電控三維位移臺(tái)3D/4D-stage是專業(yè)為激光光學(xué)安裝固定設(shè)計(jì)的電控XYZ位移臺(tái),并且可在三軸位移臺(tái)基礎(chǔ)上加上旋轉(zhuǎn)臺(tái)組成四軸位移臺(tái)功能。
電控三維位移臺(tái)采用三個(gè)電控直線線性位移臺(tái)組成,可以增選一個(gè)電控旋轉(zhuǎn)臺(tái)用于θ軸旋轉(zhuǎn)。三維位移臺(tái)組成XYZ維的位移,可提供行程距離有25mm、100mm或200mm,每個(gè)軸可以獨(dú)立選擇。
圖1：電控三維位移臺(tái)實(shí)物圖3D-stage
三個(gè)XYZ三維線性位移臺(tái)采用閉環(huán)直流伺服電機(jī),交叉滾筒軸承,高精度絲桿和高分辨率定位反饋編碼器控制,從而保證了位移臺(tái)平滑和精確的運(yùn)動(dòng)。與其它工作臺(tái)一樣，這些電控三維位移臺(tái)可以極慢的速度均勻移動(dòng)，電控三維位移臺(tái)提供各種速度/精度選項(xiàng),也可訂制3D/4D位移臺(tái)系統(tǒng),通常通過(guò)一個(gè)適配板把各個(gè)位移臺(tái)組裝在一起。
電控三維位移臺(tái)可以使用各種各樣的控制器，這些控制器和工作臺(tái)可以相互兼容,推薦使用自由的MS2000位移控制器，可自動(dòng)糾偏，并可通過(guò)RS-232或USB連接與上機(jī)位進(jìn)行通訊。
電控三維位移臺(tái)參數(shù)
*注：采用1.59 mm螺距的絲杠（16TPL）
電控三維位移臺(tái)絲杠附件
注：采用旋轉(zhuǎn)編碼器和6.35毫米螺距絲桿
圖2：電動(dòng)四維位移臺(tái)4D-stage俯視圖（由XYZ三維位移臺(tái)+旋轉(zhuǎn)臺(tái)構(gòu)成）
電控三維位移臺(tái)采用三個(gè)電控直線線性位移臺(tái)組成,可以增選一個(gè)電控旋轉(zhuǎn)臺(tái)用于θ軸旋轉(zhuǎn)。三維位移臺(tái)組成XYZ維的位移,可提供行程距離有25mm、100mm或200mm,每個(gè)軸可以獨(dú)立選擇。
圖1：電控三維位移臺(tái)實(shí)物圖3D-stage
三個(gè)XYZ三維線性位移臺(tái)采用閉環(huán)直流伺服電機(jī),交叉滾筒軸承,高精度絲桿和高分辨率定位反饋編碼器控制,從而保證了位移臺(tái)平滑和精確的運(yùn)動(dòng)。與其它工作臺(tái)一樣，這些電控三維位移臺(tái)可以極慢的速度均勻移動(dòng)，電控三維位移臺(tái)提供各種速度/精度選項(xiàng),也可訂制3D/4D位移臺(tái)系統(tǒng),通常通過(guò)一個(gè)適配板把各個(gè)位移臺(tái)組裝在一起。
電控三維位移臺(tái)可以使用各種各樣的控制器，這些控制器和工作臺(tái)可以相互兼容,推薦使用自由的MS2000位移控制器，可自動(dòng)糾偏，并可通過(guò)RS-232或USB連接與上機(jī)位進(jìn)行通訊。
電控三維位移臺(tái)參數(shù)
| 技術(shù)參數(shù) | 尺寸 |
| 編碼器分辨率* | 5.5 nm |
| 線性編碼器 | 10 nm |
| RMS重復(fù)精度（典型） | < 0.7 μm |
| 采用線性編碼器重復(fù)精度（典型） | 200 nm |
| 絲桿精度 | 0.25 μm/mm |
| 采用線性編碼器后的絲杠精度 | ± 3 μm/length scale |
| 速度* | 1.75 mm/sec |
| 行程范圍 | 25~100mm |
電控三維位移臺(tái)絲杠附件
| 絲桿螺距選擇 | 旋轉(zhuǎn)編碼器分辨率 | 速度 |
| 25.40 mm (極粗) | 88 nm | 28 mm/sec |
| 12.70 mm (超粗) | 44 nm | 14mm/sec |
| 6.35 mm (標(biāo)準(zhǔn)) | 22 nm | 7 mm/sec |
| 1.59 mm (細(xì)) | 5.5 nm | 1.75mm/sec |
| 0.635 mm (極細(xì)) | 2.2 nm | 0.7mm/sec |
圖2：電動(dòng)四維位移臺(tái)4D-stage俯視圖（由XYZ三維位移臺(tái)+旋轉(zhuǎn)臺(tái)構(gòu)成）
