真空等離子清洗機(jī)
型號:SGR-1300
品牌:GRM
產(chǎn)品簡述
1、等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為三個大的部分組成,分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。
(A)控制單元
控制單元液晶觸摸屏控制方式。 而控制單元又分為兩個大的部分:
1)電源部分:主要電源頻率是13.56MHz、13.56MHz 是需要電源匹配器的
2)系統(tǒng)控制單元是液晶觸摸屏控制
(B)真空腔體
真空腔體材質(zhì):高強度鋁合金腔體
(C)真空泵
產(chǎn)品特點
處理溫度低:
處理溫度可以低至50°C以下,低的處理溫度可以確保對樣品表面不造成熱影響。
處理全程無污染
等離子清洗機(jī)本身是很環(huán)保的設(shè)備,無產(chǎn)生任何污染,處理過程也無產(chǎn)生任何污染??梢源钆湓猩a(chǎn)流水線,實現(xiàn)全自動在線生產(chǎn),節(jié)約人力成本。
處理效果穩(wěn)定:
等離子清洗的處理效果非常均勻穩(wěn)定,常規(guī)樣品處理后較長時間內(nèi)保持效果良好。
可以處理各種形狀的樣品:
對于復(fù)雜形狀的樣品等離子清洗都能找到合適的解決方案。真空等離子清洗更可實現(xiàn)對固體樣品內(nèi)部位置進(jìn)行清洗。
性能優(yōu)勢
德國電路技術(shù):
采用德國高壓激勵電源電路技術(shù),產(chǎn)生高密度等離子體,確保出眾的清洗效果
全面安全防護(hù):
溫度過高,過載,氣壓失常,短路斷路,誤操作,等全面的報警保護(hù)功能。
級密封腔體:
級的高真空度密封腔體材質(zhì)及制造工藝
靈活的氣體配方選擇:
可選擇兩路、三路、四路氣體配方方案,滿足不同工藝要求。
優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品部件:
全部部件采用國內(nèi)外優(yōu)質(zhì)部件,運行穩(wěn)定壽命更長
低溫清洗:
滿足不同場合溫度要求,不對清洗產(chǎn)品造成溫度影響。
環(huán)保簡易:
極低的運行成本,操作簡單,過程無化學(xué)污染物排放,符合環(huán)保規(guī)范
等離子清洗的作用
等離子清洗的作用原理主要是:
(A)對材料表面的刻蝕作用--物理作用 等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子,作用到固體樣品表面,不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì),而且會產(chǎn)生刻蝕作用,將樣品表面變粗糙,形成許多微細(xì)坑洼,增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。
(B)激活鍵能,交聯(lián)作用
等離子體中的粒子能量在0~20eV,而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV,因此等離子體作用到固體表面后,可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂,等離子體中的自由基不這些鍵 形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu),大大地激活了表面活性。
(C)形成新的官能團(tuán)--化學(xué)作用 如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體,那么在活化的材料表面會収生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng),引入新的官能團(tuán),如烴基、氨基、羧基等,這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán),能明顯提高材料表面活性。
參數(shù)指標(biāo)
整機(jī)規(guī)格 | 約1150×1350×1850(長×寬×高)mm |
整機(jī)重量 | 約400 Kg |
鋁合金清洗腔體規(guī)格 | 780×400×475(長×寬×高)mm |
鋁合金清洗腔體有效積 | 130L |
輸入電源 | 380V(三相)/50 Hz |
整機(jī)輸入功率(含真空泵) | 2500 W |
射頻輸出(連續(xù)可調(diào)) | 0~600 W,配置真空電容自動匹配器,輸出方式是恒功率模式,電源本身輸出功率是實際功率 |
射頻頻率 | 13.56 MHz |
清洗時間定時器范圍 | 0~99.99 min |
真空泵 | *,雙極旋片真空泵,抽速可達(dá)60m³/h |
極限真空度 | 工作真空度≦30Pa |
真空度測量及量程 | 1.0×105~1.0×10-1 Pa進(jìn)口電子真空計 |
氣體流量計及量程 | 國內(nèi)*,量程0-300SCCM |
進(jìn)氣閥 | 全自動電子擋板閥 |
玻璃觀察窗 | 觀察清洗艙內(nèi)輝光狀態(tài) |
常用工作氣體 | 氧氣氬氣氮氣或混合氣體可選 |
氣路 | *的氣路分布結(jié)構(gòu),確保氣體分布均勻 |
PLC | 德國西門子PLC,全自動程序控制 |
觸摸屏 | 威綸通觸摸屏,人性化界面,極易操作 |
全面安全防護(hù) | 溫度安全防護(hù)功能,過載防護(hù)功能,短路斷路報警防護(hù)功能,各種 誤操作保護(hù)功能 |
電氣部件 | 全采用施耐德 |
氣壓調(diào)節(jié)部件 | *SMC品牌 |
電極板 | 特殊處理的電極板結(jié)構(gòu),確保放電均勻,清洗效果 |
腔體: | 級的高真空密封腔體 |
真空等離子清洗機(jī)