名稱（Name） | 真空式等離子處理系統(tǒng) |
型號(hào)（Model） | CRF-VPO-8L-S |
控制系統(tǒng)（Control system） | PLC+觸摸屏 |
電源（Power supply） | 380V/AC,50/60Hz,3kw |
中頻電源功率（MF Power） | 600W/13.56MHz |
容量（Volume） | 80L（Option） |
層數(shù)（Electrode of plies） | 8（Option） |
有效處理面積（Area） | 400（L）*300（W）（Option） |
氣體通道（Gas） | 兩路工作氣體可選： Ar、N2、CF4、O2 |
超大處理空間，提升處理產(chǎn)能，采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，精確的控制設(shè)備運(yùn)行。
可按照客戶要求定制設(shè)備腔體容量和層數(shù)，滿足客戶的需求。
保養(yǎng)維修成本低，便于客戶成本控制。
高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，完善的功能和完善的售后。
主要適用于生物醫(yī)療行業(yè)，印制線路板行業(yè)，半導(dǎo)體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等。
