XY定位平臺(tái)實(shí)現(xiàn)平穩(wěn),低摩擦,高精度地定位,*長(zhǎng)期使用。
二維XY定位平臺(tái)應(yīng)用
具有廣泛的應(yīng)用,可用于計(jì)量和制造領(lǐng)域,半導(dǎo)體封裝,測(cè)試和制造領(lǐng)域,視頻檢測(cè),微細(xì)加工,激光加工,高速加工,激光和檢測(cè)等領(lǐng)域。也有許多用戶把這套XY定位平臺(tái)用于顯微鏡上,替代精度不足的傳統(tǒng)顯微鏡載物臺(tái)。
二維XY定位平臺(tái)主要特色
超薄設(shè)計(jì),3層結(jié)構(gòu)；
直線伺服或滾軸絲桿驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)
集成的非接觸式位置編碼器
分辨率高達(dá)1納米
內(nèi)部預(yù)加載的輥導(dǎo)向系統(tǒng)
可集成伺服控制功能
二維XY定位平臺(tái)配置
行程范圍100x100mm到300x300mm
位移臺(tái)高度可達(dá)60mm
開放框架或固體頂部
適合超凈間使用
真空兼容，適合真空環(huán)境使用
非磁性
二維XY定位平臺(tái)中空版本
二維XY定位平臺(tái)參數(shù)：
行程范圍：100x100mm, 150x150mm, 200x200mm, 300x300mm
驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)；步進(jìn)電機(jī),伺服電機(jī)，直線伺服電機(jī)，陶瓷伺服電機(jī)
加速度：由負(fù)載決定
速度：直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)：500mm/s,滾珠螺桿：250mm/s，滾柱絲杠驅(qū)動(dòng):40mm/s
負(fù)載：15kg
TTL分辨率：50nm
重復(fù)精度：≤1µm
構(gòu)造：鋁合金主體，灰色硬質(zhì)涂層
| 型號(hào) | MS-100 ST | MS150-ST | MS200-ST | MS300-ST |
|---|---|---|---|---|
| 行程 (mm) | 100x100 | 150x150 | 200x200 | 300x300 |
| 控制規(guī)格參數(shù) | ||||
| 精度 | ||||
| 標(biāo)準(zhǔn)精度SP | ± 7.5µm | ± 10µm | ± 15µm | ± 20µm |
| 高精度版本精度HP | ± 5µm | ± 7.5µm | ± 10µm | n/a |
| *精度版本精度XHP | ± 3µm | ± 4µm | ± 6µm | n/a |
| 直線度/平整度 | ||||
| 標(biāo)準(zhǔn)品直線度/平整度 | ± 8 µm | ± 10 µm | ± 12 µm | ± 20 µm |
| 高精度版直線度/平整度 | ± 3µm | ± 4 µm | ± 6 µm | n/a |
| *精度版直線度/平整度 | ± 3µm | ± 4 µm | ± 5 µm | n/a |
| Yaw/Pitch/Roll | ||||
| 標(biāo)準(zhǔn)版Yaw/Pitch/Roll | 20 arc-sec | 20 arc-sec | 20 arc-sec | 20 arc-sec |
| 高精度版Yaw/Pitch/Roll | 10 arc-sec | 10 arc-sec | 10 arc-sec | n/a |
| 二維XY定位平臺(tái)規(guī)格 | ||||
| 標(biāo)準(zhǔn)版正交性 | 10 arc-sec | 10 arc-sec | 10 arc-sec | 10 arc-sec |
| 高精度版正交性 | 5 arc-sec | 5 arc-sec | 5 arc-sec | n/a |
| *精度版正交性XHP | 3 arc-sec | 3 arc-sec | 3 arc-sec | n/a |
