TMAH濃度計監(jiān)測儀HE-960H-TM
TMAH濃度計監(jiān)測儀HE-960H-TM適用于顯影液中TMAH的濃度管理HE-960TM可精確測量半導(dǎo)體和液晶生產(chǎn)中光阻顯影藥液制程中主要成份TMAH (四甲基氫氧化銨)的濃度。傳感器具有寬泛的量程和高耐藥性。4-極式炭質(zhì)傳感器具有顯著的耐藥性。
其對偶電路和軟件與4-極式炭質(zhì)傳感器相結(jié)合測量范圍可達(dá)0至1000mS/cm而無需切換。由于具有兩種濃度轉(zhuǎn)換功能,所以可將其作為過程濃度計使用,也可監(jiān)測特定化學(xué)藥液中的濃度變化。
特征
- 大量程適用
自動小數(shù)點(diǎn)位調(diào)整能夠測量的TMAH量程從0.000至10.00%。
- 自動顯示范圍切換
從高至低濃度顯示范圍自動切換。當(dāng)維持有效的電導(dǎo)率分辨率是也可使用該產(chǎn)監(jiān)測變化
- 可測3種數(shù)值:TMAH濃度值、電導(dǎo)率計和溫度
當(dāng)基于相關(guān)溫度特性數(shù)據(jù)補(bǔ)償溫度時測量TMAH濃度。本機(jī)也可用于測量其它化學(xué)藥液的電導(dǎo)率。
- 耐藥性4-極炭質(zhì)傳感器
采用了新型的使用高耐藥性玻璃碳材料的FES-510系列4-極式流通型傳.
- 4-通道傳送輸出
本機(jī)配有4個輸出通道,所以可分別用于TMAH溫度、電導(dǎo)率和溫度??蓮?個類型的輸出電流中進(jìn)行選擇:4至20 mA DC, 或 0 至 20 mA DC.
- 24 V DC 電源