氫氟酸濃度計監(jiān)測儀CM-200A/210A
氫氟酸濃度計監(jiān)測儀CM-200A/210A為監(jiān)測半導體制造工藝中氫氟酸濃度而開發(fā)出來的高精度氫氟酸濃度計。該設(shè)備通過采用電磁感應導電率計測量并實時顯示氫氟酸濃度。廣泛適用于各個使用氫氟酸的制造工藝。
特征：
實時顯示氫氟酸濃度
可以通過導電率傳感器檢測氫氟酸濃度，通過<導電率>-<氟酸濃度>的檢量線，自動地實時顯示氟酸濃度。
實現(xiàn)了半導體制造工藝中低濃度范圍的高精度
產(chǎn)品幾乎覆蓋了半導體制造工藝中所使用的氫氟酸溶液的全部量程(0-1/2/5/10/20wt%)。即使在0-1wt%的低濃度量程中，也實現(xiàn)了±2%F.S.以內(nèi)的再現(xiàn)精度。適合于要求低濃度范圍控制的存儲器生產(chǎn)線中發(fā)揮出威力。
確保穩(wěn)定檢測的傳感器
沉浸型傳感器已經(jīng)*被PFA樹脂模塊化，所以不會因氫氟酸溶液而發(fā)生金屬腐蝕現(xiàn)象。并且，金屬等不純物不會溶入到樣品溶液中，因此可以對其進行穩(wěn)定的檢測。
氫氟酸濃度計監(jiān)測儀CM-200A/210A裝有報警功能
為了實現(xiàn)更加可靠的工藝管理，分別具有濃度輸出以及濃度上限?濃度上上限?濃度下限?濃度下下限的報警輸出功能。
可以用于多用途
采用小巧的DIN96尺寸的轉(zhuǎn)換器。小型?輕便，zui適于組裝到氟酸的稀釋裝置、供給裝置、晶片的清洗裝置中。并且，具有直接浸沒到液體中的沉浸型傳感器(CM-200)和設(shè)置在工藝配管中的流通形傳感器(CM-210)。您可以根據(jù)用途自由選擇。
