PLUTO-30 多功能 PLUTO-30 等離子表面處理系統(tǒng) 等離子清洗器-儀表網(wǎng)

公司介紹主營產(chǎn)品

沛沅儀器是一家集等離子體技術(shù)設(shè)計、制造、產(chǎn)品開發(fā)、銷售與服務(wù)于一體的技術(shù)型企業(yè)，公司致力于提供專業(yè)的等離子表面處理系統(tǒng)，向用戶提供國內(nèi)*的等離子表面處理設(shè)備和優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務(wù)。

公司技術(shù)團隊67%以上具備碩士或碩士以上學(xué)位，公司由*從事等離子體應(yīng)用技術(shù)研究開發(fā)、多次參與國家重大科學(xué)工程研究的專家和產(chǎn)業(yè)化專家聯(lián)合創(chuàng)建，提供一系列等離子體表面處理系統(tǒng)、等離子體刻蝕系統(tǒng)、常壓等離子清洗設(shè)備等，并與中科院上海應(yīng)用物理研究所，復(fù)旦大學(xué)，中國科技大學(xué)，上?？萍即髮W(xué)，上海交通大學(xué)等建立了密切的技術(shù)合作交流關(guān)系。

公司的愿景是成為等離子體應(yīng)用領(lǐng)域的優(yōu)質(zhì)供應(yīng)企業(yè)，用科研的沉淀和應(yīng)用的創(chuàng)新，為中國的制造業(yè)崛起和化戰(zhàn)略貢獻一份力量。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

產(chǎn)地	國產(chǎn)	電壓	220/380V	工作溫度	50℃
加工定制	是	清洗時間	9999秒	適用領(lǐng)域	科研

Pluto30是專為研發(fā)而設(shè)計的全功能等離子體系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個過程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto 30的真空腔可支持多達7個可調(diào)節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設(shè)置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍，提供給用戶的靈活性。

多功能 PLUTO-30 等離子表面處理系統(tǒng) 等離子清洗器產(chǎn)品詳情

PLUTO-30等離子體材料表面處理統(tǒng)

中小型 量產(chǎn)級 多功能

Pluto30參數(shù)
腔體	腔體尺寸	300W x 280H x 366Dmm
	容量	30L
	電極數(shù)量	多可達層
電極	電極間隙	48mm
	功率電極尺寸	226W x 210D mm
	接地電極尺寸	260W x 210D mm
射頻系統(tǒng)	射頻功率和頻率	300W/13.56MHz
氣體控制	MFC控制器	標配1個MFC，多4個MFC控制器
系統(tǒng)控制	7寸工業(yè)觸控屏	全數(shù)字控制，實時顯示工作狀況，可設(shè)定操作權(quán)限和各種報警值，可儲存工藝方案
真空泵系統(tǒng)	油泵	32m³/h
真空泵系統(tǒng)	功率	220V/10A，50Hz，單相，3線
尺寸	外形尺寸	706W x 804D x 735H mm
特別裝置需求	工藝氣體	0.25英寸. 氣管快接.適用于 15-20psig;
	凈化氣	0.25英寸. 氣管快接. 適用于10-100psig
	CDA	0.25英寸. 氣管快接. 適用于60-90psig
	排氣接口	KF40
可選項	液體前驅(qū)體輸送系統(tǒng)
	500W/13.56MHz射頻系統(tǒng)
	37m³/h 干泵
	排氣洗滌器
	油霧消除器

特征及優(yōu)勢

氣體輸送系統(tǒng)，提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法

不同工藝模式（RIE、下游等離子體等）的柔性電極配置

*的射頻系統(tǒng)提供的工藝重復(fù)性和處理效率

全自動處理能力

圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅(qū)動流程并提供實時流程信息

臺式設(shè)計需要較小的占地面積

典型應(yīng)用

表面活化

提高表面能量以提高材料粘合性：預(yù)壓模粘合；預(yù)焊線粘合

增強表面膠體流動性：預(yù)成型；預(yù)倒裝芯片下溢

表面粗糙度和蝕刻

降低表面應(yīng)力，改善表面粘結(jié)性

灰化和表面清潔

Plasma等離子蝕刻（配備RIE配置)

電介質(zhì)/III-IV材料

納米涂層（配備液體前體輸送裝置）

耐水納米涂層：印刷電路板表面處理

防腐納米涂層：科研，醫(yī)療植入物

關(guān)鍵詞：真空泵輸送系統(tǒng)

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
YZD08-2C等離子清洗器	面議	北京市	北京博雅創(chuàng)新科技發(fā)展有限公司	2023-06-14	在線詢價
PT-03-LF等離子清洗器	面議		北京天科創(chuàng)達科技有限公司	2023-06-10	在線詢價
等離子清洗器	面議		上海默津儀器設(shè)備有限公司	2023-06-06	在線詢價
等離子清洗器YZD08-5C	面議	北京市	北京博雅創(chuàng)新科技發(fā)展有限公司	2023-05-30	在線詢價
眾瀕小型射頻真空等離子清洗機實驗室儀器	￥60000	上海市	上海眾瀕科技有限公司	2022-09-17	在線詢價
等離子清洗器YZD08-2C	面議		北京博雅創(chuàng)新科技發(fā)展有限公司	2021-06-07	在線詢價

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