美國(guó) KRI 霍爾離子源 eH 2000 等離子清洗器-儀表網(wǎng)

公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

位于中國(guó)上海浦東外高橋保稅區(qū)的伯東企業(yè)（上海）有限公司創(chuàng)建于1995年12月，是日本伯東株式會(huì)社獨(dú)資設(shè)立的外商投資企業(yè)，公司注冊(cè)資金為800萬(wàn)美元。

本公司主要是一家以經(jīng)營(yíng)電子接插件、線束、電線以及機(jī)械設(shè)備、中空產(chǎn)品等精密儀器、設(shè)備的維修，以及以半導(dǎo)體制造裝置、基板制造裝置、電腦軟件為主的貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易及保稅區(qū)企業(yè)間貿(mào)易及保稅區(qū)貿(mào)易代理、貿(mào)易及相關(guān)技術(shù)咨詢的公司。

公司一直堅(jiān)持品質(zhì)*、信譽(yù)*的原則，為廣大客戶提供了高品質(zhì)的產(chǎn)品以及良好的售后服務(wù)。到目前為止已先后通過(guò)了美國(guó)UL安全認(rèn)證、 ISO9001－2000質(zhì)量體系認(rèn)證、ISO14001－1996環(huán)境體系認(rèn)證。公司將在今后的發(fā)展中秉承以人為本，不斷開(kāi)拓進(jìn)取的精神，為滿足客戶的需求努力向?qū)I(yè)化、優(yōu)質(zhì)化、集團(tuán)化發(fā)展。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

產(chǎn)地	進(jìn)口	加工定制	是

上海伯東代理美國(guó)考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 霍爾離子源 eH 2000 特別適合大中型真空系統(tǒng), 帶有水冷方式, 低成本設(shè)計(jì)提供高離子電流. 通常應(yīng)用于離子輔助鍍膜, 預(yù)清洗和低能量離子蝕刻.
尺寸: 直徑= 5.7“ 高= 5.5”
放電電壓 / 電流: 50-300V / 10A 或 15A
操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機(jī)前體

美國(guó) KRI 霍爾離子源 eH 2000 等離子清洗器產(chǎn)品詳情

上海伯東代理美國(guó)考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 霍爾離子源 eH 2000 特別適合大中型真空系統(tǒng), 帶有水冷方式, 低成本設(shè)計(jì)提供高離子電流. 通常應(yīng)用于離子輔助鍍膜, 預(yù)清洗和低能量離子蝕刻.

尺寸: 直徑= 5.7“ 高= 5.5”

放電電壓 / 電流: 50-300V / 10A 或 15A

操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機(jī)前體

伯東 KRI 霍爾離子源 eH 2000 特性：

1.水冷 - 與 KRI 霍爾離子源 eh 1000 對(duì)比, 提供更高的離子輸出電流

2.可拆卸陽(yáng)極組件 - 易于維護(hù); 維護(hù)時(shí), 大限度地減少停機(jī)時(shí)間; 即插即用備用陽(yáng)極

3.寬波束高放電電流 - 高電流密度; 均勻的蝕刻率; 刻蝕效率高; 高離子輔助鍍膜 IAD 效率

4.多用途 - 適用于 Load lock / 超高真空系統(tǒng); 安裝方便

5.高效的等離子轉(zhuǎn)換和穩(wěn)定的功率控制

伯東 KRI 霍爾離子源 Gridless eH 系列在售型號(hào)及技術(shù)參數(shù):

離子源型號(hào)	霍爾離子源 eH2000 eH2000LE eH2000HO
Cathode/Neutralizer	F or HC HC HC
電壓	50-300V 30-150V 50-250V
電流	10A 15A 15A
散射角度	>45
可充其他	Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others
氣體流量	2-75sccm
高度	4.0“
直徑	5.7“
水冷	是

伯東 KRI 霍爾離子源 eH2000 應(yīng)用領(lǐng)域：

1. 離子輔助鍍膜 IAD

2. 預(yù)清洗 Load lock preclean

3. 預(yù)清洗 In-situ preclean

4. Direct Deposition

5. Surface Modification

6. Low-energy etching

7. III-V Semiconductors

8. Polymer Substrates

熱門(mén)產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱(chēng)	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱(chēng)	更新時(shí)間
YZD08-2C等離子清洗器	面議	北京市	北京博雅創(chuàng)新科技發(fā)展有限公司	2023-06-14	在線詢價(jià)
PT-03-LF等離子清洗器	面議		北京天科創(chuàng)達(dá)科技有限公司	2023-06-10	在線詢價(jià)
等離子清洗器	面議		上海默津儀器設(shè)備有限公司	2023-06-06	在線詢價(jià)
等離子清洗器YZD08-5C	面議	北京市	北京博雅創(chuàng)新科技發(fā)展有限公司	2023-05-30	在線詢價(jià)
眾瀕小型射頻真空等離子清洗機(jī)實(shí)驗(yàn)室儀器	￥60000	上海市	上海眾瀕科技有限公司	2022-09-17	在線詢價(jià)
等離子清洗器YZD08-2C	面議		北京博雅創(chuàng)新科技發(fā)展有限公司	2021-06-07	在線詢價(jià)

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