美國 KRI 霍爾離子源 eH 3000 等離子清洗器-儀表網(wǎng)

位于中國上海浦東外高橋保稅區(qū)的伯東企業(yè)（上海）有限公司創(chuàng)建于1995年12月，是日本伯東株式會社獨資設(shè)立的外商投資企業(yè)，公司注冊資金為800萬美元。

本公司主要是一家以經(jīng)營電子接插件、線束、電線以及機械設(shè)備、中空產(chǎn)品等精密儀器、設(shè)備的維修，以及以半導(dǎo)體制造裝置、基板制造裝置、電腦軟件為主的貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易及保稅區(qū)企業(yè)間貿(mào)易及保稅區(qū)貿(mào)易代理、貿(mào)易及相關(guān)技術(shù)咨詢的公司。

公司一直堅持品質(zhì)*、信譽*的原則，為廣大客戶提供了高品質(zhì)的產(chǎn)品以及良好的售后服務(wù)。到目前為止已先后通過了美國UL安全認(rèn)證、 ISO9001－2000質(zhì)量體系認(rèn)證、ISO14001－1996環(huán)境體系認(rèn)證。公司將在今后的發(fā)展中秉承以人為本，不斷開拓進取的精神，為滿足客戶的需求努力向?qū)I(yè)化、優(yōu)質(zhì)化、集團化發(fā)展。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

產(chǎn)地	進口	加工定制	是

上海伯東代理美國考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 霍爾離子源 eH 3000 適合大型真空系統(tǒng), 與友廠大功率離子源對比, eH 3000 是目前市場上高效, 提供高離子束流的離子源.
尺寸: 直徑= 9.7“ 高= 6“
放電電壓 / 電流: 50-300V / 20A
操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機前體

美國 KRI 霍爾離子源 eH 3000 等離子清洗器產(chǎn)品詳情

上海伯東代理美國考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司 KRI 霍爾離子源 eH 3000 適合大型真空系統(tǒng), 與友廠大功率離子源對比, eH 3000 是目前市場上高效, 提供高離子束流的離子源.

尺寸: 直徑= 9.7“ 高= 6“

放電電壓 / 電流: 50-300V / 20A

操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機前體

伯東 KRI 霍爾離子源 eH 3000 特性：

1.水冷 - 加速冷卻

2.可拆卸陽極組件 - 易于維護; 維護時,大限度地減少停機時間; 即插即用備用陽極

3.寬波束高放電電流 - 高電流密度; 均勻的蝕刻率; 刻蝕效率高; 高離子輔助鍍膜 IAD 效率

4.多用途 - 適用于 Load lock / 超高真空系統(tǒng); 安裝方便

5.高效的等離子轉(zhuǎn)換和穩(wěn)定的功率控制

KRI 霍爾離子源 Gridless eH 3000 技術(shù)參數(shù):

離子源型號	霍爾離子源 eH3000 eH3000LO eH3000MO
Cathode/Neutralizer	HC
電壓	50-250V 50-300V 50-250V
電流	20A 10A 15A
散射角度	>45
可充其他	Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others
氣體流量	5-100sccm
高度	6.0“
直徑	9.7“
水冷	可選

F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current

伯東 KRI 霍爾離子源 eH 3000 應(yīng)用領(lǐng)域：

1. 濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC

2. 輔助鍍膜 ( 光學(xué)鍍膜 ) IBAD

3. 表面改性, 激活 SM

4. 直接沉積 DD

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
YZD08-2C等離子清洗器	面議	北京市	北京博雅創(chuàng)新科技發(fā)展有限公司	2023-06-14	在線詢價
PT-03-LF等離子清洗器	面議		北京天科創(chuàng)達(dá)科技有限公司	2023-06-10	在線詢價
等離子清洗器	面議		上海默津儀器設(shè)備有限公司	2023-06-06	在線詢價
等離子清洗器YZD08-5C	面議	北京市	北京博雅創(chuàng)新科技發(fā)展有限公司	2023-05-30	在線詢價
GV10x順流等離子清洗器	面議	天津市	天津奧辛博科技有限責(zé)任公司	2023-05-12	在線詢價
眾瀕小型射頻真空等離子清洗機實驗室儀器	￥60000	上海市	上海眾瀕科技有限公司	2022-09-17	在線詢價

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