產(chǎn)品參數(shù):
可定制不同規(guī)格的腔體,包括圓形(水平);圓形(垂直),方形
可定制不同形狀處理電極(陰極和陽極),包括垂直和水平的樣品擺放方式
可定制不同材質(zhì)的腔體,316不銹鋼或者6061鋁合金腔體
(我們堅(jiān)持使用316不銹鋼和6061鋁合金材質(zhì),在保證腔體整體加工質(zhì)量同時(shí),也保證氣體和射頻發(fā)生器在真空狀態(tài)工作時(shí)產(chǎn)生的等離子體的濃度和腔體提供保障)
樣品溫度控制
其他功能
應(yīng)用領(lǐng)域:
污染物清洗
清洗玻璃、金屬、陶瓷、塑料等材料表面的有機(jī)物及其他污染物
表面活化
利用等離子體轟擊樣品表面,改變樣品表面張力和活性
鍍膜
采用等離子斷鍵功能的裝置,將鍍膜材料以納米級(jí)厚度均勻覆蓋樣品表面
等離子體刻蝕
對(duì)半導(dǎo)體材料、集成電路板、PCB板、塑料制品等材料進(jìn)行刻蝕
等離子體反應(yīng)
特別的工藝手段和裝置,可以實(shí)現(xiàn)等離子體與樣品的化學(xué)反應(yīng),并得到相應(yīng)物質(zhì)
粉體處理
粉體裝置,可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)顆粒的等離子體均勻處理,實(shí)現(xiàn)各項(xiàng)性能