化學(xué)藥液濃度計(jì) CS-600F
化學(xué)藥液濃度計(jì) CS-600F實(shí)現(xiàn)了更高標(biāo)準(zhǔn)的功能,旨在更好的適應(yīng)生產(chǎn)制造,實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體濕法工藝對(duì)化學(xué)藥液濃度更精準(zhǔn)的管理。比如在多種不同應(yīng)用中的在線監(jiān)測(cè)高溫化學(xué)藥液,更安全的減少停機(jī)時(shí)間操作,更輕便的尺寸節(jié)約占地面積。藥液濃度計(jì)擁有更好的性能去監(jiān)測(cè)混酸中的各個(gè)成分,包括高精*半導(dǎo)體制程中所需的各種化學(xué)藥液。通過改進(jìn)HORIBA的光譜分析測(cè)量法,實(shí)現(xiàn)了5倍的監(jiān)測(cè)性能提升。提高質(zhì)量控制能有效改進(jìn)半導(dǎo)體工藝流程。
通過采取全面的氣泡對(duì)策,可監(jiān)測(cè)高溫樣品
在脫泡槽中分離氣泡,在監(jiān)測(cè)過程中進(jìn)一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測(cè)單元內(nèi)的發(fā)生次數(shù)抑制在zui低限度。并且,如果是冷卻器一體型產(chǎn)品,則可以直接倒入高溫度樣品至濃度計(jì)。溫度補(bǔ)償將自動(dòng)進(jìn)行。
采用DC24V,實(shí)現(xiàn)高安全性
電源采用DC24V低壓電,提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且,由于內(nèi)置漏水傳感器,在發(fā)生漏水時(shí)可以切斷SC-1溶液的供應(yīng)等,采取緊急措施
全自動(dòng)監(jiān)測(cè)與簡(jiǎn)易控制
用戶只需引入SC-1溶液即可。監(jiān)測(cè)是全自動(dòng)方式,因此開始監(jiān)測(cè)后不需要進(jìn)行任何控制。另外,由于參照光譜測(cè)量時(shí)使用的是空氣,所以不需要用水。